Di magnetronê desputtering û depoya plazmayêDi pêvajoyan de, celebê dabînkirina hêzê di destnîşankirina aramiya plazmayê, karîgeriya sputterkirinê, dendika fîlimê û dubarekirina pêvajoyê de rolek girîng dilîze.
Cureyên dabînkirina hêzê yên herî berbelav dabînkerên hêza Frekansa Radyoyê (RF) û dabînkerên hêza Frekansa Navîn (MF) ne, ku ji hêla frekansa xebitandinê, mekanîzmaya dakêşanê, lihevhatina armancê û performansa pêvajoyê ve ji hev pir cûda dibin.
Hilbijartina dabînkirina hêzê ya guncaw ji bo baştirkirina kalîteya pêçanê, rêjeya hilberînê û aramiya pergalê girîng e.
Dabînkerên hêzê yên RF bi gelemperî li 13.56 MHz dixebitin û bi giranî ji bo sputterkirina hedefên îzolekirinê yên wekî SiO₂, Al₂O₃, û TiO₂ têne bikar anîn.
Taybetmendiyên Teknîkî:
Bi rêya zeviyek elektrîkê ya alternatîf, dakêşana plazmayê ya sabît diparêze
Pêşî li kombûna bargiraniyê li ser rûberên hedef ên îzolekirî digire
Ji bo danîna fîlmên dielektrîk, pêçanên optîkî, û tebeqeyên oksîda fonksiyonel minasib e
Ji bo sepanên fîlmê yên rastbûna bilind, yekrengiya plazmayê ya hêja peyda dike.
Awantaj:
Lihevhatî bi hedefên ne-guhêrbar re
Derxistina stabîl û sputtering yekreng
Kontrola kompozîsyona bilind û performansa optîkî ya bilind
Sînorkirin:
Mesrefa sîstemê ya bilindtir
Densiya hêza kêmtir û rêjeya danîna sînorkirî
Pêdiviyên hevahengkirina împedansa tevlihev
Dabînkerên hêzê yên Frekansa Navîn (MF) bi gelemperî di rêza 10-200 kHz de dixebitin û bi berfirehî di pergalên dual-magnetron û pêvajoyên sputterkirina reaktîf de, nemaze ji bo pêçandina metalîk û metal-oksîdê, têne bikar anîn.
Taybetmendiyên Teknîkî:
Dakêşana alternatîf a duqutbî bikar tîne, kombûna bargiraniyê li ser rûyên hedef kêm dike.
Bi bandor arckirinê kêm dike, aramiya pêvajoyê baştir dike
Piştgiriya dendika hêzê ya bilindtir dike, rêjeyên danîna bilindtir dihêle
Ji bo pêçandina qada mezin û hilberîna girseyî ya pîşesaziyê pir guncan e
Awantaj:
Rêjeya danîna bilind û hilberîneke bilind
Îdeal ji bo hedefên guhêrbar û sputterkirina reaktîf
Zêdekirina tepeserkirina arcê û pêbaweriya operasyonê ya pêşkeftî
Bi lênêrîna hêsankirî bi lêçûnek maqûl
Sînorkirin:
Ji bo hedefên pir îzolekirî ne guncaw e
Yekrengiya plazmayê dibe ku bi rêya sêwirana zeviya magnetîkî û herikîna gazê hewceyê çêtirkirinê bike
| Babetê Berawirdkirinê | Dabînkirina Hêzê ya RF | Dabînkirina Hêzê ya MF |
|---|---|---|
| Frekansa Xebitandinê | 13.56 MHz | 10–200 kHz |
| Lihevhatina Armancê | Armancên Îzolekirinê / Oksîdê | Armancên Metalîkî / Reaktîf |
| Rêjeya Depozîsyonê | Navîn ber bi nizm | Bilind |
| Tepeserkirina Kevanê | Navînî | Pirrbidilî |
| Aramiya Plazmayê | Bilind | Bilind |
| Mesrefa Sîstemê | Bilindtir | Kêmkirin |
| Serlêdanên Tîpîk | Fîlmên Optîkî û Fonksiyonel | Pêçanên Pîşesazî û Dekorasyonê |
Ji bo materyalên pir îzolekirî (fîlmên optîkî û dielektrîk), dabînkerên hêza RF çareseriya bijarte dimînin.
Ji bo pêçanên metalî, danîna rûberek mezin, û sputterkirina reaktîf (TiN, ITO, CrOx), dabînkerên hêzê yên MF rêhberiya bilind û lêçûnek bikêrhatî pêşkêş dikin.
Di hilberîna pîşesaziyê ya bi qebareya bilind de, dabînkerên hêzê yên MF aramiya pêvajoyê ya demdirêj a çêtir peyda dikin.
Ji bo pêçanên optîkî û fonksiyonel ên asta bilind, dabînkerên hêza RF yekrengî û kontrola pêkhateyê ya pêşkeftî peyda dikin.
Dabînkerên hêzê yên RF û MF di sepanên boyaxkirina valahiyê de avantajên cihêreng pêşkêş dikin, û guncawbûna wan ji hêla taybetmendiyên materyalê hedef, celebê boyaxkirinê, kapasîteya hilberînê û hesabên lêçûnê ve tê destnîşankirin.
Her ku pêçandina pîşesaziyê pêş dikeve, dabînkerên hêza MF ji bo hilberîna girseyî ya bi karîgeriya bilind û domdariya bilind dibin hilbijartina sereke, di heman demê de dabînkerên hêza RF ji bo danîna fîlima pola optîkî û dielektrîk neçar dimînin.
Li pêşerojê, tê payîn ku mîmariyên hêza hîbrîd û teknolojiyên kontrola hêzê yên aqilmend aramiya pêvajoyê û performansa pêçandinê bêtir zêde bikin.
- Ev gotar ji hêla ... ve hatiye weşandin.alavên boyaxkirina valahiyê hilberîner Zhenhua Vacuum
Dema weşandinê: 27ê rêbendana 2026an