בכלל CVD רעאקציעס פארלאזן זיך אויף הויכע טעמפעראטורן, דעריבער גערופן טערמיש אויפגערעגטע כעמישע פארע דעפאזיציע (TCVD). עס ניצט בכלל נישט-ארגאנישע פארגייער און ווערט דורכגעפירט אין הייס-וואנט און קאלט-וואנט רעאקטארן. אירע געהייצעטע מעטאדן שליסן איין ראדיא פרעקווענץ (RF) הייצונג, אינפרארויט ראדיאציע הייצונג, קעגנשטאנד הייצונג, א.א.וו.
הייסע וואַנט כעמישע פארע דעפּאַזישאַן
פאקטיש, איז א הייס-וואנט כעמישע פארע דעפאזיציע רעאקטאר א טערמאסטאטישער אויוון, געווענליך געהייצט מיט רעזיסטיוו עלעמענטן, פאר אינטערמיטענטע פראדוקציע. א צייכענונג פון א הייס-וואנט כעמישע פארע דעפאזיציע פראדוקציע פאסיליטעט פאר טשיפּ געצייג באדעקן ווערט געוויזן ווי פאלגנד. די הייס-וואנט כעמישע פארע דעפאזיציע קען באדעקן TiN, TiC, TiCN און אנדערע דינע פילמען. דער רעאקטאר קען זיין דיזיינט צו זיין גרויס גענוג און דאן האלטן א גרויסע צאל קאמפאנענטן, און די באדינגונגען קענען זיין קאנטראלירט זייער גענוי פאר דעפאזיציע. בילד 1 ווייזט אן עפּיטאקסיאלע שיכט מיטל פאר סיליקאן דאפינג פון האלב-קאנדוקטאר מיטל פראדוקציע. דער סובסטראט אין אויוון איז געשטעלט אין א ווערטיקאלע ריכטונג צו רעדוצירן קאנטאמינאציע פון דער דעפאזיציע ייבערפלאך דורך פארטיקלען, און שטארק פארגרעסערן די פראדוקציע לאודינג. הייס-וואנט רעאקטארן פאר האלב-קאנדוקטאר פראדוקציע ווערן געווענליך אפערירט ביי נידריגע דרוק.
פּאָסט צייט: נאָוועמבער-08-2022