په ویکیوم کوټینګ کې د لوړې فریکونسۍ او منځنۍ فریکونسۍ بریښنا رسولو ترمنځ توپیرونه

په مقناطیسي کېد تویېدو او پلازما جمع کولد پروسو په جریان کې، د بریښنا رسولو ډول د پلازما ثبات، د سپټر کولو موثریت، د فلم کثافت، او د پروسې تکرار وړتیا په ټاکلو کې مهم رول لوبوي.

د بریښنا رسولو ترټولو پراخه کارول شوي ډولونه د راډیو فریکونسي (RF) بریښنا رسولو او د منځنۍ فریکونسي (MF) بریښنا رسولو دي، کوم چې د عملیاتي فریکونسۍ، د خارجیدو میکانیزم، د هدف مطابقت، او د پروسې فعالیت له مخې د پام وړ توپیر لري.

د مناسبې بریښنا رسولو غوره کول د پوښښ کیفیت، د تولید وړتیا، او د سیسټم ثبات د ښه کولو لپاره اړین دي.

د RF بریښنا رسولو معمولا په 13.56 MHz کې کار کوي او په عمده توګه د SiO₂، Al₂O₃، او TiO₂ په څیر د انسولیټینګ اهدافو د سپټر کولو لپاره کارول کیږي.

تخنیکي ځانګړتیاوې:

د بدلیدونکي بریښنایی ساحې له لارې د پلازما مستحکم خارجیدل ساتي

د هدف په موصلي سطحو کې د چارج راټولیدو مخه نیسي

د ډایالټریک فلمونو، آپټیکل کوټینګونو، او فعال آکسایډ پرتونو د زیرمه کولو لپاره مناسب

د لوړ دقت لرونکي فلم غوښتنلیکونو لپاره غوره پلازما یونیفورم چمتو کوي

ګټې:

د غیر چلونکي هدفونو سره مطابقت لري

باثباته خارجېدل او یونیفورم سپټرینګ

لوړ جوړښتي کنټرول او غوره نظري فعالیت

محدودیتونه:

د سیسټم لوړ لګښت

د بریښنا ټیټ کثافت او د زیرمو محدود کچه

د پیچلي امپیډینس میچ کولو اړتیاوې

د منځنۍ فریکونسۍ (MF) بریښنا رسولو معمولا د 10-200 kHz حد کې کار کوي او په پراخه کچه د دوه ګوني مقناطیسي سیسټمونو او غبرګوني سپټرینګ پروسو کې کارول کیږي، په ځانګړي توګه د فلزي او فلزي آکسایډ کوټینګونو لپاره.

تخنیکي ځانګړتیاوې:

د دوه قطبي بدیل خارجیدو څخه کار اخلي، د هدف په سطحو کې د چارج راټولول کموي

په مؤثره توګه آرکینګ کموي، د پروسې ثبات ښه کوي

د لوړ بریښنا کثافت ملاتړ کوي، د لوړ زیرمه کولو نرخونه فعالوي

د لویې ساحې پوښښ او صنعتي ډله ایز تولید لپاره ښه مناسب دی

ګټې:

د زیرمې لوړه کچه او غوره تولید

د چلونکي هدفونو او غبرګوني سپټرینګ لپاره مثالی

د قوس فشار او عملیاتي اعتبار لوړ شوی

د ساده ساتنې سره ارزانه

محدودیتونه:

د لوړ حرارتي عایق کولو اهدافو لپاره مناسب نه دی

د پلازما یووالي ممکن د مقناطیسي ساحې او ګاز جریان ډیزاین له لارې اصلاح ته اړتیا ولري.

د لوړ انسولیټینګ موادو (نظری او ډایالټریک فلمونو) لپاره، د RF بریښنا رسولو غوره حل پاتې دی.

د فلزي پوښښونو، لوی ساحې زیرمو، او غبرګوني سپټرینګ (TiN، ITO، CrOx) لپاره، د MF بریښنا رسولو غوره تروپټ او لګښت موثریت وړاندې کوي.

په لوړ حجم صنعتي تولید کې، د MF بریښنا رسولو د پروسې اوږدمهاله ثبات ښه وړاندې کوي

د لوړ پای نظري او دقیق فعال کوټینګونو لپاره، د RF بریښنا رسولو ښه یووالي او جوړښتي کنټرول چمتو کوي.

د RF او MF بریښنا رسولو هر یو د ویکیوم کوټینګ غوښتنلیکونو کې ځانګړي ګټې وړاندې کوي، د دوی مناسبیت د هدف موادو ملکیتونو، کوټینګ ډول، تولید ظرفیت، او لګښت په پام کې نیولو سره ټاکل کیږي.

لکه څنګه چې صنعتي پوښښ وده کوي، د MF بریښنا رسولو د لوړ موثریت، لوړ ثبات لرونکي ډله ایز تولید لپاره اصلي انتخاب کیږي، پداسې حال کې چې د RF بریښنا رسولو د آپټیکل درجې او ډایالټریک فلم زیرمو لپاره لازمي پاتې کیږي.

د راتلونکي په لټه کې، تمه کیږي چې د هایبرډ بریښنا جوړښتونه او هوښیار بریښنا کنټرول ټیکنالوژي به د پروسې ثبات او د پوښښ فعالیت نور هم لوړ کړي.

- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ تجهیزات جوړونکی ژنهوا ویکیوم