የአዮን ጨረር ስፕተርንግ ሽፋን እና የአዮን ጨረር ኢቺንግ

1. የአዮን ጨረር ስፕሩተርንግ ሽፋን

የቁሱ ወለል በመካከለኛ ኃይል አዮን ጨረር ይደበድባል፣ የአዮኖቹ ኃይል ወደ ማቴሪያሉ ክሪስታል ፍርግርግ ውስጥ አይገባም፣ ነገር ግን ጉልበቱን ወደ ዒላማው አቶሞች ያስተላልፋል፣ ይህም ከቁሱ ወለል እንዲርቁ ያደርጋቸዋል፣ ከዚያም በስራ ቦታው ላይ በመከማቸት ቀጭን ፊልም ይፈጥራል። በአዮን ጨረር በሚፈጠረው ስፕተርሽን ምክንያት፣ የተረጨው የፊልም ንብርብር አቶሞች ኃይል በጣም ከፍተኛ ነው፣ እና የታለመው ቁሳቁስ በከፍተኛ ቫክዩም ውስጥ ከአዮን ጨረር ጋር ይደበደባል፣ የፊልም ንብርብር ንፅህና ከፍተኛ ነው፣ እና ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ፊልሞች ሊቀመጡ ይችላሉ፣ የአዮን ጨረር ፊልም ንብርብር መረጋጋት ሲሻሻል፣ ይህም የፊልም ንብርብር የኦፕቲካል እና ሜካኒካል ባህሪያትን ለማሻሻል ዓላማውን ማሳካት ይችላል። የአዮን ጨረር ስፕተርንግ ዓላማ አዲስ ቀጭን የፊልም ቁሳቁሶችን መፍጠር ነው።

2. የአዮን ጨረር ቅርፊት

የአዮን ጨረር መቅዳት እንዲሁም በንጥረቱ ወለል ላይ መካከለኛ ኃይል ያለው የአዮን ጨረር መምታት ሲሆን ይህም በንጥረ ነገሩ ላይ የሚረጭ፣ የሚቀርጽ ውጤት ያስገኛል። ሴሚኮንዳክተር መሳሪያ፣ የኦፕቶኤሌክትሮኒክ መሳሪያዎች እና ሌሎች የግራፊክስ ኮር ቴክኖሎጂ ምርት አካባቢዎች ነው። በሴሚኮንዳክተር የተቀናጁ ወረዳዎች ውስጥ ቺፖችን ለማዘጋጀት የሚደረገው ቴክኖሎጂ Φ12in (Φ304.8ሚሜ) ዲያሜትር ባለው ነጠላ-ክሪስታል ሲሊከን ዋፈር ላይ በሚሊዮን የሚቆጠሩ ትራንዚስተሮችን ማዘጋጀትን ያካትታል። እያንዳንዱ ትራንዚስተር ከተለያዩ ተግባራት ጋር ከተያያዙ በርካታ ቀጭን ፊልሞች ንብርብሮች የተገነባ ሲሆን ይህም ንቁ ንብርብር፣ መከላከያ ንብርብር፣ የማግለል ንብርብር እና አስተላላፊ ንብርብር ያካትታል። እያንዳንዱ ተግባራዊ ንብርብር የራሱ የሆነ ንድፍ አለው፣ ስለዚህ እያንዳንዱ ተግባራዊ ፊልም ንብርብር ከተለበጠ በኋላ፣ ጥቅም ላይ የማይውሉ ክፍሎች በአዮን ጨረር መቀረጽ አለባቸው፣ ይህም ጠቃሚ የፊልም ክፍሎችን ሳይበላሹ ይተዋል። በአሁኑ ጊዜ የቺፑ የሽቦ ስፋት 7ሚሜ ደርሷል፣ እና እንዲህ ዓይነቱን ጥሩ ንድፍ ለማዘጋጀት የአዮን ጨረር መቅዳት አስፈላጊ ነው። የአዮን ጨረር መቅዳት መጀመሪያ ላይ ጥቅም ላይ ከዋለው እርጥብ የመቀርቀሪያ ዘዴ ጋር ሲነፃፀር ከፍተኛ ትክክለኛነት ያለው ደረቅ የመቀርቀሪያ ዘዴ ነው።

የአዮን ጨረር መቅዳት ቴክኖሎጂ ከንቁ የአዮን ጨረር መቅዳት እና በሁለት ዓይነቶች አክቲቭ አዮን ጨረር መቅዳት ጋር። የመጀመሪያው የአርጎን አዮን ጨረር መቅዳት ከአካላዊ ምላሽ ጋር የተያያዘ ነው፤ የኋለኛው ደግሞ የፍሎሪን አዮን ጨረር መበታተን፣ የፍሎሪን አዮን ጨረር ደግሞ የትራም ሚና ለመፍጠር ከፍተኛ ኃይል ያለው ሲሆን የፍሎሪን አዮን ጨረር በSiO ሊቀረጽ ይችላል።₂, ሲ₃N4、GaAs、W እና ሌሎች ቀጭን ፊልሞች የኬሚካል ምላሽ አላቸው፣ ሁለቱም የፊዚካል ምላሽ ሂደት ናቸው፣ ነገር ግን የአዮን ጨረር መቅዳት ቴክኖሎጂ የኬሚካል ምላሽ ሂደት ናቸው፣ የመቅዳት ፍጥነት ፈጣን ነው። የምላሽ መቅዳት የቆርቆሮ ጋዞች CF ናቸው።₄,ሲ₂F₆、ሲሲኤል4、ቢሲኤል₃ወዘተ.፣ ለ SiF የተፈጠሩት ምላሽ ሰጪዎች₄, ሲክሊ₄、ጂሲኤል₃;, እና WF₆ የዝገት ጋዞች ይወገዳሉ። የአዮን ጨረር መቅዳት ቴክኖሎጂ ከፍተኛ የቴክኖሎጂ ምርቶችን ለማምረት ቁልፍ ቴክኖሎጂ ነው።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ