வெற்றிடப் பூச்சு முறையில் உயர் அதிர்வெண் மற்றும் நடுத்தர அதிர்வெண் மின்வழங்கிகளுக்கு இடையிலான வேறுபாடுகள்

காந்த டிரானில்சிதறல் மற்றும் பிளாஸ்மா படிவுசெயல்முறைகளில், பிளாஸ்மாவின் நிலைத்தன்மை, சிதறல் செயல்திறன், படல அடர்த்தி மற்றும் செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் நிகழ்தன்மை ஆகியவற்றைத் தீர்மானிப்பதில் மின்வழங்கல் வகை ஒரு முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது.

மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் மின்வழங்கி வகைகள் ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) மின்வழங்கிகள் மற்றும் நடுத்தர அதிர்வெண் (MF) மின்வழங்கிகள் ஆகும், இவை இயக்க அதிர்வெண், வெளியேற்றப் பொறிமுறை, இலக்கு இணக்கத்தன்மை மற்றும் செயல்முறை செயல்திறன் ஆகியவற்றில் கணிசமாக வேறுபடுகின்றன.

பூச்சுத் தரம், உற்பத்தித் திறன் மற்றும் அமைப்பின் நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றை மேம்படுத்துவதற்குப் பொருத்தமான மின்வழங்கியைத் தேர்ந்தெடுப்பது இன்றியமையாதது.

RF மின்வழங்கிகள் பொதுவாக 13.56 MHz அதிர்வெண்ணில் இயங்குகின்றன, மேலும் இவை முதன்மையாக SiO₂, Al₂O₃, மற்றும் TiO₂ போன்ற மின்காப்பு இலக்குகளை ஸ்பட்டரிங் செய்வதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

தொழில்நுட்ப அம்சங்கள்:

ஒரு மாற்று மின்புலம் வழியாக நிலையான பிளாஸ்மா வெளியேற்றத்தைப் பராமரிக்கிறது.

மின்காப்பு இலக்கு மேற்பரப்புகளில் மின்னூட்டம் குவிவதைத் தடுக்கிறது

மின்காப்புப் படலங்கள், ஒளியியல் பூச்சுகள் மற்றும் செயல்பாட்டு ஆக்சைடு அடுக்குகளைப் படியவைப்பதற்கு ஏற்றது.

உயர் துல்லியமான படப் பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த பிளாஸ்மா சீரான தன்மையை வழங்குகிறது.

நன்மைகள்:

மின்கடத்தா இலக்குகளுடன் இணக்கமானது

நிலையான வெளியேற்றம் மற்றும் சீரான சிதறல்

உயர் கலவைக் கட்டுப்பாடு மற்றும் சிறந்த ஒளியியல் செயல்திறன்

வரம்புகள்:

அதிக அமைப்பு செலவு

குறைந்த ஆற்றல் அடர்த்தி மற்றும் வரையறுக்கப்பட்ட படிவு விகிதம்

சிக்கலான மின்மறுப்புப் பொருத்தத் தேவைகள்

நடுத்தர அதிர்வெண் (MF) மின்வழங்கிகள் பொதுவாக 10–200 kHz வரம்பில் இயங்குகின்றன, மேலும் இவை இரட்டை-மேக்னட்ரான் அமைப்புகளிலும், வினைபுரியும் ஸ்பட்டரிங் செயல்முறைகளிலும், குறிப்பாக உலோக மற்றும் உலோக-ஆக்சைடு பூச்சுகளுக்காகப் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

தொழில்நுட்ப அம்சங்கள்:

இருமுனை மாற்று மின்னிறக்கத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், இலக்குப் பரப்புகளில் மின்னூட்டம் குவிவதைக் குறைக்கிறது.

மின்வில் ஏற்படுவதைத் திறம்படக் குறைத்து, செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

அதிக ஆற்றல் அடர்த்தியை ஆதரிப்பதால், அதிகப் படிவு விகிதங்களைச் சாத்தியமாக்குகிறது.

பரந்த பரப்பு பூச்சு மற்றும் தொழில்துறை பெருமளவு உற்பத்திக்கு மிகவும் பொருத்தமானது.

நன்மைகள்:

அதிகப் படிவு விகிதம் மற்றும் சிறந்த செயல் வெளியீடு

கடத்தும் இலக்குகள் மற்றும் வினைபுரியும் சிதறலுக்கு உகந்தது

மேம்படுத்தப்பட்ட மின்வில் அடக்கம் மற்றும் செயல்பாட்டு நம்பகத்தன்மை

செலவு குறைந்த மற்றும் எளிமையான பராமரிப்பு

வரம்புகள்:

அதிக மின்காப்புத் திறன் கொண்ட இலக்குகளுக்கு ஏற்றதல்ல.

பிளாஸ்மாவின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதற்கு, காந்தப்புலம் மற்றும் வாயு ஓட்ட வடிவமைப்பு தேவைப்படலாம்.

அதிக மின்காப்புத் திறன் கொண்ட பொருட்களுக்கு (ஒளியியல் மற்றும் மின்காப்புப் படலங்கள்), RF மின்வழங்கிகளே விரும்பப்படும் தீர்வாகத் திகழ்கின்றன.

உலோகப் பூச்சுகள், பெரிய பரப்பளவுப் படிவு மற்றும் வினைபுரியும் ஸ்பட்டரிங் (TiN, ITO, CrOx) போன்றவற்றுக்கு, MF மின்வழங்கிகள் மேம்பட்ட செயல்வேகத்தையும் செலவுத் திறனையும் வழங்குகின்றன.

அதிக அளவிலான தொழில்துறை உற்பத்தியில், MF மின்வழங்கிகள் சிறந்த நீண்டகால செயல்முறை நிலைத்தன்மையை வழங்குகின்றன.

உயர்தர ஒளியியல் மற்றும் துல்லியமான செயல்பாட்டுப் பூச்சுகளுக்கு, RF மின்வழங்கிகள் மேம்பட்ட சீரான தன்மையையும் கலவைக் கட்டுப்பாட்டையும் அளிக்கின்றன.

வெற்றிடப் பூச்சுப் பயன்பாடுகளில் RF மற்றும் MF மின்வழங்கிகள் ஒவ்வொன்றும் தனித்துவமான நன்மைகளை வழங்குகின்றன; அவற்றின் பொருத்தமானது, இலக்குப் பொருளின் பண்புகள், பூச்சு வகை, உற்பத்தித் திறன் மற்றும் செலவுக் காரணிகளைப் பொறுத்து அமைகிறது.

தொழில்துறை பூச்சுத் துறை தொடர்ந்து வளர்ச்சியடைந்து வருவதால், உயர் செயல்திறன் மற்றும் உயர் நிலைத்தன்மை கொண்ட பெருமளவு உற்பத்திக்கு MF மின்வழங்கிகள் பிரதான தேர்வாக மாறி வருகின்றன, அதே வேளையில் ஒளியியல் தரம் மற்றும் மின்காப்புப் படலப் படிவுக்கு RF மின்வழங்கிகள் இன்றியமையாதவையாகத் திகழ்கின்றன.

வரும் காலத்தில், கலப்பின மின் கட்டமைப்புகள் மற்றும் அறிவார்ந்த மின் கட்டுப்பாட்டுத் தொழில்நுட்பங்கள், செயல்முறை நிலைத்தன்மையையும் பூச்சு செயல்திறனையும் மேலும் மேம்படுத்தும் என எதிர்பார்க்கப்படுகிறது.

-இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள் உற்பத்தியாளர் ஜென்ஹுவா வேக்யூம்