ថ្នាំកូតបញ្ចេញពន្លឺដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង និងការឆ្លាក់ដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

1. ថ្នាំកូតបញ្ចេញពន្លឺដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

ផ្ទៃនៃសម្ភារៈត្រូវបានបាញ់ផ្លោងដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងថាមពលមធ្យម ហើយថាមពលនៃអ៊ីយ៉ុងមិនចូលទៅក្នុងបន្ទះគ្រីស្តាល់នៃសម្ភារៈនោះទេ ប៉ុន្តែផ្ទេរថាមពលទៅអាតូមគោលដៅ បណ្តាលឱ្យពួកវាហៀរចេញពីផ្ទៃនៃសម្ភារៈ ហើយបន្ទាប់មកបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយដោយការដាក់លើស្នាដៃ។ ដោយសារតែការហៀរដែលផលិតដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង ថាមពលនៃអាតូមស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដែលហៀរគឺខ្ពស់ណាស់ ហើយសម្ភារៈគោលដៅត្រូវបានបាញ់ផ្លោងដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងនៅក្នុងកន្លែងទំនេរខ្ពស់ ភាពបរិសុទ្ធនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តគឺខ្ពស់ ហើយខ្សែភាពយន្តដែលមានគុណភាពខ្ពស់អាចត្រូវបានដាក់ ខណៈពេលដែលស្ថេរភាពនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង ដែលអាចសម្រេចបាននូវគោលបំណងនៃការកែលម្អលក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិក និងមេកានិចនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។ គោលបំណងនៃការហៀរធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងគឺដើម្បីបង្កើតសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងថ្មី។

2. ការឆ្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង

ការឆ្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងក៏ជាការទម្លាក់គ្រាប់បែកធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងថាមពលមធ្យមលើផ្ទៃនៃសម្ភារៈដើម្បីបង្កើតជាឥទ្ធិពលឆ្លាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលជាឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ឧបករណ៍អុបតូអេឡិចត្រូនិច និងផ្នែកផ្សេងទៀតនៃការផលិតបច្ចេកវិទ្យាស្នូលក្រាហ្វិក។ បច្ចេកវិទ្យារៀបចំសម្រាប់បន្ទះឈីបនៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នាស៊ីមីកុងដុកទ័រពាក់ព័ន្ធនឹងការរៀបចំត្រង់ស៊ីស្ទ័ររាប់លាននៅលើបន្ទះស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់តែមួយដែលមានអង្កត់ផ្ចិត Φ12 អ៊ីញ (Φ304.8 មីលីម៉ែត្រ)។ ត្រង់ស៊ីស្ទ័រនីមួយៗត្រូវបានសាងសង់ពីស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្តើងជាច្រើនដែលមានមុខងារផ្សេងៗគ្នា ដែលមានស្រទាប់សកម្ម ស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ ស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ និងស្រទាប់ដឹកនាំ។ ស្រទាប់មុខងារនីមួយៗមានលំនាំផ្ទាល់ខ្លួន ដូច្នេះបន្ទាប់ពីស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តមុខងារនីមួយៗត្រូវបានស្រោប ផ្នែកដែលគ្មានប្រយោជន៍ត្រូវឆ្លាក់ចេញជាមួយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង ដោយទុកសមាសធាតុខ្សែភាពយន្តមានប្រយោជន៍ឱ្យនៅដដែល។ សព្វថ្ងៃនេះ ទទឹងខ្សែរបស់បន្ទះឈីបបានឈានដល់ 7 មីលីម៉ែត្រ ហើយការឆ្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងគឺចាំបាច់ដើម្បីរៀបចំលំនាំដ៏ល្អបែបនេះ។ ការឆ្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងគឺជាវិធីសាស្ត្រឆ្លាក់ស្ងួតដែលមានភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់បើប្រៀបធៀបទៅនឹងវិធីសាស្ត្រឆ្លាក់សើមដែលប្រើនៅដើមដំបូង។

បច្ចេកវិទ្យាឆ្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងជាមួយនឹងការឆ្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអសកម្ម និងការឆ្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងសកម្មដែលមានពីរប្រភេទ។ ប្រភេទទីមួយជាមួយនឹងការឆ្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងអារហ្គុន ជាកម្មសិទ្ធិរបស់ប្រតិកម្មរូបវន្ត; ប្រភេទទីពីរជាមួយនឹងការបាញ់កាំរស្មីអ៊ីយ៉ុងហ្វ្លុយអូរីន បន្ថែមពីលើថាមពលខ្ពស់ដើម្បីបង្កើតតួនាទីនៃការកកស្ទះ ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងហ្វ្លុយអូរីនក៏អាចត្រូវបានឆ្លាក់ជាមួយ SiO2 ផងដែរ។₂ស៊ី₃N4, GaAs, W និងខ្សែភាពយន្តស្តើងផ្សេងទៀតមានប្រតិកម្មគីមី វាទាំងដំណើរការប្រតិកម្មរូបវន្ត ប៉ុន្តែក៏ជាដំណើរការប្រតិកម្មគីមីនៃបច្ចេកវិទ្យាឆ្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងផងដែរ អត្រាឆ្លាក់គឺលឿន។ ឧស្ម័នច្រេះឆ្លាក់ប្រតិកម្មគឺ CF₄,គ₂F₆, CCl4, BCl₃ជាដើម សារធាតុប្រតិកម្មដែលបានបង្កើតសម្រាប់ SiF₄ស៊ីក្លូ₄,GCl₃និង WF₆ តើឧស្ម័នច្រេះត្រូវបានស្រង់ចេញ។ បច្ចេកវិទ្យាឆ្លាក់ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងគឺជាបច្ចេកវិទ្យាសំខាន់ដើម្បីផលិតផលិតផលបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់។

- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ