በቫክዩም ሽፋን ውስጥ በከፍተኛ ድግግሞሽ እና መካከለኛ ድግግሞሽ የኃይል አቅርቦቶች መካከል ያሉ ልዩነቶች

በማግኔትሮን ውስጥየፕላዝማ ክምችት እና የመርጨት ሂደትሂደቶችን በተመለከተ፣ የኃይል አቅርቦቱ አይነት የፕላዝማ መረጋጋትን፣ የስፕተር ቅልጥፍናን፣ የፊልም ጥግግትን እና የሂደቱን ተደጋጋሚነት በመወሰን ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታል።

በብዛት ጥቅም ላይ የዋሉት የኃይል አቅርቦት ዓይነቶች የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) የኃይል አቅርቦቶች እና መካከለኛ ፍሪኩዌንሲ (MF) የኃይል አቅርቦቶች ሲሆኑ እነዚህም በአሠራር ድግግሞሽ፣ በፈሳሽ ዘዴ፣ በዒላማ ተኳሃኝነት እና በሂደቱ አፈጻጸም ረገድ በእጅጉ ይለያያሉ።

የሽፋን ጥራትን፣ የምርት ፍሰትን እና የስርዓት መረጋጋትን ለማሻሻል ተገቢውን የኃይል አቅርቦት መምረጥ አስፈላጊ ነው።

የRF የኃይል አቅርቦቶች በተለምዶ በ13.56 ሜኸዝ የሚሰሩ ሲሆን በዋናነት እንደ SiO₂፣ Al₂O₃ እና TiO₂ ያሉ መከላከያ ኢላማዎችን ለማጥለቅ ያገለግላሉ።

ቴክኒካዊ ባህሪያት፡

በተለዋጭ የኤሌክትሪክ መስክ አማካኝነት የተረጋጋ የፕላዝማ ፈሳሽ ማቆየት

በዒላማው ቦታዎች ላይ የኃይል ክምችት እንዳይከማች ይከላከላል

ዳይኤሌክትሪክ ፊልሞችን፣ የኦፕቲካል ሽፋኖችን እና ተግባራዊ የኦክሳይድ ንብርብሮችን ለማስቀመጥ ተስማሚ

ለከፍተኛ ትክክለኛነት ፊልም አፕሊኬሽኖች እጅግ በጣም ጥሩ የፕላዝማ ወጥነት ይሰጣል

ጥቅሞች፡

ከማይተላለፉ ኢላማዎች ጋር ተኳሃኝ

የተረጋጋ ፈሳሽ እና ወጥ የሆነ ስፕቲተር

ከፍተኛ የአቀማመጥ ቁጥጥር እና የላቀ የኦፕቲካል አፈጻጸም

ገደቦች፡

ከፍተኛ የስርዓት ወጪ

ዝቅተኛ የኃይል ጥግግት እና የተወሰነ የማስቀመጫ ፍጥነት

ውስብስብ የኢምፔዳንስ ማዛመጃ መስፈርቶች

መካከለኛ ድግግሞሽ (MF) የኃይል አቅርቦቶች በተለምዶ ከ10-200 kHz ክልል ውስጥ የሚሰሩ ሲሆን በተለይም ለብረታ ብረት እና ለብረት-ኦክሳይድ ሽፋኖች በተለይም ለባለሁለት-ማግኔትሮን ስርዓቶች እና ምላሽ ሰጪ የስፕቱተር ሂደቶች በስፋት ጥቅም ላይ ይውላሉ።

ቴክኒካዊ ባህሪያት፡

ባይፖላር ተለዋጭ ፈሳሽን ይጠቀማል፣ በዒላማ ቦታዎች ላይ የኃይል ክምችትን ይቀንሳል

የሂደቱን መረጋጋት ያሻሽላል፣ የክርን መቆራረጥን ውጤታማ በሆነ መንገድ ይቀንሳል

ከፍተኛ የኃይል ጥግግትን ይደግፋል፣ ይህም ከፍተኛ የማስቀመጫ መጠኖችን ያስችላል

ለትልቅ አካባቢ ሽፋን እና ለኢንዱስትሪ የጅምላ ምርት በጣም ተስማሚ

ጥቅሞች፡

ከፍተኛ የማስቀመጫ ፍጥነት እና ከፍተኛ የመተላለፊያ ይዘት

ለኮንዳክቲቭ ኢላማዎች እና ለሪአክቲቭ ስፑተርንግ ተስማሚ

የተሻሻለ ቅስት ማፈን እና የአሠራር አስተማማኝነት

በቀላል ጥገና ወጪ ቆጣቢ

ገደቦች፡

ለከፍተኛ መከላከያ ኢላማዎች ተስማሚ አይደለም

የፕላዝማ ወጥነት በማግኔቲክ መስክ እና በጋዝ ፍሰት ዲዛይን በኩል ማመቻቸት ሊፈልግ ይችላል

ከፍተኛ ሙቀት መከላከያ ላላቸው ቁሳቁሶች (ኦፕቲካል እና ዳይኤሌክትሪክ ፊልሞች)፣ የRF የኃይል አቅርቦቶች ተመራጭ መፍትሄ ሆነው ይቆያሉ።

ለብረት ሽፋኖች፣ ለትላልቅ ቦታዎች ማከማቻ እና ምላሽ ሰጪ ስፐተርሪንግ (TiN፣ ITO፣ CrOx)፣ የኤምኤፍ የኃይል አቅርቦቶች የላቀ የውጤት ፍሰት እና የወጪ ቅልጥፍናን ይሰጣሉ

ከፍተኛ መጠን ባለው የኢንዱስትሪ ምርት ውስጥ፣ የኤምኤፍ የኃይል አቅርቦቶች የተሻለ የረጅም ጊዜ የሂደት መረጋጋትን ይሰጣሉ

ለከፍተኛ ደረጃ ኦፕቲካል እና ትክክለኛ ተግባራዊ ሽፋኖች፣ የRF የኃይል አቅርቦቶች የተሻሻለ ወጥነት እና የአቀማመጥ ቁጥጥር ይሰጣሉ።

የRF እና MF የኃይል አቅርቦቶች እያንዳንዳቸው በቫክዩም ሽፋን አፕሊኬሽኖች ውስጥ የተለያዩ ጥቅሞችን ይሰጣሉ፣ ተስማሚነታቸው የሚወሰነው በዒላማው የቁሳቁስ ባህሪያት፣ የሽፋን አይነት፣ የምርት አቅም እና የወጪ ግምት ነው።

የኢንዱስትሪ ሽፋን መሻሻሉን ሲቀጥል፣ የኤምኤፍ የኃይል አቅርቦቶች ለከፍተኛ ቅልጥፍና እና ለከፍተኛ ወጥነት ላለው የጅምላ ምርት ዋና ምርጫ እየሆኑ መጥተዋል፣ የRF የኃይል አቅርቦቶች ደግሞ ለኦፕቲካል ደረጃ እና ለዳይኤሌክትሪክ ፊልም ማከማቻ አስፈላጊ ሆነው ይቆያሉ።

ወደፊት ስንመለከት፣ የተዳቀለ የኃይል አርክቴክቸር እና ብልህ የኃይል መቆጣጠሪያ ቴክኖሎጂዎች የሂደቱን መረጋጋት እና የሽፋን አፈፃፀም የበለጠ እንደሚያሻሽሉ ይጠበቃል።

-ይህ ጽሑፍ የታተመው በየቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎች አምራች ዜንሁዋ ቫክዩም