ميگنيٽرون ۾ڦڦڙ ۽ پلازما جمع ڪرڻعملن ۾، بجلي جي فراهمي جو قسم پلازما جي استحڪام، اسپٽرنگ ڪارڪردگي، فلم جي کثافت، ۽ عمل جي ورجائي جي قابليت کي طئي ڪرڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو.
سڀ کان وڌيڪ استعمال ٿيندڙ پاور سپلائي جا قسم ريڊيو فريڪوئنسي (RF) پاور سپلائي ۽ ميڊيم فريڪوئنسي (MF) پاور سپلائي آهن، جيڪي آپريٽنگ فريڪوئنسي، ڊسچارج ميڪانيزم، ٽارگيٽ مطابقت، ۽ عمل جي ڪارڪردگي جي لحاظ کان خاص طور تي مختلف آهن.
ڪوٽنگ جي معيار، پيداوار جي رفتار، ۽ سسٽم جي استحڪام کي بهتر بڻائڻ لاءِ مناسب بجلي جي فراهمي جو انتخاب ضروري آهي.
آر ايف پاور سپلاءِ عام طور تي 13.56 ميگا هرٽز تي ڪم ڪن ٿا ۽ بنيادي طور تي سي او ₂، ايل او ₃، ۽ ٽي او ₂ جهڙن موصلي هدفن کي ڦاسائڻ لاءِ استعمال ٿين ٿا.
ٽيڪنيڪل خاصيتون:
متبادل برقي ميدان ذريعي مستحڪم پلازما خارج ٿيڻ کي برقرار رکي ٿو
موصلي واري ٽارگيٽ سطحن تي چارج جي جمع کي روڪي ٿو
ڊائي اليڪٽرڪ فلمن، آپٽيڪل ڪوٽنگن، ۽ فنڪشنل آڪسائيڊ پرتن کي جمع ڪرڻ لاءِ موزون
اعليٰ صحت واري فلم ايپليڪيشنن لاءِ بهترين پلازما هڪجهڙائي فراهم ڪري ٿي.
فائدا:
غير موڙيندڙ هدفن سان مطابقت رکندڙ
مستحڪم خارج ٿيڻ ۽ هڪجهڙائي ڦُٽڻ
اعليٰ ساختي ڪنٽرول ۽ اعليٰ آپٽيڪل ڪارڪردگي
حدون:
سسٽم جي قيمت وڌيڪ
گھٽ بجلي جي کثافت ۽ محدود جمع جي شرح
پيچيده رڪاوٽ جي ملاپ جون گهرجون
وچولي فريڪوئنسي (MF) پاور سپلاءِ عام طور تي 10-200 kHz جي حد ۾ ڪم ڪن ٿا ۽ ڊبل-ميگنيٽرون سسٽم ۽ ري ايڪٽو اسپٽرنگ عملن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿين ٿا، خاص طور تي ڌاتو ۽ ڌاتو-آڪسائيڊ ڪوٽنگن لاءِ.
ٽيڪنيڪل خاصيتون:
بائي پولر متبادل ڊسچارج استعمال ڪري ٿو، ٽارگيٽ سطحن تي چارج جي جمع کي گھٽائي ٿو.
مؤثر طريقي سان آرسنگ گھٽائي ٿو، عمل جي استحڪام کي بهتر بڻائي ٿو
وڌيڪ طاقت جي کثافت کي سپورٽ ڪري ٿو، وڌيڪ جمع ڪرڻ جي شرح کي فعال ڪري ٿو
وڏي علائقي جي ڪوٽنگ ۽ صنعتي وڏي پيماني تي پيداوار لاءِ مناسب
فائدا:
اعليٰ جمع ڪرڻ جي شرح ۽ اعليٰ ٿرو پُٽ
ڪنڊڪٽو ٽارگيٽ ۽ رد عمل واري اسپٽرنگ لاءِ مثالي
وڌايل آرڪ سپريشن ۽ آپريشنل اعتبار
آسان سار سنڀال سان خرچ-مؤثر
حدون:
انتهائي موصلي هدفن لاءِ مناسب ناهي
پلازما جي هڪجهڙائي کي مقناطيسي ميدان ۽ گئس جي وهڪري جي ڊيزائن ذريعي اصلاح جي ضرورت ٿي سگھي ٿي.
| مقابلي واري شيءِ | آر ايف پاور سپلائي | ايم ايف پاور سپلاءِ |
|---|---|---|
| آپريٽنگ فريڪوئنسي | 13.56 ميگا هرٽز | 10-200 ڪلو هرٽز |
| ٽارگيٽ مطابقت | موصل / آڪسائيڊ ٽارگيٽ | ڌاتو / رد عمل وارا هدف |
| جمع ڪرائڻ جي شرح | وچولي کان گهٽ | هاءِ |
| قوس جي دٻاءُ | وچولي | بهترين |
| پلازما استحڪام | هاءِ | هاءِ |
| سسٽم جي قيمت | اعليٰ | هيٺيون |
| عام ايپليڪيشنون | آپٽيڪل ۽ فنڪشنل فلمون | صنعتي ۽ آرائشي ڪوٽنگون |
انتهائي موصل مواد (آپٽيڪل ۽ ڊائي اليڪٽرڪ فلمون) لاءِ، آر ايف پاور سپلاءِ ترجيحي حل رهي ٿو.
ڌاتو ڪوٽنگ، وڏي ايراضي جي جمع، ۽ رد عمل واري اسپٽرنگ (TiN، ITO، CrOx) لاءِ، MF پاور سپلاءِ بهترين ٿرو پُٽ ۽ قيمت جي ڪارڪردگي پيش ڪن ٿا.
وڏي مقدار ۾ صنعتي پيداوار ۾، ايم ايف پاور سپلاءِ بهتر ڊگهي مدت جي عمل جي استحڪام فراهم ڪن ٿا.
اعليٰ درجي جي آپٽيڪل ۽ درست فنڪشنل ڪوٽنگن لاءِ، آر ايف پاور سپلاءِ بهتر یکسانيت ۽ ڪمپوزيشنل ڪنٽرول فراهم ڪن ٿا.
آر ايف ۽ ايم ايف پاور سپلاءِ هر هڪ ويڪيوم ڪوٽنگ ايپليڪيشنن ۾ الڳ الڳ فائدا پيش ڪن ٿا، انهن جي مناسبيت جو تعين ٽارگيٽ مواد جي خاصيتن، ڪوٽنگ جي قسم، پيداوار جي صلاحيت، ۽ قيمت جي غور سان ڪيو ويندو آهي.
جيئن صنعتي ڪوٽنگ ترقي ڪري رهي آهي، ايم ايف پاور سپلاءِ اعليٰ ڪارڪردگي، اعليٰ مستقل مزاجي واري وڏي پيداوار لاءِ مکيه وهڪرو پسند بڻجي رهيا آهن، جڏهن ته آر ايف پاور سپلاءِ آپٽيڪل گريڊ ۽ ڊائي اليڪٽرڪ فلم جمع ڪرڻ لاءِ ناگزير آهن.
اڳتي ڏسندي، هائبرڊ پاور آرڪيٽيڪچر ۽ ذهين پاور ڪنٽرول ٽيڪنالاجيون پروسيس جي استحڪام ۽ ڪوٽنگ جي ڪارڪردگي کي وڌيڪ وڌائڻ جي اميد رکن ٿيون.
-هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پارانويڪيوم ڪوٽنگ جو سامان ٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم
پوسٽ جو وقت: جنوري-27-2026