Пӯшиши пошидани нури ионӣ ва кандакорӣ бо нури ионӣ

1. Пӯшиши пошидани нури ионӣ

Сатҳи мавод бо нури ионии дорои энергияи миёна бомбаборон карда мешавад ва энергияи ионҳо ба шабакаи кристаллии мавод ворид намешавад, балки энергияро ба атомҳои мақсаднок интиқол медиҳад, ки боиси пошидани онҳо аз сатҳи мавод мегардад ва сипас бо гузоштани он дар қисми корӣ плёнкаи тунукро ташкил медиҳад. Аз сабаби пошидани аз ҷониби нури ион ба вуҷуд омада, энергияи атомҳои қабати плёнкаи пошидашуда хеле баланд аст ва маводи мақсаднок бо нури ион дар вакууми баланд бомбаборон карда мешавад, тозагии қабати плёнка баланд аст ва плёнкаҳои баландсифат метавонанд гузошта шаванд, дар ҳоле ки устувории қабати плёнкаи нури ион беҳтар мешавад, ки метавонад ба ҳадафи беҳтар кардани хосиятҳои оптикӣ ва механикии қабати плёнка ноил гардад. Ҳадафи пошидани нури ион ташаккул додани маводҳои нави плёнкаи тунук мебошад.

2. Кандакорӣ бо нури ионӣ

Кандакорӣ бо шуоъи ионӣ инчунин як бомбабордии шуоъи ионӣ бо энергияи миёна ба сатҳи мавод барои ба вуҷуд овардани пошидан, таъсири кандакорӣ ба зеризаминӣ мебошад, ки дастгоҳи нимноқил, дастгоҳҳои оптоэлектронӣ ва дигар соҳаҳои истеҳсоли технологияи аслии графикӣ мебошад. Технологияи омодасозии чипҳо дар схемаҳои интегралии нимноқил омодасозии миллионҳо транзисторҳоро дар вафли кремнийи монокристаллӣ бо диаметри Φ12in (Φ304.8mm) дар бар мегирад. Ҳар як транзистор аз қабатҳои сершумори плёнкаҳои тунук бо вазифаҳои гуногун сохта шудааст, ки аз қабати фаъол, қабати изолятсия, қабати изолятсия ва қабати гузаронанда иборатанд. Ҳар як қабати функсионалӣ намунаи худро дорад, аз ин рӯ, пас аз пӯшонидани ҳар як қабати плёнкаи функсионалӣ, қисмҳои бефоида бояд бо шуоъи ионӣ канда карда шаванд ва ҷузъҳои муфиди плёнка бетағйир боқӣ монанд. Имрӯзҳо, паҳнои сими чип ба 7 мм расидааст ва барои тайёр кардани чунин намунаи нозук кандакорӣ бо шуоъи ионӣ зарур аст. Кандакорӣ бо шуоъи ионӣ як усули кандакорӣ бо дақиқии баланди кандакорӣ дар муқоиса бо усули кандакорӣ, ки дар аввал истифода мешуд, мебошад.

Технологияи кандакорӣ бо нури ионӣ бо кандакорӣ бо нури ионӣ ғайрифаъол ва технологияи кандакорӣ бо нури ионӣ фаъол бо ду намуд. Технологияи аввалӣ бо кандакорӣ бо нури ионӣ аргон ба реаксияи физикӣ тааллуқ дорад; технологияи дуюмӣ бо пошидани нури ионӣ фтор, ки илова бар энергияи баланд нақши ғаввосиро ба вуҷуд меорад, нури ионӣ фторро инчунин бо SiO2 кандакорӣ кардан мумкин аст.₂Си₃N4, GaAs, W ва дигар плёнкаҳои тунук реаксияи кимиёвӣ доранд, ки ин ҳам раванди реаксияи физикӣ, балки раванди реаксияи кимиёвӣ низ мебошад, ки технологияи кандакории ионӣ мебошад ва суръати кандакорӣ зуд аст. Реаксияи кандакории газҳои зангзананда CF мебошанд.₄,C₂F₆CCl4 BCl₃ва ғайра, реактивҳои тавлидшуда барои SiF2₄SiCl₄GCl₃;, ва WF₆ газҳои зангзананда истихроҷ карда мешаванд. Технологияи кандакории нурҳои ионӣ технологияи калидӣ барои истеҳсоли маҳсулоти баландтехнологӣ мебошад.

- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа