व्हॅक्यूम कोटिंगमध्ये उच्च-फ्रिक्वेन्सी आणि मध्यम-फ्रिक्वेन्सी पॉवर सप्लायमधील फरक

मॅग्नेट्रॉनमध्येस्पटरिंग आणि प्लाझ्मा निक्षेपणप्रक्रियांमध्ये, प्लाझ्मा स्थिरता, स्पटरिंग कार्यक्षमता, फिल्म घनता आणि प्रक्रियेची पुनरावृत्तीक्षमता निश्चित करण्यात वीज पुरवठ्याचा प्रकार महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतो.

सर्वाधिक वापरल्या जाणाऱ्या वीज पुरवठ्याच्या प्रकारांमध्ये रेडिओ फ्रिक्वेन्सी (RF) वीज पुरवठा आणि मध्यम फ्रिक्वेन्सी (MF) वीज पुरवठा यांचा समावेश होतो, जे कार्यरत फ्रिक्वेन्सी, डिस्चार्ज यंत्रणा, लक्ष्य सुसंगतता आणि प्रक्रिया कार्यक्षमतेच्या बाबतीत लक्षणीयरीत्या भिन्न असतात.

कोटिंगचा दर्जा, उत्पादन क्षमता आणि प्रणालीची स्थिरता इष्टतम करण्यासाठी योग्य वीज पुरवठ्याची निवड करणे आवश्यक आहे.

RF पॉवर सप्लाय सामान्यतः 13.56 MHz वर चालतात आणि प्रामुख्याने SiO₂, Al₂O₃, आणि TiO₂ सारख्या इन्सुलेटिंग टार्गेटच्या स्पटरिंगसाठी वापरले जातात.

तांत्रिक वैशिष्ट्ये:

पर्यायी विद्युत क्षेत्राद्वारे स्थिर प्लाझ्मा डिस्चार्ज राखला जातो.

विद्युतरोधक लक्ष्य पृष्ठभागांवर विद्युत प्रभार जमा होण्यास प्रतिबंध करते

डायलेक्ट्रिक फिल्म्स, ऑप्टिकल कोटिंग्ज आणि फंक्शनल ऑक्साइड लेयर्स जमा करण्यासाठी उपयुक्त

उच्च-सुस्पष्टता फिल्म अनुप्रयोगांसाठी उत्कृष्ट प्लाझ्मा एकसमानता प्रदान करते

फायदे:

विद्युतवाहक नसलेल्या लक्ष्यांशी सुसंगत

स्थिर डिस्चार्ज आणि एकसमान स्पटरिंग

उच्च रचनात्मक नियंत्रण आणि उत्कृष्ट ऑप्टिकल कार्यक्षमता

मर्यादा:

उच्च प्रणाली खर्च

कमी ऊर्जा घनता आणि मर्यादित निक्षेपण दर

कॉम्प्लेक्स इम्पेडन्स मॅचिंग आवश्यकता

मध्यम वारंवारता (MF) वीज पुरवठा सामान्यतः 10-200 kHz श्रेणीत कार्य करतात आणि ड्युअल-मॅग्नेट्रॉन प्रणाली आणि प्रतिक्रियाशील स्पटरिंग प्रक्रियांमध्ये, विशेषतः धातू आणि धातू-ऑक्साइड लेपनासाठी मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.

तांत्रिक वैशिष्ट्ये:

बायपोलर अल्टरनेटिंग डिस्चार्जचा वापर करते, ज्यामुळे लक्ष्य पृष्ठभागांवर चार्ज जमा होण्याचे प्रमाण कमी होते.

आर्किंग प्रभावीपणे कमी करते, ज्यामुळे प्रक्रियेची स्थिरता सुधारते.

उच्च ऊर्जा घनतेस समर्थन देते, ज्यामुळे उच्च निक्षेपण दर शक्य होतात.

मोठ्या क्षेत्रावरील कोटिंग आणि औद्योगिक मोठ्या प्रमाणावरील उत्पादनासाठी अत्यंत योग्य

फायदे:

उच्च निक्षेपण दर आणि उत्कृष्ट थ्रुपुट

वाहक लक्ष्य आणि प्रतिक्रियाशील स्पटरिंगसाठी आदर्श

सुधारित आर्क दमन आणि कार्यान्वयन विश्वसनीयता

किफायतशीर आणि सुलभ देखभाल

मर्यादा:

अत्यंत उष्णतारोधक लक्ष्यांसाठी योग्य नाही

प्लाझ्माची एकसमानता चुंबकीय क्षेत्र आणि वायू प्रवाहाच्या रचनेद्वारे अनुकूलित करण्याची आवश्यकता असू शकते.

अत्यंत विद्युतरोधक पदार्थांसाठी (ऑप्टिकल आणि डायलेक्ट्रिक फिल्म्स), आरएफ पॉवर सप्लाय हाच पसंतीचा उपाय आहे.

मेटल कोटिंग्स, मोठ्या क्षेत्रावरील डिपॉझिशन आणि रिॲक्टिव्ह स्पटरिंगसाठी (TiN, ITO, CrOx), MF पॉवर सप्लाय उत्कृष्ट थ्रुपुट आणि खर्च-कार्यक्षमता देतात.

मोठ्या प्रमाणातील औद्योगिक उत्पादनात, एमएफ पॉवर सप्लाय अधिक चांगली दीर्घकालीन प्रक्रिया स्थिरता देतात.

उच्च दर्जाच्या ऑप्टिकल आणि अचूक कार्यात्मक कोटिंग्जसाठी, आरएफ पॉवर सप्लाय वर्धित एकसमानता आणि रचनात्मक नियंत्रण प्रदान करतात.

व्हॅक्यूम कोटिंग ॲप्लिकेशन्समध्ये RF आणि MF पॉवर सप्लाय प्रत्येकी वेगवेगळे फायदे देतात, आणि त्यांची उपयुक्तता लक्ष्य सामग्रीचे गुणधर्म, कोटिंगचा प्रकार, उत्पादन क्षमता आणि खर्चाच्या बाबींवर अवलंबून असते.

औद्योगिक कोटिंग जसजसे विकसित होत आहे, तसतसे उच्च-कार्यक्षमता आणि उच्च-सुसंगतता असलेल्या मोठ्या प्रमाणावरील उत्पादनासाठी एमएफ (MF) पॉवर सप्लाय मुख्य पर्याय बनत आहेत, तर ऑप्टिकल-ग्रेड आणि डायलेक्ट्रिक फिल्म डिपोजिशनसाठी आरएफ (RF) पॉवर सप्लाय अपरिहार्य आहेत.

भविष्यात, हायब्रीड पॉवर आर्किटेक्चर आणि इंटेलिजेंट पॉवर कंट्रोल टेक्नॉलॉजीमुळे प्रक्रियेची स्थिरता आणि कोटिंगची कार्यक्षमता आणखी वाढण्याची अपेक्षा आहे.

हा लेख यांनी प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे निर्माता झेनहुआ ​​व्हॅक्यूम