Ẹ̀rọ náà jẹ́ ìrísí ìlẹ̀kùn méjì tí ó dúró ní ìta. Ó jẹ́ ẹ̀rọ àkópọ̀ tí ó ń so ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí DC magnetron sputtering, ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí resistance evaporation, ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí CVD àti ètò ìwẹ̀nùmọ́ ion ìgbàlódé. Ó yẹ fún ìyípadà ilana ọjà onípele àwọn oníbàárà. A lè parí fíìmù irin àti ilana ìṣelọ́pọ́ fíìmù ààbò ní yàrá ìgbàlejò ní àkókò kan láti dènà ìbàjẹ́ ilana kejì.
1. Ohun èlò náà ní ìrísí kékeré àti ilẹ̀ kékeré.
2. Ìṣètò ìlẹ̀kùn méjì, kò sí àkókò ìdúró, iṣẹ́ ṣíṣe gíga.
3. Fíìmù ìbòrí náà ní ìṣọ̀kan tó dára àti ìparí gíga.
A le lo awọn ohun elo naa si awọn ọja oriṣiriṣi bii awọn fitila, awọn aami ọkọ ayọkẹlẹ ati awọn ẹya gige inu ọkọ ayọkẹlẹ, a si le fi awọn fiimu irin bo wọn, gẹgẹbi Ti, Cu, Al, Cr, Ni, SUS, Sn, In ati awọn ohun elo miiran.
A le lo ẹrọ naa si awọn ọja oriṣiriṣi gẹgẹbi awọn fitila, awọn aami ọkọ ayọkẹlẹ ati awọn ẹya inu ọkọ ayọkẹlẹ, ati pe a le lo wọncotí a fi àwọn fíìmù irin ṣe, bíi Ti, Cu, Al, Cr, Ni, SUS, Sn,In àti àwọn ohun èlò míràn.
| ZCL1417 |
| φ1400*H1700(mm) |