1. அயன் கற்றை சிதறல் பூச்சு
பொருளின் மேற்பரப்பு ஒரு நடுத்தர ஆற்றல் கொண்ட அயனிக் கற்றையால் தாக்கப்படுகிறது. அயனிகளின் ஆற்றல் பொருளின் படிக அமைப்புக்குள் நுழையாமல், இலக்கு அணுக்களுக்கு ஆற்றலை மாற்றுகிறது. இதனால் அந்த அணுக்கள் பொருளின் மேற்பரப்பில் இருந்து சிதறி, பின்னர் வேலைப் பொருளின் மீது படிந்து ஒரு மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குகின்றன. அயனிக் கற்றையால் ஏற்படும் இந்தச் சிதறலின் காரணமாக, சிதறிய படல அடுக்கின் அணுக்களின் ஆற்றல் மிக அதிகமாக உள்ளது. மேலும், இலக்குப் பொருள் உயர் வெற்றிடத்தில் அயனிக் கற்றையால் தாக்கப்படுவதால், படல அடுக்கின் தூய்மை அதிகமாக உள்ளது, மற்றும் உயர்தரப் படலங்களைப் படிய வைக்க முடியும். அதே நேரத்தில், அயனிக் கற்றைப் படல அடுக்கின் நிலைத்தன்மையும் மேம்படுத்தப்படுகிறது. இதன் மூலம் படல அடுக்கின் ஒளியியல் மற்றும் இயந்திரவியல் பண்புகளை மேம்படுத்தும் நோக்கத்தை அடைய முடிகிறது. அயனிக் கற்றைச் சிதறலின் நோக்கம் புதிய மெல்லிய படலப் பொருட்களை உருவாக்குவதாகும்.
2. அயனி கற்றை பொறித்தல்
அயன் கற்றை பொறித்தல் என்பது ஒரு பொருளின் மேற்பரப்பில் நடுத்தர ஆற்றல் கொண்ட அயன் கற்றைகளைக் கொண்டு தாக்குதல் நடத்தி, அதன் மீது சிதறல் மற்றும் பொறித்தல் விளைவை உருவாக்கும் ஒரு முறையாகும். இது குறைக்கடத்தி சாதனங்கள், ஒளியியல் மின்னணு சாதனங்கள் மற்றும் பிற உற்பத்திப் பகுதிகளில் உள்ள வரைகலை மையத் தொழில்நுட்பமாகும். குறைக்கடத்தி ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் உள்ள சில்லுகளுக்கான தயாரிப்புத் தொழில்நுட்பமானது, Φ12 அங்குலம் (Φ304.8 மிமீ) விட்டம் கொண்ட ஒற்றைப் படிக சிலிக்கான் தகட்டின் மீது மில்லியன் கணக்கான டிரான்சிஸ்டர்களைத் தயாரிப்பதை உள்ளடக்கியது. ஒவ்வொரு டிரான்சிஸ்டரும் வெவ்வேறு செயல்பாடுகளைக் கொண்ட பல மெல்லிய படல அடுக்குகளால் கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளது. அவை ஒரு செயலடுக்கு, ஒரு மின்காப்பு அடுக்கு, ஒரு தனிமைப்படுத்தல் அடுக்கு மற்றும் ஒரு கடத்தும் அடுக்கு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன. ஒவ்வொரு செயல்பாட்டு அடுக்கிற்கும் அதன் சொந்த வடிவமைப்பு உள்ளது. எனவே, ஒவ்வொரு செயல்பாட்டுப் படல அடுக்கையும் பூசிய பிறகு, பயனற்ற பகுதிகளை அயன் கற்றை மூலம் பொறித்து அகற்ற வேண்டும், அதே நேரத்தில் பயனுள்ள படலக் கூறுகளை அப்படியே விட்டுவிட வேண்டும். இப்போதெல்லாம், சில்லுகளின் கம்பி அகலம் 7 மிமீ-ஐ எட்டியுள்ளது, மேலும் இத்தகைய ஒரு நுண் வடிவமைப்பைத் தயாரிக்க அயன் கற்றை பொறித்தல் அவசியமாகிறது. ஆரம்பத்தில் பயன்படுத்தப்பட்ட ஈர அரிப்பு முறையுடன் ஒப்பிடும்போது, அயன் கற்றை அரிப்பு என்பது அதிக அரிப்புத் துல்லியத்தைக் கொண்ட ஒரு உலர் அரிப்பு முறையாகும்.
செயலற்ற அயனி கற்றை பொறித்தல் மற்றும் செயல்படும் அயனி கற்றை பொறித்தல் என இரண்டு வகைகளைக் கொண்ட அயனி கற்றை பொறித்தல் தொழில்நுட்பம் உள்ளது. முதலாவது ஆர்கான் அயனி கற்றை பொறித்தல் ஆகும், இது ஒரு இயற்பியல் வினையைச் சார்ந்தது; இரண்டாவது புளோரின் அயனி கற்றை சிதறல் ஆகும். புளோரின் அயனி கற்றையானது அதிக ஆற்றலை உருவாக்குவதோடு, தேவையற்ற துகள்களை உருவாக்கும் பங்கையும் கொண்டுள்ளது. மேலும், புளோரின் அயனி கற்றையால் SiO2-ஐயும் பொறிக்க முடியும்.2、Si3N4, GaAs, W மற்றும் பிற மெல்லிய படலங்கள் ஒரு வேதிவினையைக் கொண்டுள்ளன; இது இயற்பியல் வினை செயல்முறை மற்றும் அயனி கற்றை அரித்தல் தொழில்நுட்பத்தின் வேதிவினை செயல்முறை ஆகிய இரண்டையும் உள்ளடக்கியது, இதனால் அரித்தல் வேகம் அதிகமாகும். வினை அரித்தலுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் அரிக்கும் வாயுக்கள் CF ஆகும்.4சி2F6CCl4, BCl3, முதலியன, SiF க்காக உருவாக்கப்பட்ட வினைபடு பொருள்கள்4SiCl4ஜிசிஎல்3மற்றும் WF6 அரிக்கும் வாயுக்கள் பிரித்தெடுக்கப்படுகின்றன. உயர் தொழில்நுட்பப் பொருட்களை உற்பத்தி செய்வதற்கு அயன் கற்றை அரித்தல் தொழில்நுட்பம் ஒரு முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும்.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: அக்டோபர் 24, 2023