Eseesega i le va o Sapalai Malosiaga Maualuga ma le Feololo i le Vacuum Coating

I le magnetronfe'avea'i ma le teuina o le plasmai faiga o galuega, o le ituaiga sapalai o le eletise e taua tele i le fuafuaina o le mautu o le plasma, le lelei o le sputtering, le mafiafia o le ata tifaga, ma le toe fai o le faagasologa.

O ituaiga sapalai eletise e sili ona faʻaaogaina lautele o sapalai eletise Faʻasalalau (RF) ma sapalai eletise Feololo (MF), ia e matua eseese lava i tulaga o le televave o le faʻagaoioiga, faiga e faʻasaʻoloto ai, fetaui ma sini, ma le faʻatinoga o le faʻagasologa.

O le filifilia o le sapalai eletise talafeagai e taua tele mo le faʻaleleia atili o le lelei o le vali, le saoasaoa o le gaosiga, ma le mautu o le masini.

E masani ona fa'agaoioia sapalai eletise RF i le 13.56 MHz ma e fa'aaogaina tele mo le sputtering insulating targets e pei o le SiO₂, Al₂O₃, ma le TiO₂.

Fa'amatalaga Fa'apitoa:

Fa'atumauina le tumau o le fa'asa'olotoina o le plasma e ala i se fanua eletise fesuia'i

Taofia le faaputuputuina o le mamafa i luga o luga o le sini e puipuia ai le vevela

E talafeagai mo le teuina o ata tifaga dielectric, ufiufi opitika, ma vaega o le oxide aoga

E tu'uina atu le tutusa lelei o le plasma mo fa'aoga ata tifaga maualuga le sa'o

Fa'amanuiaga:

Fegalegaleai ma sini e le o ni aveta'avale

Fa'asa'oloto mautu ma le sputtering tutusa

Pulea lelei o le tuufaatasiga ma le faatinoga sili ona lelei o le opitika

Tapula'a:

Tau maualuga o le faiga

Maualalo le mafiafia o le malosiaga ma le fua faatatau o le teuina faatapulaa

Mana'oga faigata mo le fetaui lelei o le impedance

O sapalai eletise Feololo (MF) e masani ona faʻagaoioia i le va o le 10–200 kHz ma e faʻaaogaina lautele i faiga faʻalua-magnetron ma faiga faʻafoe sputtering, aemaise lava mo ufiufi uʻamea ma uʻamea-oxide.

Fa'amatalaga Fa'apitoa:

Fa'aaogaina le bipolar alternating discharge, e fa'aitiitia ai le fa'aputuina o le totogi i luga o luga o le sini

Fa'aitiitia lelei le fa'a'au'au, fa'aleleia atili ai le mautu o le fa'agasologa

Lagolagoina le maualuga o le malosi o le eletise, ma mafai ai ona maualuga le fua faatatau o le teuina

E fetaui lelei mo le valiina o vaega tetele ma le gaosiga tele o alamanuia

Fa'amanuiaga:

Maualuga le fua faatatau o le teuina ma sili atu le gaosiga

Lelei mo sini fa'aeletise ma le reactive sputtering

Fa'aleleia atili le taofiofia o le arc ma le fa'atuatuaina o le fa'agaioiga

Taugofie ma faigofie ona tausia

Tapula'a:

E le talafeagai mo ni nofoaga e maualuga le puipuiga o le ea

Atonu e manaʻomia le faʻaleleia atili o le tutusa o le plasma e ala i le mamanu o le fanua maneta ma le tafe o le kesi

Mo mea e maualuga le puipuiga mai le vevela (ata opitika ma ata dielectric), o sapalai eletise RF o loʻo avea pea ma fofo sili ona lelei.

Mo ufiufi u'amea, fa'aputuga i se vaega tele, ma le reactive sputtering (TiN, ITO, CrOx), o sapalai eletise MF e ofoina atu le gaosiga sili ona lelei ma le taugofie.

I le tele o gaosiga fa'apisinisi, o sapalai eletise MF e tu'uina atu ai le mautu lelei o le fa'agasologa i se taimi umi

Mo ufiufi opitika maualuluga ma ufiufi sa'o lelei, o sapalai eletise RF e maua ai le fa'aleleia atili o le tutusa ma le puleaina o le tu'ufa'atasiga.

E tofu le sapalai eletise RF ma le MF ma e ofoina atu ni fa'amanuiaga tulaga ese i fa'aoga vali e aunoa ma le masini e fa'aogaina ai le vacuum, fa'atasi ai ma lo latou talafeagai e fuafua i meatotino o meafaitino fa'atatau i ai, ituaiga vali, gafatia gaosiga, ma le tau.

A o faʻaauau pea ona faʻaleleia atili le valiina o mea tau alamanuia, ua avea le sapalai eletise MF ma filifiliga autū mo le gaosiga tele e maualuga le lelei ma tutusa, ae o le sapalai eletise RF e tumau pea le tāua mo le teuina o ata opitika ma ata dielectric.

I le va'ai atu i le lumana'i, o fa'atulagaga o le eletise fa'afefiloi ma tekinolosi atamai e pulea ai le eletise o lo'o fa'amoemoeina o le a fa'aleleia atili ai le mautu o le fa'agasologa ma le fa'atinoga o le ufiufi.

-O lenei tusiga na lomia emeafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le ea kamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum