මැග්නට්රෝනයෙන්ඉසීම සහ ප්ලාස්මා තැන්පත් වීමක්රියාවලීන්හිදී, ප්ලාස්මා ස්ථායිතාව, ඉසින කාර්යක්ෂමතාව, පටල ඝනත්වය සහ ක්රියාවලි පුනරාවර්තන හැකියාව තීරණය කිරීමේදී බල සැපයුම් වර්ගය තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.
වඩාත් බහුලව භාවිතා වන බල සැපයුම් වර්ග වන්නේ රේඩියෝ සංඛ්යාත (RF) බල සැපයුම් සහ මධ්යම සංඛ්යාත (MF) බල සැපයුම් වන අතර ඒවා මෙහෙයුම් සංඛ්යාතය, විසර්ජන යාන්ත්රණය, ඉලක්ක අනුකූලතාව සහ ක්රියාවලි ක්රියාකාරිත්වය අනුව සැලකිය යුතු ලෙස වෙනස් වේ.
ආලේපනයේ ගුණාත්මකභාවය, නිෂ්පාදන ප්රතිදානය සහ පද්ධති ස්ථායිතාව ප්රශස්ත කිරීම සඳහා සුදුසු බල සැපයුම තෝරා ගැනීම අත්යවශ්ය වේ.
RF බල සැපයුම් සාමාන්යයෙන් 13.56 MHz දී ක්රියාත්මක වන අතර ප්රධාන වශයෙන් SiO₂, Al₂O₃, සහ TiO₂ වැනි පරිවාරක ඉලක්ක ඉසීම සඳහා යොදා ගනී.
තාක්ෂණික ලක්ෂණ:
ප්රත්යාවර්ත විද්යුත් ක්ෂේත්රයක් හරහා ස්ථායී ප්ලාස්මා විසර්ජනය පවත්වා ගනී.
පරිවාරක ඉලක්ක පෘෂ්ඨ මත ආරෝපණ සමුච්චය වීම වළක්වයි.
පාර විද්යුත් පටල, දෘශ්ය ආලේපන සහ ක්රියාකාරී ඔක්සයිඩ් ස්ථර තැන්පත් කිරීම සඳහා සුදුසු වේ.
ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් පටල යෙදුම් සඳහා විශිෂ්ට ප්ලාස්මා ඒකාකාරිත්වයක් සපයයි.
වාසි:
සන්නායක නොවන ඉලක්ක සමඟ අනුකූල වේ
ස්ථාවර විසර්ජනය සහ ඒකාකාර ඉසීම
ඉහළ සංයුති පාලනය සහ උසස් දෘශ්ය කාර්ය සාධනය
සීමාවන්:
පද්ධතියේ ඉහළ පිරිවැය
අඩු බල ඝනත්වය සහ සීමිත තැන්පත් වීමේ අනුපාතය
සංකීර්ණ සම්බාධන ගැලපුම් අවශ්යතා
මධ්යම සංඛ්යාත (MF) බල සැපයුම් සාමාන්යයෙන් 10–200 kHz පරාසය තුළ ක්රියාත්මක වන අතර ද්විත්ව-චුම්බක පද්ධති සහ ප්රතික්රියාශීලී ස්පුටරින් ක්රියාවලීන්හි, විශේෂයෙන් ලෝහමය සහ ලෝහ-ඔක්සයිඩ් ආලේපන සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.
තාක්ෂණික ලක්ෂණ:
ඉලක්ක පෘෂ්ඨ මත ආරෝපණ සමුච්චය වීම අවම කරමින් ද්විධ්රැව ප්රත්යාවර්තක විසර්ජනය භාවිතා කරයි.
චාප වීම ඵලදායී ලෙස අඩු කරයි, ක්රියාවලි ස්ථායිතාව වැඩි දියුණු කරයි
ඉහළ ශක්ති ඝනත්වයට සහය දක්වයි, ඉහළ තැන්පත් වීමේ අනුපාත සක්රීය කරයි
විශාල ප්රදේශ ආලේපන සහ කාර්මික මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය සඳහා හොඳින් ගැලපේ.
වාසි:
ඉහළ තැන්පත් වීමේ අනුපාතය සහ උසස් ප්රතිදානය
සන්නායක ඉලක්ක සහ ප්රතික්රියාශීලී ඉසීම සඳහා කදිමයි.
වැඩිදියුණු කළ චාප මර්දනය සහ මෙහෙයුම් විශ්වසනීයත්වය
සරල නඩත්තුව සමඟ ලාභදායී
සීමාවන්:
ඉහළ පරිවාරක ඉලක්ක සඳහා සුදුසු නොවේ.
ප්ලාස්මා ඒකාකාරිත්වය සඳහා චුම්භක ක්ෂේත්රය සහ වායු ප්රවාහ සැලසුම හරහා ප්රශස්තිකරණය අවශ්ය විය හැකිය.
| සංසන්දනාත්මක අයිතමය | RF බල සැපයුම | MF බල සැපයුම |
|---|---|---|
| මෙහෙයුම් සංඛ්යාතය | 13.56 මෙගාහර්ට්ස් | 10–200 kHz |
| ඉලක්ක අනුකූලතාව | පරිවාරක / ඔක්සයිඩ් ඉලක්ක | ලෝහමය / ප්රතික්රියාශීලී ඉලක්ක |
| තැන්පත් කිරීමේ අනුපාතය | මධ්යම සිට පහළ දක්වා | ඉහළ |
| චාප මර්දනය | මධ්යස්ථ | විශිෂ්ටයි |
| ප්ලාස්මා ස්ථායිතාව | ඉහළ | ඉහළ |
| පද්ධති පිරිවැය | ඉහළ | පහළ |
| සාමාන්ය යෙදුම් | දෘශ්ය සහ ක්රියාකාරී චිත්රපට | කාර්මික සහ අලංකරණ ආලේපන |
ඉහළ පරිවාරක ද්රව්ය (දෘශ්ය සහ පාර විද්යුත් පටල) සඳහා, RF බල සැපයුම් වඩාත් කැමති විසඳුම ලෙස පවතී.
ලෝහ ආලේපන, විශාල ප්රදේශ තැන්පත් වීම සහ ප්රතික්රියාශීලී ඉසින (TiN, ITO, CrOx) සඳහා, MF බල සැපයුම් උසස් ප්රතිදානයක් සහ පිරිවැය කාර්යක්ෂමතාවයක් ලබා දෙයි.
ඉහළ පරිමාණ කාර්මික නිෂ්පාදනයේදී, MF බල සැපයුම් වඩා හොඳ දිගුකාලීන ක්රියාවලි ස්ථාවරත්වයක් ලබා දෙයි.
ඉහළ මට්ටමේ දෘශ්ය සහ නිරවද්ය ක්රියාකාරී ආලේපන සඳහා, RF බල සැපයුම් මඟින් වැඩිදියුණු කළ ඒකාකාරිත්වය සහ සංයුති පාලනය සපයයි.
රික්ත ආලේපන යෙදීම්වල RF සහ MF බල සැපයුම් එකිනෙකට වෙනස් වාසි ලබා දෙන අතර, ඉලක්කගත ද්රව්ය ගුණාංග, ආලේපන වර්ගය, නිෂ්පාදන ධාරිතාව සහ පිරිවැය සලකා බැලීම් මගින් ඒවායේ යෝග්යතාවය තීරණය වේ.
කාර්මික ආලේපනය අඛණ්ඩව පරිණාමය වෙමින් පවතින බැවින්, ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයකින් යුත්, ඉහළ අනුකූලතාවයකින් යුත් මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනය සඳහා MF බල සැපයුම් ප්රධාන ධාරාවේ තේරීම බවට පත්වෙමින් පවතින අතර, RF බල සැපයුම් දෘශ්ය ශ්රේණියේ සහ පාර විද්යුත් පටල තැන්පත් කිරීම සඳහා අත්යවශ්ය වේ.
ඉදිරිය දෙස බලන විට, දෙමුහුන් බල ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය සහ බුද්ධිමත් බල පාලන තාක්ෂණයන් ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සහ ආලේපන ක්රියාකාරිත්වය තවදුරටත් වැඩිදියුණු කරනු ඇතැයි අපේක්ෂා කෙරේ.
-මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කරන ලද්දේරික්ත ආලේපන උපකරණ නිෂ්පාදක ෂෙන්හුවා වැකුම් ක්ලීනර්
පළ කිරීමේ කාලය: ජනවාරි-27-2026