Ihe dị iche n'etiti ihe ndị na-enye ike dị elu na nke dị n'etiti na mkpuchi vacuum

Na magnetronmmụba na njupụta nke plasmausoro, ụdị ike ọkọnọ na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ịchọpụta nkwụsi ike plasma, arụmọrụ sputtering, njupụta ihe nkiri, na imeghachi usoro.

Ụdị ike kachasị eji bụ ike Radio Frequency (RF) na ike Medium Frequency (MF), nke dị iche nke ukwuu n'ihe gbasara ugboro ọrụ, usoro mwepụta, ndakọrịta ebumnuche, na arụmọrụ usoro.

Ịhọrọ ike kwesịrị ekwesị dị oke mkpa maka ime ka mma mkpuchi dị mma, mmepụta mmepụta, na iguzosi ike na sistemụ.

Ọkụ ike RF na-arụkarị ọrụ na 13.56 MHz ma a na-ejikarị ya eme ihe maka ịgbasa ihe mgbaru ọsọ mkpuchi dịka SiO₂, Al₂O₃, na TiO₂.

Atụmatụ teknụzụ:

Na-ejigide mwepụta plasma kwụsiri ike site na mpaghara eletriki ọzọ

Na-egbochi mkpokọta chaja na ihe mkpuchi ihe mgbaru ọsọ

Ọ dị mma maka itinye ihe nkiri dielectric, mkpuchi anya, na akwa oxide arụ ọrụ

Na-enye otu plasma dị mma maka ngwa ihe nkiri dị oke mma.

Uru:

Dakọtara na ihe mgbaru ọsọ na-abụghị nke na-eduzi

Mwepụ kwụsiri ike na sputtering otu

Njikwa nhazi dị elu na arụmọrụ anya dị elu

Mmachi:

Ọnụ ego sistemụ dị elu

Ike dị ala na ọnụego nkwụnye ego pere mpe

Ihe achọrọ maka ndakọrịta impedance dị mgbagwoju anya

Ike nke ugboro ole na ole (MF) na-arụkarị ọrụ na oke 10-200 kHz ma a na-ejikarị ya eme ihe na sistemụ dual-magnetron na usoro sputtering reactive, ọkachasị maka mkpuchi metal na metal-oxide.

Atụmatụ teknụzụ:

Na-eji mwepụ bipolar alternating, na-ebelata mkpokọta chajị n'elu ihe mgbaru ọsọ

Na-ebelata arcing nke ọma, na-eme ka usoro kwụsie ike ka mma

Na-akwado njupụta ike dị elu, na-eme ka ọnụego nkwụnye ego dị elu

Ọ dabara nke ọma maka mkpuchi buru ibu na mmepụta ihe owuwu ụlọ ọrụ

Uru:

Ọnụego nkwụnye ego dị elu na arụmọrụ kachasị elu

Ezigbo maka ebumnuche ndị na-eduzi ihe na sputtering mmeghachi omume

Mmechi arc na ntụkwasị obi arụmọrụ ka mma

Ọ na-efu ego site na mmezi dị mfe

Mmachi:

Adịghị mma maka ihe mgbaru ọsọ mkpuchi siri ike

Ịhazi nha anya na plasma nwere ike ịchọ njikarịcha site na nhazi ebe ndọta na gas.

Maka ihe mkpuchi dị elu (ihe nkiri anya na dielectric), ihe ọkụ RF ka bụ ihe ngwọta kachasị mma.

Maka mkpuchi ígwè, nkwụnye ebe buru ibu, na sputtering reactive (TiN, ITO, CrOx), ihe ndị na-enye ike MF na-enye mmepụta dị elu na arụmọrụ ọnụ ahịa.

N'ime mmepụta ụlọ ọrụ mmepụta ihe dị elu, ihe ọkụ eletrik MF na-enye nkwụsi ike usoro ogologo oge ka mma

Maka mkpuchi ọrụ dị elu na nke ziri ezi, ihe ndị na-enye ike RF na-enye nhazi na njikwa nhazi ka mma.

Ike RF na MF nke ọ bụla na-enye uru dị iche iche na ngwa mkpuchi oghere, yana ihe ndị a chọrọ iji mee ka ha dabara adaba dabere na ihe onwunwe, ụdị mkpuchi, ikike mmepụta, na ihe ndị a na-atụle ọnụ ahịa.

Ka mkpuchi ụlọ ọrụ mmepụta ihe na-aga n'ihu na-agbanwe, ọkọnọ ike MF na-aghọ nhọrọ kachasị maka mmepụta oke arụmọrụ dị elu, nke na-agbanwe agbanwe, ebe ọkọnọ ike RF ka dị mkpa maka itinye ihe nkiri anya na dielectric.

N'ile anya n'ọdịnihu, a na-atụ anya na usoro nhazi ike ngwakọ na teknụzụ njikwa ike nwere ọgụgụ isi ga-eme ka nkwụsi ike usoro na arụmọrụ mkpuchi dịkwuo mma.

-E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaakụrụngwa mkpuchi agụụ onye nrụpụta Zhenhua Vacuum