Ufiufi o le ion beam sputtering ma le ion beam etching

1. Ufiufi o le Ion beam sputtering

O le fogāeleele o le meafaitino e fa'apāpāina i se ave ion e malosi le feololo, ma o le malosi o ions e lē ulufale atu i le crystal lattice o le meafaitino, ae e fa'aliliuina atu le malosi i atoms o lo'o fa'amoemoeina, ma mafua ai ona latou fe'a'ei ese mai le fogāeleele o le meafaitino, ona fausia lea o se ata manifinifi e ala i le fa'aputuina i luga o le workpiece. Ona o le fe'a'ei e gaosia e le ave ion, o le malosi o atoms o le vaega ata ua fe'a'ei e matua maualuga lava, ma o le meafaitino o lo'o fa'amoemoeina e fa'apāpāina i le ave ion i se masini maualuga, o le mama o le vaega ata e maualuga, ma e mafai ona fa'aputuina ata lelei, a'o fa'aleleia atili le mautu o le vaega ata o le ave ion, lea e mafai ona ausia ai le fa'amoemoe o le fa'aleleia atili o meatotino va'ai ma fa'ainisinia o le vaega ata. O le fa'amoemoe o le fe'a'ei ion o le fa'aputuina lea o ni mea fou e manifinifi.

2. Fa'a'ofuina o le ave ion

O le fa'a'ofuina o le Ion beam o se fa'a'ofuina fo'i lea o le ion beam i le vaega o le meafaitino e fa'atupu ai le sputtering, etching effect i luga o le substrate, o se masini semiconductor, masini optoelectronic ma isi vaega o le gaosiga o tekinolosi autu o ata. O le tekinolosi sauniuniga mo chips i semiconductor integrated circuits e aofia ai le sauniaina o le faitau miliona o transistors i luga o se wafer silicon kristal e tasi ma le lautele o le Φ12in (Φ304.8mm). O transistor ta'itasi e fausia mai le tele o vaega o ata manifinifi ma galuega eseese, e aofia ai se vaega galue, se vaega fa'amama, se vaega vavae'ese, ma se vaega fa'a'ave'ave. O vaega ta'itasi e iai lana lava mamanu, o lea a mae'a ona ufiufi vaega ta'itasi o le ata galue, e mana'omia ona fa'a'ofuina vaega le aoga i se ion beam, ma tu'u ai vaega aoga o le ata. I aso nei, ua o'o atu le lautele o le uaea o le chip i le 7mm, ma e mana'omia le ion beam etching e saunia ai se mamanu lelei fa'apenei. O le ion beam etching o se metotia fa'a'ofu mago ma le sa'o maualuga o le fa'a'ofu pe a fa'atusatusa i le metotia fa'a'ofu susu na fa'aaogaina i le amataga.

Tekinolosi eliina o le ave Ion ma le eliina o le ave ion e le gaoioi ma le eliina o le ave ion e gaoioi e lua ituaiga. O le muamua ma le eliina o le ave argon ion, e patino i le tali faaletino; o le mulimuli ma le eliina o le ave fluorine ion, e faaopoopo atu i le malosi maualuga o le ave fluorine ion e gaosia ai le matafaioi o le tagata savali, e mafai foi ona eliina le ave fluorine ion i le SiO₂Si₃O le N4, GaAs, W ma isi ata manifinifi e iai se tali fa'akemikolo, e le gata o le fa'agasologa fa'aletino, ae fa'apea fo'i ma le fa'agasologa fa'akemikolo o le tekinolosi etching ion beam, e vave le saoasaoa o le etching. O kasa 'a'ai e fa'aaogaina e le etching o le CF.₄、C₂F₆CCl4 BCl₃, ma isi, o mea e tali atu i ai mo le SiF₄SiCl₄、GCl₃;、ma le WF₆ e maua mai ai kasa 'a'ai. O le tekinolosi etching o le Ion beam o le tekinolosi autū lea e gaosia ai oloa fa'atekonolosi maualuga.

–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua