Ao amin'ny magnetronfandoroana sy fametrahana plasmaao anatin'ny dingana samihafa, ny karazana famatsiana herinaratra dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny famaritana ny fahamarinan'ny plasma, ny fahombiazan'ny sputtering, ny hakitroky ny sarimihetsika, ary ny fahafahan'ny dingana famerimberenana.
Ny karazana famatsiana herinaratra be mpampiasa indrindra dia ny famatsiana herinaratra amin'ny Frequency Radio (RF) sy ny famatsiana herinaratra amin'ny Frequency Medium (MF), izay samy hafa be amin'ny lafiny fatran'ny fiasana, ny mekanisma famoahana, ny fifanarahana amin'ny lasibatra, ary ny fahombiazan'ny dingana.
Tena ilaina ny fisafidianana ny famatsiana herinaratra sahaza mba hanatsarana ny kalitaon'ny coating, ny vokatra azo avy amin'ny famokarana ary ny fahamarinan'ny rafitra.
Ny famatsiana herinaratra RF dia mazàna miasa amin'ny 13.56 MHz ary ampiasaina indrindra amin'ny lasibatra insulation sputtering toy ny SiO₂, Al₂O₃, ary TiO₂.
Toetra ara-teknika:
Mitazona fivoahan'ny plasma marin-toerana amin'ny alàlan'ny sehatra elektrika mifandimby
Misoroka ny fiangonan'ny fiampangana amin'ny velaran-javatra manakana ny fidiran'ny herinaratra
Azo ampiasaina amin'ny fametrahana sarimihetsika dielektrika, coating optika, ary sosona oksida miasa
Manome fitoviana plasma tsara dia tsara ho an'ny fampiharana sarimihetsika avo lenta
Tombony:
Mifanaraka amin'ny lasibatra tsy mitondra herinaratra
Fivoahan-drano tsy miovaova sy fivoahan-drano mitovy
Fanaraha-maso tsara ny firafitry ny singa sy fampisehoana optika ambony kokoa
Famerana:
Vidin'ny rafitra ambony kokoa
Haavo ambany kokoa ary tahan'ny fametrahana voafetra
Fepetra takiana amin'ny fampifanarahana impedance sarotra
Ny famatsiana herinaratra antonony matetika (MF) dia mazàna miasa eo amin'ny elanelana 10–200 kHz ary ampiasaina betsaka amin'ny rafitra dual-magnetron sy ny dingana reactive sputtering, indrindra ho an'ny coatings metaly sy metaly-oksida.
Toetra ara-teknika:
Mampiasa fivoahan'ny herinaratra mifandimby bipolar, mampihena ny fiangonan'ny fiampangana amin'ny velaran-tany kendrena
Mampihena tsara ny arcing, manatsara ny fahamarinan'ny dingana
Manohana ny hakitroky ny herinaratra ambony kokoa, ahafahana mampitombo ny tahan'ny fametrahana
Mety tsara amin'ny fandrakofana velarana midadasika sy famokarana faobe indostrialy
Tombony:
Tahan'ny fametrahana avo lenta sy fahafaha-mivezivezy tsara kokoa
Tsara ho an'ny lasibatra mpitondra herinaratra sy ny fiparitahan'ny taratra reactive
Fanamafisana ny arc sy ny fahatokisana ny fampiasana azy
Mihena ny vidiny miaraka amin'ny fikojakojana tsotra
Famerana:
Tsy mety amin'ny lasibatra miaro tena amin'ny hafanana be loatra
Mety mitaky fanatsarana amin'ny alàlan'ny sehatra magnetika sy ny famolavolana fikorianan'ny entona ny fitoviana plasma
| Zavatra fampitahana | Famatsiana herinaratra RF | Famatsiana herinaratra MF |
|---|---|---|
| Fahita matetika ny fiasana | 13.56 MHz | 10–200 kHz |
| Fifanarahana amin'ny tanjona | Tanjona miaro amin'ny hafanana / oksida | Tanjona metaly / mihetsika |
| Tahan'ny fametrahana | Antonony ka hatramin'ny Ambany | Avo |
| Fanafoanana ny Arc | mampitony | tsara |
| Faharetan'ny plasma | Avo | Avo |
| Vidin'ny rafitra | ambony | Ambany |
| Fampiharana mahazatra | Sarimihetsika Optika & Miasa | Fandokoana indostrialy sy haingon-trano |
Ho an'ny fitaovana miaro tena amin'ny hafanana be loatra (sarimihetsika optika sy dielektrika), ny famatsiana herinaratra RF no vahaolana tsara indrindra.
Ho an'ny coatings metaly, deposition amin'ny faritra midadasika, ary reactive sputtering (TiN, ITO, CrOx), ny famatsiana herinaratra MF dia manolotra throughput ambony kokoa sy fahombiazana amin'ny vidiny.
Amin'ny famokarana indostrialy be dia be, ny famatsiana herinaratra MF dia manome fitoniana maharitra kokoa amin'ny fizotran'ny asa.
Ho an'ny coating optika avo lenta sy miasa tsara, ny famatsiana herinaratra RF dia manome fitoviana sy fanaraha-maso tsara kokoa ny firafiny.
Samy manolotra tombony miavaka ny famatsiana herinaratra RF sy MF amin'ny fampiharana coating banga, ary ny fahafahany mifanaraka amin'izany dia voafaritry ny toetran'ny fitaovana kendrena, ny karazana coating, ny fahafaha-mamokatra ary ny fiheverana ny vidiny.
Eo am-pivoarana hatrany ny coating indostrialy, ny famatsiana herinaratra MF dia lasa safidy lehibe ho an'ny famokarana faobe mahomby sy tsy miovaova, raha toa kosa ka mbola tena ilaina ny famatsiana herinaratra RF ho an'ny fametrahana sarimihetsika optika sy dielektrika.
Raha jerena amin'ny ho avy, ny maritrano herinaratra mifangaro sy ny teknolojia fanaraha-maso herinaratra marani-tsaina dia antenaina hanatsara bebe kokoa ny fahamarinan'ny dingana sy ny fahombiazan'ny coating.
-Navoakan'nyfitaovana fanosotra banga mpanamboatra Zhenhua Vacuum
Fotoana fandefasana: 27 Janoary 2026