Phapang Pakeng tsa Phepelo ea Matla a Maqhubu a Phahameng le a Mahareng ho Koahela ka Vacuum

Ka magnetronho ntsha metsi le ho bokellana ha plasmaMekhoa ea ho sebetsa, mofuta oa phepelo ea motlakase o bapala karolo ea bohlokoa ho fumaneng botsitso ba plasma, katleho ea ho qhalana ha metsi, bongata ba filimi, le ho pheta-pheta ha ts'ebetso.

Mefuta ea phepelo ea motlakase e sebelisoang haholo ke lisebelisoa tsa motlakase tsa Radio Frequency (RF) le lisebelisoa tsa motlakase tsa Medium Frequency (MF), tse fapaneng haholo mabapi le maqhubu a ts'ebetso, mokhoa oa ho ntša motlakase, ho lumellana ha sepheo le ts'ebetso ea ts'ebetso.

Ho khetha phepelo e nepahetseng ea motlakase ho bohlokoa bakeng sa ho ntlafatsa boleng ba ho koahela, tlhahiso ea motlakase le botsitso ba sistimi.

Lisebelisoa tsa motlakase tsa RF hangata li sebetsa ho 13.56 MHz 'me li sebelisoa haholo-holo bakeng sa ho phunya lipheo tsa ho thibela mocheso tse kang SiO₂, Al₂O₃, le TiO₂.

Likarolo tsa Tekheniki:

E boloka phallo e tsitsitseng ea plasma ka tšimo ea motlakase e fapanyetsanang

E thibela ho bokellana ha tjhaja hodima dibaka tse sireletsang mocheso

E loketse ho kenya lifilimi tsa dielectric, liaparo tsa optical, le likarolo tse sebetsang tsa oxide

E fana ka ho tšoana ho hoholo ha plasma bakeng sa lits'ebetso tsa filimi tse nepahetseng haholo

Melemo:

E lumellana le lipheo tse sa tsamaiseng motlakase

Ho ntša metsi ho tsitsitseng le ho qhalana ho tšoanang

Taolo e phahameng ea metsoako le ts'ebetso e phahameng ea optical

Meeli:

Litšenyehelo tse phahameng tsa sistimi

Sekhahla sa matla a tlase le sekhahla se fokolang sa ho beoa

Litlhoko tse tšoanang tsa impedance tse rarahaneng

Lisebelisoa tsa motlakase tsa Medium Frequency (MF) hangata li sebetsa ka har'a mefuta ea 10-200 kHz 'me li sebelisoa haholo lits'ebetsong tsa dual-magnetron le lits'ebetsong tsa reactive sputtering, haholo-holo bakeng sa liphahlo tsa tšepe le tsa tšepe-oxide.

Likarolo tsa Tekheniki:

E sebelisa ho ntša metsi ka mokhoa o fapanyetsanang oa bipolar, e fokotsa ho bokellana ha tjhaja libakeng tse reriloeng.

E fokotsa ho thiba ha li-arcing ka katleho, e ntlafatsa botsitso ba ts'ebetso

E tšehetsa bongata bo phahameng ba matla, e nolofalletsang sekhahla se phahameng sa ho boloka

E loketse hantle bakeng sa ho koahela sebaka se seholo le tlhahiso ea boima ba indasteri

Melemo:

Sekhahla se phahameng sa ho beha le ho feta ha ho etsoa

E loketse lipheo tse tsamaisang le ho phatloha ha metsi ka mokhoa o arabelang

Ho hatelloa ha arc e ntlafalitsoeng le ts'epo ea ts'ebetso

E theko e tlase ka tlhokomelo e nolofalitsoeng

Meeli:

Ha e loketse lipheo tse sireletsang mocheso haholo

Ho tšoana ha plasma ho ka hloka ntlafatso ka ho sebelisa matla a makenete le moralo oa phallo ea khase.

Bakeng sa thepa e sireletsang mocheso haholo (lifilimi tsa optical le dielectric), phepelo ea motlakase ea RF e ntse e le tharollo e khethiloeng.

Bakeng sa ho roala tšepe, ho kenngoa ha sebaka se seholo, le ho phatloha ha motlakase (TiN, ITO, CrOx), lisebelisoa tsa motlakase tsa MF li fana ka tlhahiso e ntle le bokhoni ba litšenyehelo.

Tlhahisong ea indasteri e nang le bongata bo boholo, phepelo ea motlakase ea MF e fana ka botsitso bo betere ba ts'ebetso ea nako e telele

Bakeng sa masela a boleng bo holimo a optical le a sebetsang ka nepo, phepelo ea motlakase ea RF e fana ka ho lekana ho ntlafalitsoeng le taolo ea metsoako.

Lisebelisoa tsa motlakase tsa RF le MF ka 'ngoe li fana ka melemo e ikhethang lits'ebetsong tsa ho roala ka vacuum, ka ho tšoaneleha ha tsona ho khethoa ke thepa ea thepa e reriloeng, mofuta oa ho roala, bokhoni ba tlhahiso le litšenyehelo.

Ha pente ea indasteri e ntse e tsoela pele ho fetoha, phepelo ea motlakase ea MF e fetoha khetho e kholo bakeng sa tlhahiso e kholo e sebetsang hantle le e tsitsitseng, ha phepelo ea motlakase ea RF e ntse e le ea bohlokoa bakeng sa ho kenngoa ha filimi ea boleng ba optical le ea dielectric.

Ha re sheba pele, meralo ea matla a kopantsoeng le mahlale a taolo ea matla a bohlale a lebelletsoe ho ntlafatsa botsitso ba ts'ebetso le ts'ebetso ea ho koahela.

-Sengoloa sena se phatlalalitsoe kelisebelisoa tsa ho roala ka vacuum moetsi oa Zhenhua Vacuum