1. יאָן שטראַל ספּאַטערינג קאָוטינג
די ייבערפלאַך פון דעם מאַטעריאַל ווערט באַמבאַרדירט מיט אַ מיטל-ענערגיע יאָן שטראַל, און די ענערגיע פון די יאָנען גייען נישט אַרײַן אין די קריסטאַל גיטער פון דעם מאַטעריאַל, נאָר טראַנספערירן די ענערגיע צו די ציל אַטאָמען, וואָס פאַראורזאַכט זיי צו שפּאַטערן אַוועק פון דער ייבערפלאַך פון דעם מאַטעריאַל, און דאַן פאָרמען אַ דין פילם דורך דעפּאָזיציע אויף דער ווערקפּיס. צוליב דעם שפּאַטערן וואָס ווערט פּראָדוצירט דורך דעם יאָן שטראַל, איז די ענערגיע פון די שפּאַטערד פילם שיכט אַטאָמען זייער הויך, און דער ציל מאַטעריאַל ווערט באַמבאַרדירט מיט דעם יאָן שטראַל אין אַ הויך וואַקוום, די ריינקייט פון דער פילם שיכט איז הויך, און הויך-קוואַליטעט פילמען קענען דעפּאָזיטירט ווערן, בשעת די פעסטקייט פון דער יאָן שטראַל פילם שיכט ווערט פֿאַרבעסערט, וואָס קען דערגרייכן דעם ציל פון פֿאַרבעסערן די אָפּטישע און מעכאַנישע אייגנשאַפטן פון דער פילם שיכט. דער ציל פון יאָן שטראַל שפּאַטערן איז צו פאָרמען נייע דין פילם מאַטעריאַלן.
2. יאָן שטראַל עטשינג
יאָן שטראַל עטשינג איז אויך אַ מיטל-ענערגיע יאָן שטראַל באָמבאַרדירונג פון דער ייבערפלאַך פון דעם מאַטעריאַל צו פּראָדוצירן ספּאַטערינג, עטשינג ווירקונג אויף די סאַבסטראַט, איז אַ האַלב-קאָנדוקטאָר מיטל, אָפּטאָעלעקטראָניק דעוויסעס און אנדערע געביטן פון דער פּראָדוקציע פון גראַפיקס קאָר טעכנאָלאָגיע. די צוגרייטונג טעכנאָלאָגיע פֿאַר טשיפּס אין האַלב-קאָנדוקטאָר ינטאַגרייטאַד סערקאַץ ינוואַלווז די צוגרייטונג פון מיליאָנען טראַנזיסטאָרן אויף אַ איין-קריסטאַל סיליקאָן וועיפער מיט אַ דיאַמעטער פון Φ12 אין (Φ304.8 מם). יעדער טראַנזיסטאָר איז קאַנסטראַקטאַד פון קייפל לייַערס פון דין פילמס מיט פאַרשידענע פאַנגקשאַנז, באַשטייענדיק פון אַן אַקטיוו שיכטע, אַן ינסאַלייטינג שיכטע, אַן יסאָליישאַן שיכטע, און אַ קאַנדאַקטיוו שיכטע. יעדער פאַנגקשאַנאַל שיכטע האט זיין אייגענע מוסטער, אַזוי נאָך יעדער שיכטע פון פאַנגקשאַנאַל פילם איז פּלייטאַד, די ניצלאָז טיילן דאַרפֿן צו זיין עטשט אַוועק מיט אַ יאָן שטראַל, לאָזן די נוציק פילם קאַמפּאָונאַנץ גאַנץ. הייַנט, די דראָט ברייט פון די טשיפּ האט ריטשט 7 מם, און יאָן שטראַל עטשינג איז נייטיק צו צוגרייטן אַזאַ אַ פייַן מוסטער. יאָן שטראַל עטשינג איז אַ טרוקן עטשינג אופֿן מיט הויך עטשינג אַקיעראַסי קאַמפּערד צו די נאַס עטשינג אופֿן געניצט אין די אָנהייב.
יאָן שטראַל עטשינג טעכנאָלאָגיע מיט ינאַקטיוו יאָן שטראַל עטשינג און אַקטיוו יאָן שטראַל עטשינג מיט צוויי מינים. דער ערשטער מיט אַרגאָן יאָן שטראַל עטשינג, געהערט צו דער פיזישער רעאַקציע; דער צווייטער מיט פלאָרין יאָן שטראַל ספּאַטערינג, פלאָרין יאָן שטראַל אין אַדישאַן צו הויך ענערגיע צו פּראָדוצירן די ראָלע פון טראַמפּ, פלאָרין יאָן שטראַל קענען אויך זיין געעטשט מיט SiO2סי3N4, GaAs, W און אַנדערע דין פילמען האָבן אַ כעמישע רעאַקציע, עס איז סיי דער פיזישער רעאַקציע פּראָצעס, אָבער אויך דער כעמישער רעאַקציע פּראָצעס פון דער יאָן שטראַל עטשינג טעכנאָלאָגיע, די עטשינג קורס איז שנעל. רעאַקציע עטשינג קאָראָוסיוו גאַזן זענען CF4C2F6CCl4, BCl3, אאז"וו, די גענערירטע רעאַקטאַנטן פֿאַר SiF4סיליקאָן4【GCl【3און WF6 ווערן עקסטראַקטירט קעראָוסיוו גאַזן. יאָן שטראַל עטשינג טעכנאָלאָגיע איז די שליסל טעכנאָלאָגיע צו פּראָדוצירן הויך-טעק פּראָדוקטן.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 24סטן אָקטאָבער 2023