Ho roala ha sputtering ea ion beam le ho betla ha ion beam

1. Seaparo sa ho phunya mahlasedi a Ion

Bokaholimo ba thepa bo hlasetsoe ka lehlaseli la ion le nang le matla a mahareng, 'me matla a li-ion ha a kene ka har'a lekhoakhoa la kristale la thepa, empa a fetisetsa matla ho liathomo tse reretsoeng, e leng se etsang hore li qhalane hole le bokaholimo ba thepa, ebe li etsa filimi e tšesaane ka ho e beha holim'a mosebetsi. Ka lebaka la ho qhalana ho hlahisoang ke lehlaseli la ion, matla a liathomo tsa lehlaseli la filimi tse qhalane a phahame haholo, 'me thepa e reretsoeng e qhalanetsoe ka lehlaseli la ion ka har'a vacuum e phahameng, bohloeki ba lehlaseli la filimi bo holimo, 'me lifilimi tsa boleng bo holimo li ka beoa, ha botsitso ba lehlaseli la filimi ea lehlaseli la ion bo ntlafala, e leng se ka finyellang morero oa ho ntlafatsa litšobotsi tsa optical le tsa mechine tsa lehlaseli la filimi. Morero oa ho qhalana ha lehlaseli la ion ke ho theha thepa e ncha e tšesaane ea filimi.

2. Ho betla mahlaseli a Ion

Ho betla ha mahlasedi a ione hape ke ho phatloha ha mahlasedi a ione a nang le matla a mahareng hodima bokaholimo ba thepa ho hlahisa ho phunya, phello ea ho betla holim'a substrate, ke sesebelisoa sa semiconductor, lisebelisoa tsa optoelectronic le libaka tse ling tsa tlhahiso ea theknoloji ea mantlha ea litšoantšo. Theknoloji ea ho lokisa li-chips lipotolohong tse kopantsoeng tsa semiconductor e kenyelletsa ho lokisoa ha li-transistors tse limilione holim'a wafer ea silicon ea kristale e le 'ngoe e nang le bophara ba Φ12in (Φ304.8mm). Transistor ka 'ngoe e hahiloe ka mekhahlelo e mengata ea lifilimi tse tšesaane tse nang le mesebetsi e fapaneng, e nang le lera le sebetsang, lera le sireletsang mocheso, lera le arohaneng, lera le tsamaisang motlakase. Lera le leng le le leng le sebetsang le na le mohlala oa lona, ​​​​kahoo kamora hore lera le leng le le leng la filimi e sebetsang le phuthetsoe, likarolo tse se nang thuso li hloka ho betla ka mahlasedi a ione, ho siea likarolo tsa filimi tse thusang li sa senyeha. Matsatsing ana, bophara ba terata ea chip bo fihlile ho 7mm, 'me ho betla ha mahlasedi a ione hoa hlokahala ho lokisa mohlala o motle joalo. Ho betla ha mahlasedi a ione ke mokhoa oa ho betla o omileng o nang le ho nepahala ho hoholo ha ho bapisoa le mokhoa oa ho betla o metsi o sebelisitsoeng qalong.

Theknoloji ea ho betla mahlasedi a ion e nang le ho betla mahlasedi a ion a sa sebetseng le ho betla mahlasedi a ion a sebetsang ka mefuta e 'meli. Ea pele e nang le ho betla mahlasedi a ion a argon, ke ea karabelo ea 'mele; ea morao e nang le ho phunya mahlasedi a ion a fluorine, mahlasedi a ion a fluorine hammoho le matla a mangata ho hlahisa karolo ea ho hatakela, mahlasedi a ion a fluorine a ka boela a betla ka SiO2₂、Si₃Lifilimi tse ling tse tšesaane tsa N4, GaAs, W le tse ling li na le karabelo ea lik'hemik'hale, ke ts'ebetso ea karabelo ea 'mele, empa hape le ts'ebetso ea karabelo ea lik'hemik'hale ea theknoloji ea ho benya mahlaseli a ion, sekhahla sa ho benya se potlakile. Ho benya mahlaseli a senyang ke likhase tse senyang tsa CF.₄、C₂F₆、CCl4、BCl₃, jj., di-reactant tse hlahisitsweng bakeng sa SiF₄、SiCl₄、GCl₃le WF₆ ke likhase tse senyang tse ntšoang. Theknoloji ea ho betla mahlaseli a ione ke theknoloji ea bohlokoa ea ho hlahisa lihlahisoa tsa theknoloji e phahameng.

–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua