ການເຄືອບດ້ວຍລຳແສງໄອອອນ ແລະ ການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນ

1. ການເຄືອບດ້ວຍລຳແສງໄອອອນສະເປເຕີຣິງ

ພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸຖືກລະເບີດດ້ວຍລຳແສງໄອອອນພະລັງງານປານກາງ, ແລະພະລັງງານຂອງໄອອອນຈະບໍ່ເຂົ້າໄປໃນຕາຂ່າຍຜລຶກຂອງວັດສະດຸ, ແຕ່ຖ່າຍໂອນພະລັງງານໄປຫາອະຕອມເປົ້າໝາຍ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນກະຈາຍອອກຈາກພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນສ້າງເປັນຟິມບາງໆໂດຍການວາງໄວ້ເທິງຊິ້ນວຽກ. ເນື່ອງຈາກການກະຈາຍທີ່ຜະລິດໂດຍລຳແສງໄອອອນ, ພະລັງງານຂອງອະຕອມຊັ້ນຟິມທີ່ກະຈາຍແມ່ນສູງຫຼາຍ, ແລະວັດສະດຸເປົ້າໝາຍຖືກລະເບີດດ້ວຍລຳແສງໄອອອນໃນສູນຍາກາດສູງ, ຄວາມບໍລິສຸດຂອງຊັ້ນຟິມແມ່ນສູງ, ແລະຟິມທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສາມາດວາງໄວ້ໄດ້, ໃນຂະນະທີ່ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຊັ້ນຟິມລຳແສງໄອອອນໄດ້ຮັບການປັບປຸງ, ເຊິ່ງສາມາດບັນລຸຈຸດປະສົງຂອງການປັບປຸງຄຸນສົມບັດທາງດ້ານແສງແລະກົນຈັກຂອງຊັ້ນຟິມ. ຈຸດປະສົງຂອງການກະຈາຍລຳແສງໄອອອນແມ່ນເພື່ອສ້າງວັດສະດຸຟິມບາງໆໃໝ່.

2. ການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນ

ການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນຍັງເປັນການຖິ້ມລຳແສງໄອອອນພະລັງງານປານກາງໃສ່ໜ້າຜິວຂອງວັດສະດຸເພື່ອສ້າງຜົນກະທົບຈາກການສະເປຣດເຕີ, ການແກະສະຫຼັກໃສ່ຊັ້ນຮອງພື້ນ, ເປັນອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ, ອຸປະກອນອອບໂຕເອເລັກໂຕຣນິກ ແລະ ຂົງເຂດອື່ນໆຂອງການຜະລິດເຕັກໂນໂລຊີແກນກຣາບຟິກ. ເຕັກໂນໂລຊີການກະກຽມສຳລັບຊິບໃນວົງຈອນປະສົມປະສານເຄິ່ງຕົວນຳກ່ຽວຂ້ອງກັບການກະກຽມທຣານຊິດເຕີຫຼາຍລ້ານໜ່ວຍໃສ່ແຜ່ນຊິລິໂຄນຜລຶກດຽວທີ່ມີເສັ້ນຜ່າສູນກາງ Φ12 ນິ້ວ (Φ304.8 ມມ). ທຣານຊິດເຕີແຕ່ລະອັນຖືກສ້າງຂຶ້ນຈາກຟິມບາງໆຫຼາຍຊັ້ນທີ່ມີໜ້າທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ປະກອບດ້ວຍຊັ້ນທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ, ຊັ້ນສນວນ, ຊັ້ນແຍກ, ແລະ ຊັ້ນນຳໄຟຟ້າ. ແຕ່ລະຊັ້ນທີ່ເຮັດວຽກມີຮູບແບບຂອງຕົນເອງ, ດັ່ງນັ້ນຫຼັງຈາກແຕ່ລະຊັ້ນຂອງຟິມທີ່ເຮັດວຽກຖືກຊຸບແລ້ວ, ສ່ວນທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດຈຳເປັນຕ້ອງຖືກແກະສະຫຼັກອອກດ້ວຍລຳແສງໄອອອນ, ເຮັດໃຫ້ສ່ວນປະກອບຟິມທີ່ເປັນປະໂຫຍດຍັງຄົງຢູ່. ປະຈຸບັນ, ຄວາມກວ້າງຂອງສາຍໄຟຂອງຊິບໄດ້ຮອດ 7 ມມ, ແລະ ການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນແມ່ນມີຄວາມຈຳເປັນເພື່ອກະກຽມຮູບແບບທີ່ລະອຽດດັ່ງກ່າວ. ການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນແມ່ນວິທີການແກະສະຫຼັກແບບແຫ້ງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງເມື່ອທຽບກັບວິທີການແກະສະຫຼັກແບບປຽກທີ່ໃຊ້ໃນຕອນເລີ່ມຕົ້ນ.

ເຕັກໂນໂລຊີການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນດ້ວຍການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນທີ່ບໍ່ມີການເຄື່ອນໄຫວ ແລະ ການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວມີສອງປະເພດ. ແບບທຳອິດດ້ວຍການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນອາກອນ, ເປັນຂອງປະຕິກິລິຍາທາງກາຍະພາບ; ແບບທີສອງດ້ວຍການສະເປຣດລຳແສງໄອອອນຟລູອໍຣີນ, ລຳແສງໄອອອນຟລູອໍຣີນນອກເໜືອໄປຈາກພະລັງງານສູງເພື່ອສ້າງບົດບາດຂອງການເຄື່ອນທີ່, ລຳແສງໄອອອນຟລູອໍຣີນຍັງສາມາດແກະສະຫຼັກດ້ວຍ SiO2 ໄດ້.₂ສີ₃ຟິມບາງໆ N4, GaAs, W ແລະ ຟິມບາງໆອື່ນໆມີປະຕິກິລິຍາເຄມີ, ມັນເປັນທັງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາທາງກາຍະພາບ, ແຕ່ຍັງເປັນຂະບວນການປະຕິກິລິຍາເຄມີຂອງເຕັກໂນໂລຊີການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນ, ອັດຕາການແກະສະຫຼັກແມ່ນໄວ. ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນການແກະສະຫຼັກປະຕິກິລິຍາແມ່ນ CF₄,ຊ₂F₆, CCl4, BCl₃, ແລະອື່ນໆ, ສານຕັ້ງຕົ້ນທີ່ສ້າງຂຶ້ນສຳລັບ SiF₄SiCl₄, GCl₃;, ແລະ WF₆ ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນຖືກສະກັດອອກ. ເຕັກໂນໂລຊີການແກະສະຫຼັກລຳແສງໄອອອນແມ່ນເຕັກໂນໂລຊີທີ່ສຳຄັນໃນການຜະລິດຜະລິດຕະພັນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄໝ.

- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua