Bambance-bambance Tsakanin Kayayyakin Wutar Lantarki Mai Yawan Mita da Matsakaicin Mita a Rufin Injin Tsaftace ...

A cikin magnetronfitar da ruwa da kuma zubar da plasmaA cikin tsari, nau'in samar da wutar lantarki yana taka muhimmiyar rawa wajen tantance kwanciyar hankali na plasma, ingancin sputtering, yawan fim, da kuma maimaita aiki.

Nau'ikan samar da wutar lantarki da aka fi amfani da su sune samar da wutar lantarki ta Mitar Rediyo (RF) da kuma samar da wutar lantarki ta Mitar Tsakiya (MF), waɗanda suka bambanta sosai dangane da mitar aiki, tsarin fitarwa, dacewar manufa, da kuma aikin sarrafawa.

Zaɓar wutar lantarki mai dacewa yana da mahimmanci don inganta ingancin rufi, yawan samarwa, da kuma kwanciyar hankali na tsarin.

Kayayyakin wutar lantarki na RF galibi suna aiki a 13.56 MHz kuma ana amfani da su ne musamman don yin amfani da abubuwan rufewa kamar SiO₂, Al₂O₃, da TiO₂.

Fasaloli na Fasaha:

Yana kiyaye kwararar jini mai ƙarfi ta hanyar amfani da wutar lantarki mai canzawa

Yana hana taruwar caji a saman da aka yi niyya

Ya dace da ajiye fina-finan dielectric, murfin gani, da yadudduka masu amfani da oxide

Yana ba da daidaito mai kyau na plasma don aikace-aikacen fim mai inganci

Fa'idodi:

Mai jituwa da manufofin da ba sa aiki da wutar lantarki

Cirewar iska mai ƙarfi da kuma fitar da iska mai ƙarfi

Babban iko da kayan aiki da kuma kyakkyawan aikin gani

Iyakoki:

Babban farashin tsarin

Ƙananan ƙarfin iko da ƙarancin kuɗin ajiya

Bukatun daidaitawa masu rikitarwa na impedance

Kayayyakin wutar lantarki na matsakaicin mita (MF) yawanci suna aiki a cikin kewayon 10-200 kHz kuma ana amfani da su sosai a cikin tsarin dual-magnetron da hanyoyin sputtering masu amsawa, musamman don rufin ƙarfe da ƙarfe-oxide.

Fasaloli na Fasaha:

Yana amfani da ruwan da ke canza yanayin iskar bipolar, yana rage yawan tarawar caji a saman da aka nufa

Yadda ya kamata yana rage arcing, yana inganta kwanciyar hankali na tsari

Yana tallafawa yawan ƙarfin lantarki mafi girma, yana ba da damar ƙara yawan ajiyar kuɗi

Ya dace sosai don babban shafi da kuma samar da kayan masana'antu

Fa'idodi:

Babban ƙimar ajiyar kuɗi da kuma ingantaccen fitarwa

Ya dace da manufofin gudanarwa da kuma sputtering mai amsawa

Ingantaccen danne baka da kuma amincin aiki

Mai sauƙin amfani da gyara mai sauƙi

Iyakoki:

Bai dace da manyan abubuwan rufewa ba

Daidaiton plasma na iya buƙatar ingantawa ta hanyar tsarin filin maganadisu da kwararar iskar gas

Ga kayan da ke da rufin asiri sosai (fina-finan gani da na dielectric), samar da wutar lantarki ta RF ta kasance mafita mafi soyuwa

Don rufin ƙarfe, ajiyar babban yanki, da kuma watsawa mai amsawa (TiN, ITO, CrOx), kayayyakin wutar lantarki na MF suna ba da ingantaccen fitarwa da ingantaccen farashi.

A cikin samar da kayayyaki masu yawa a masana'antu, kayayyakin wutar lantarki na MF suna samar da ingantaccen kwanciyar hankali na tsari na dogon lokaci

Don rufin aiki mai inganci da daidaito, kayan aikin wutar lantarki na RF suna ba da ingantaccen daidaito da sarrafa tsari.

Kayayyakin wutar lantarki na RF da MF kowannensu yana ba da fa'idodi daban-daban a aikace-aikacen murfin injin, tare da dacewarsu da aka ƙayyade ta hanyar kayan da aka yi niyya, nau'in murfin, ƙarfin samarwa, da la'akari da farashi.

Yayin da rufin masana'antu ke ci gaba da bunƙasa, kayayyakin wutar lantarki na MF suna zama babban zaɓi don samar da kayayyaki masu inganci da daidaito, yayin da kayayyakin wutar lantarki na RF suka kasance ba makawa ga ajiyar fim ɗin gani da na dielectric.

Idan aka yi la'akari da gaba, ana sa ran tsarin gine-ginen wutar lantarki na haɗin gwiwa da fasahar sarrafa wutar lantarki mai wayo za su ƙara inganta daidaiton tsari da aikin rufewa.

-An buga wannan labarin ne ta hannunkayan aikin shafa injin masana'anta Zhenhua injin injin