(3) Redio Frequency Plasma CVD (RFCVD) RF le ṣee lo lati ṣe ina pilasima nipasẹ awọn ọna oriṣiriṣi meji, ọna asopọ capacitive ati ọna asopọ inductive. sputtering, paapa ti o ba pilasima ni argon.Capacitively pelu pilasima ko dara fun dagba ga didara fiimu Diamond niwon ion bombardment lati pilasima le ja si àìdá ibaje si diamond. Awọn fiimu diamond Polycrystalline ti dagba ni lilo pilasima ti o fa RF labẹ awọn ipo ifisilẹ ti o jọra si pilasima microwave CVD. Awọn fiimu onisọpọ epitaxial diamond ti tun ti gba ni lilo RF-induced pilasima-CVD.
(4) DC pilasima CVD
pilasima DC jẹ ọna miiran ti ṣiṣiṣẹ orisun gaasi (ni gbogbogbo adalu H2, ati gaasi hydrocarbon) fun idagbasoke fiimu fiimu diamond.DC pilasima-iranlọwọ CVD ni agbara lati dagba awọn agbegbe nla ti awọn fiimu diamond, ati iwọn ti agbegbe idagbasoke ti ni opin nikan nipasẹ iwọn awọn amọna ati ipese agbara DC. Anfani miiran ti DC pilasima-iranlọwọ CVD ni ipilẹṣẹ ti abẹrẹ fiimu 8 kan ti o jẹ deede ti abẹrẹ ti DC8 kan ti a gba ni iwọntunwọnsi ti abẹrẹ DC8 kan. mm/h. Ni afikun, niwọn bi ọpọlọpọ awọn ọna DC arc le ṣafipamọ awọn fiimu diamond ti o ni agbara giga lori awọn sobusitireti ti kii ṣe diamond ni awọn oṣuwọn ifisilẹ giga, wọn pese ọna ọja fun ifisilẹ ti awọn fiimu diamond.
(5) Electron cyclotron resonance makirowefu pilasima ti mu dara si isunmọ eefun kemikali (ECR-MPECVD) pilasima DC, pilasima RF, ati pilasima microwave ti ṣapejuwe tẹlẹ gbogbo dissociate ati decompose H2, tabi awọn hydrocarbons, sinu atomiki hydrogen ati carbon-hydrogen atom awọn ẹgbẹ, nitorinaa idasi si dida awọn fiimu tinrin diamond. Niwọn igba ti pilasima cyclotron resonance elekitironi le ṣe pilasima iwuwo giga (> 1x1011cm-3), ECR-MPECVD dara julọ fun idagbasoke ati ifisilẹ ti fiimu fiimu.Sibẹsibẹ, nitori titẹ gaasi kekere (10-4- si 10-2 Torr) ti a lo ninu ilana ECR, eyiti o jẹ abajade ni iwọn isọdi kekere ti awọn fiimu diamond ti o dara lọwọlọwọ, ọna ti o wa ni ipo iṣelọpọ ti o dara julọ ti awọn fiimu diamond nikan.
Nkan yii jẹ idasilẹ nipasẹ olupese ẹrọ ti a bo igbale Guangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹta-19-2024