ئىئون نۇرى پۈركۈش قاپلىمى ۋە ئىئون نۇرى ئويۇش

1. ئىئون نۇرى پۈركۈش قاپلىمى

ماتېرىيالنىڭ يۈزى ئوتتۇرا ئېنېرگىيەلىك ئىئون نۇرى بىلەن بومباردىمان قىلىنىدۇ، ئىئونلارنىڭ ئېنېرگىيەسى ماتېرىيالنىڭ كىرىستال تورىغا كىرمەيدۇ، بەلكى ئېنېرگىيەنى نىشان ئاتوملىرىغا ئۆتكۈزۈپ، ئۇلارنىڭ ماتېرىيالنىڭ يۈزىدىن چېچىلىپ كېتىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، ئاندىن ئىشلەنگەن بۇيۇمغا چۆكۈش ئارقىلىق نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ. ئىئون نۇرى پەيدا قىلغان چېچىلىش سەۋەبىدىن، چېچىلغان پەردە قەۋىتى ئاتوملىرىنىڭ ئېنېرگىيەسى ناھايىتى يۇقىرى بولىدۇ، نىشان ماتېرىيال يۇقىرى ۋاكۇئۇم ئىچىدە ئىئون نۇرى بىلەن بومباردىمان قىلىنىدۇ، پەردە قەۋىتىنىڭ ساپلىقى يۇقىرى بولىدۇ، يۇقىرى سۈپەتلىك پەردىلەرنى چۆكتۈرگىلى بولىدۇ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ئىئون نۇرى پەردە قەۋىتىنىڭ مۇقىملىقى ياخشىلىنىدۇ، بۇ پەردە قەۋىتىنىڭ ئوپتىكىلىق ۋە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيىتىنى ياخشىلاش مەقسىتىگە يەتكىلى بولىدۇ. ئىئون نۇرى چېچىلىشنىڭ مەقسىتى يېڭى نېپىز پەردە ماتېرىياللىرىنى ھاسىل قىلىشتۇر.

2. ئىئون نۇرى ئويۇش

ئىئون نۇرى ئويۇش يەنە ماتېرىيالنىڭ يۈزىگە ئوتتۇرا ئېنېرگىيەلىك ئىئون نۇرى بومباردىمان قىلىش ئارقىلىق پۈركۈش، ئاساسقا ئويۇش ئۈنۈمى ھاسىل قىلىش بولۇپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنە، ئوپتوئېلېكترون ئۈسكۈنىلىرى ۋە گرافىك يادرولۇق تېخنىكىسى ئىشلەپچىقىرىشنىڭ باشقا ساھەلىرى. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ بىر گەۋدىلەشكەن توك يولىدىكى چىپلارنى تەييارلاش تېخنىكىسى دىئامېتىرى Φ12in (Φ304.8mm) بولغان بىر كرىستاللىق كرېمنىي تاختىسىدا مىليونلىغان ترانسىستورلارنى تەييارلاشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ھەر بىر ترانسىستور ئاكتىپ قەۋەت، ئىزولياتسىيە قەۋىتى، ئايرىش قەۋىتى ۋە ئۆتكۈزگۈچ قەۋەتتىن تەركىب تاپقان ئوخشىمىغان فۇنكسىيەلىك كۆپ قەۋەتلىك نېپىز پەردىلەردىن ياسالغان. ھەر بىر فۇنكسىيە قەۋىتىنىڭ ئۆزىگە خاس ئەندىزىسى بار، شۇڭا ھەر بىر فۇنكسىيەلىك پەردە قەۋىتى قاپلانغاندىن كېيىن، پايدىسىز قىسىملارنى ئىئون نۇرى بىلەن ئويۇپ، پايدىلىق پەردە تەركىبلىرىنى ساقلاپ قېلىش كېرەك. ھازىر چىپنىڭ سىم كەڭلىكى 7mm غا يەتتى، بۇنداق ئىنچىكە نەقىشنى تەييارلاش ئۈچۈن ئىئون نۇرى ئويۇش زۆرۈر. ئىئون نۇرى ئويۇش قۇرغاق ئويۇش ئۇسۇلى بولۇپ، باشتا ئىشلىتىلگەن ھۆل ئويۇش ئۇسۇلىغا سېلىشتۇرغاندا يۇقىرى ئويۇش توغرىلىقىغا ئىگە.

ئىئون نۇرى ئويۇش تېخنىكىسى ئاكتىپسىز ئىئون نۇرى ئويۇش ۋە ئاكتىپ ئىئون نۇرى ئويۇشتىن ئىبارەت ئىككى خىل ئۇسۇلنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئالدىنقىسى ئارگون ئىئون نۇرى ئويۇش ئارقىلىق فىزىكىلىق رېئاكسىيەگە تەۋە؛ كېيىنكىسى فتور ئىئون نۇرى چېچىلىشى ئارقىلىق، يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك فتور ئىئون نۇرىدىن باشقا، ئىز قوغلاش رولىنى ئوينايدۇ، فتور ئىئون نۇرى يەنە SiO2 بىلەن ئويۇلىدۇ.₂、Si₃N4、GaAs、W قاتارلىق نېپىز پەردىلەر خىمىيىلىك رېئاكسىيەگە ئىگە، بۇ ھەم فىزىكىلىق رېئاكسىيە جەريانى، ھەم ئىئون نۇرى ئويۇش تېخنىكىسىنىڭ خىمىيىلىك رېئاكسىيە جەريانى، ئويۇش سۈرئىتى تېز. ئويۇش رېئاكسىيەسى ئارقىلىق چىرىش گازلىرى CF.₄C₂F₆CCl4، BCl₃قاتارلىقلار، SiF3 ئۈچۈن ھاسىل بولغان رېئاكتىپلار₄SiCl₄GCl₃؛، ۋە WF₆ چىرىتىشچان گازلار چىقىرىلىدۇ. ئىئون نۇرى ئويۇش تېخنىكىسى يۇقىرى تېخنىكىلىق مەھسۇلاتلارنى ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئاچقۇچلۇق تېخنىكا.

– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا