ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନରେକ୍ଷତବିକ୍ଷତ ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ଜମାପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକ, ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ପ୍ରକାର ପ୍ଲାଜମା ସ୍ଥିରତା, ସ୍ପଟରିଂ ଦକ୍ଷତା, ଫିଲ୍ମ ଘନତା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୁନରାବୃତ୍ତି ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବାରେ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରେ।
ସର୍ବାଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ପ୍ରକାରଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି (RF) ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଏବଂ ମଧ୍ୟମ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି (MF) ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ, ଯାହା କାର୍ଯ୍ୟକାରିତା ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି, ଡିସଚାର୍ଜ ମେକାନିଜିମ୍, ଟାର୍ଗେଟ ସୁସଙ୍ଗତତା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଦୃଷ୍ଟିରୁ ଯଥେଷ୍ଟ ଭିନ୍ନ।
ଆବରଣ ଗୁଣବତ୍ତା, ଉତ୍ପାଦନ ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ଏବଂ ସିଷ୍ଟମ ସ୍ଥିରତାକୁ ଅନୁକୂଳ କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ଚୟନ କରିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ଜରୁରୀ।
RF ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ସାଧାରଣତଃ 13.56 MHz ରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ ଏବଂ ମୁଖ୍ୟତଃ SiO₂, Al₂O₃, ଏବଂ TiO₂ ଭଳି ଇନସୁଲେଟିଂ ଟାର୍ଗେଟକୁ ସ୍ପଟର କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ଯାନ୍ତ୍ରିକ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ:
ଏକ ବିକଳ୍ପ ବୈଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ମାଧ୍ୟମରେ ସ୍ଥିର ପ୍ଲାଜମା ନିର୍ଗତତା ବଜାୟ ରଖେ
ଲକ୍ଷ୍ୟ ପୃଷ୍ଠକୁ ଇନସୁଲେଟିଂ କରିବାରେ ଚାର୍ଜ ଜମାକୁ ରୋକିଥାଏ
ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଫିଲ୍ମ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆବରଣ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସ୍ତର ଜମା କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ
ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଫିଲ୍ମ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏକରୂପତା ପ୍ରଦାନ କରେ।
ସୁବିଧା:
ଅଣ-ପରିବାହୀ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସହିତ ସୁସଙ୍ଗତ
ସ୍ଥିର ଡିସଚାର୍ଜ ଏବଂ ସମାନ ସ୍ପଟରିଂ
ଉଚ୍ଚ ରଚନାଗତ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା
ସୀମାବଦ୍ଧତା:
ଅଧିକ ସିଷ୍ଟମ୍ ଖର୍ଚ୍ଚ
ନିମ୍ନ ଶକ୍ତି ଘନତ୍ୱ ଏବଂ ସୀମିତ ଜମା ହାର
ଜଟିଳ ପ୍ରତିବାଧା ମେଳ ଖାଉଥିବା ଆବଶ୍ୟକତା
ମଧ୍ୟମ ଆବୃତ୍ତି (MF) ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ସାଧାରଣତଃ 10-200 kHz ପରିସର ମଧ୍ୟରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ ଏବଂ ଡୁଆଲ୍-ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସିଷ୍ଟମ୍ ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ବିଶେଷକରି ଧାତୁ ଏବଂ ଧାତୁ-ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଆବରଣ ପାଇଁ।
ଯାନ୍ତ୍ରିକ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ:
ଲକ୍ଷ୍ୟ ପୃଷ୍ଠରେ ଚାର୍ଜ ସଂଗ୍ରହକୁ କମ କରି, ଦ୍ୱିପାକ୍ଷିକ ଅଦଳବଦଳ ଡିସଚାର୍ଜ ବ୍ୟବହାର କରେ।
ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଆର୍ସିଂ ହ୍ରାସ କରେ, ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତାକୁ ଉନ୍ନତ କରେ।
ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ଘନତ୍ୱକୁ ସମର୍ଥନ କରେ, ଉଚ୍ଚ ଜମା ହାରକୁ ସକ୍ଷମ କରେ
ବଡ଼ କ୍ଷେତ୍ର ଆବରଣ ଏବଂ ଶିଳ୍ପ ବହୁଳ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
ସୁବିଧା:
ଉଚ୍ଚ ଜମା ହାର ଏବଂ ଉନ୍ନତ ଥ୍ରୁପୁଟ୍
ପରିବାହୀ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ
ଉନ୍ନତ ଆର୍କ ଦମନ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା
ସରଳୀକୃତ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ସହିତ କମ ଖର୍ଚ୍ଚରେ କାମ କରେ।
ସୀମାବଦ୍ଧତା:
ଅତ୍ୟଧିକ ଅନ୍ତଃସଂଯୋଗ ଲକ୍ଷ୍ୟ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ନୁହେଁ
ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଏବଂ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବାହ ଡିଜାଇନ୍ ମାଧ୍ୟମରେ ପ୍ଲାଜମା ସମାନତାକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ଆବଶ୍ୟକ ହୋଇପାରେ।
| ତୁଳନା ଆଇଟମ୍ | ଆରଏଫ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ | MF ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ |
|---|---|---|
| କାର୍ଯ୍ୟକାରିତା ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି | ୧୩.୫୬ ମେଗାହର୍ଜ | ୧୦-୨୦୦ kHz |
| ଟାର୍ଗେଟ ସୁସଙ୍ଗତତା | ଇନସୁଲେଟିଂ / ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଲକ୍ଷ୍ୟ | ଧାତୁ / ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଲକ୍ଷ୍ୟ |
| ଜମା ହାର | ମଧ୍ୟମରୁ ନିମ୍ନ | ଅଧିକ |
| ଆର୍କ ସପ୍ରେସନ | ମଧ୍ୟମ ଧରଣର | ଉତ୍କୃଷ୍ଟ |
| ପ୍ଲାଜମା ସ୍ଥିରତା | ଅଧିକ | ଅଧିକ |
| ସିଷ୍ଟମ୍ ଖର୍ଚ୍ଚ | ଉଚ୍ଚତର | ତଳ |
| ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ | ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ଫଙ୍କସନ୍ଲ ଫିଲ୍ମସ୍ | ଶିଳ୍ପ ଏବଂ ସାଜସଜ୍ଜା ଆବରଣ |
ଅତ୍ୟଧିକ ଇନସୁଲେଟିଂ ସାମଗ୍ରୀ (ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଫିଲ୍ମ) ପାଇଁ, RF ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ପସନ୍ଦିତ ସମାଧାନ ଭାବରେ ରହିଆସିଛି।
ଧାତୁ ଆବରଣ, ବୃହତ କ୍ଷେତ୍ର ଜମା ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂ (TiN, ITO, CrOx) ପାଇଁ, MF ପାୱାର ଯୋଗାଣ ଉନ୍ନତ ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ଏବଂ ମୂଲ୍ୟ ଦକ୍ଷତା ପ୍ରଦାନ କରେ।
ଉଚ୍ଚ-ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଶିଳ୍ପ ଉତ୍ପାଦନରେ, MF ପାୱାର ଯୋଗାଣ ଉତ୍ତମ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ।
ଉଚ୍ଚମାନର ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ସଠିକ୍ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଆବରଣ ପାଇଁ, RF ପାୱାର ଯୋଗାଣ ଉନ୍ନତ ଏକରୂପତା ଏବଂ ଗଠନାତ୍ମକ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ।
RF ଏବଂ MF ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରୟୋଗରେ ପୃଥକ ସୁବିଧା ପ୍ରଦାନ କରେ, ସେମାନଙ୍କର ଉପଯୁକ୍ତତା ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଗୁଣଧର୍ମ, ଆବରଣ ପ୍ରକାର, ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷମତା ଏବଂ ମୂଲ୍ୟ ବିଚାର ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ।
ଶିଳ୍ପ ଆବରଣ ବିକଶିତ ହେବା ସହିତ, ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା, ଉଚ୍ଚ-ସଂଗତତା ବହୁଳ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ MF ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ମୁଖ୍ୟଧାରାର ପସନ୍ଦ ହେବାକୁ ଯାଉଛି, ଯେତେବେଳେ RF ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଅପ୍ଟିକାଲ୍-ଗ୍ରେଡ୍ ଏବଂ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଫିଲ୍ମ ଜମା ପାଇଁ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ ରହିଛି।
ଆଗକୁ ଚାହିଁଲେ, ହାଇବ୍ରିଡ୍ ପାୱାର ଆର୍କିଟେକ୍ଚର୍ ଏବଂ ବୁଦ୍ଧିମାନ ପାୱାର ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଆବରଣ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଆହୁରି ବୃଦ୍ଧି କରିବ ବୋଲି ଆଶା କରାଯାଉଛି।
-ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲାଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତା ଜେନହୁଆ ଭାକ୍ୟୁମ୍
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜାନୁଆରୀ-୨୭-୨୦୨୬