Sự phát triển epitaxy, thường được gọi là epitaxy, là một trong những quy trình quan trọng nhất trong việc chế tạo vật liệu và thiết bị bán dẫn. Cái gọi là sự phát triển epitaxy là quá trình tạo ra một lớp màng đơn sản phẩm trên chất nền tinh thể đơn trong những điều kiện nhất định,...
Nhìn chung, CVD có thể được chia thành hai loại: một là lắng đọng hơi sản phẩm đơn trên chất nền để tạo lớp màng đơn tinh thể, gọi là CVD hẹp; loại còn lại là lắng đọng màng mỏng trên chất nền, bao gồm màng đa sản phẩm và màng vô định hình. Theo...
Từ đó chúng ta sắp làm rõ: (1) các thiết bị màng mỏng, độ truyền qua, quang phổ phản xạ và màu sắc của mối quan hệ tương ứng giữa chúng, tức là quang phổ của một màu; ngược lại, mối quan hệ này “không phải là duy nhất”, được thể hiện dưới dạng quang phổ đa màu. Do đó, màng phim'...
Phổ truyền dẫn và phản xạ, cùng với màu sắc của màng mỏng quang học, là hai đặc tính tồn tại đồng thời của các thiết bị màng mỏng. 1. Phổ truyền dẫn và phản xạ là mối quan hệ giữa độ phản xạ và độ truyền dẫn của các thiết bị màng mỏng quang học với bước sóng. Nó là...
Máy phủ màng mỏng chân không PVD quang học AF được thiết kế để phủ màng mỏng lên các thiết bị di động bằng quy trình lắng đọng hơi vật lý (PVD). Quy trình này bao gồm việc tạo ra môi trường chân không bên trong buồng phủ, nơi các vật liệu rắn được làm bay hơi và sau đó lắng đọng...
Máy sản xuất gương phủ chân không nhôm bạc đã tạo nên cuộc cách mạng trong ngành sản xuất gương nhờ công nghệ tiên tiến và kỹ thuật chính xác. Máy móc hiện đại này được thiết kế để phủ một lớp mỏng nhôm bạc lên bề mặt kính, tạo ra những sản phẩm chất lượng cao...
Máy mạ chân không quang học là một công nghệ tiên tiến đã cách mạng hóa ngành công nghiệp phủ bề mặt. Máy móc hiện đại này sử dụng quy trình gọi là mạ chân không quang học để phủ một lớp kim loại mỏng lên nhiều loại chất nền khác nhau, tạo ra bề mặt có độ phản chiếu cao và độ bền lâu…
Hầu hết các nguyên tố hóa học có thể được hóa hơi bằng cách kết hợp chúng với các nhóm hóa học, ví dụ như Si phản ứng với H để tạo thành SiH4, và Al kết hợp với CH3 để tạo thành Al(CH3). Trong quá trình CVD nhiệt, các khí trên hấp thụ một lượng năng lượng nhiệt nhất định khi chúng đi qua chất nền được nung nóng và tạo thành...
Phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD). Như tên gọi cho thấy, đây là kỹ thuật sử dụng các chất phản ứng tiền chất dạng khí để tạo ra các màng rắn thông qua các phản ứng hóa học ở cấp độ nguyên tử và liên phân tử. Không giống như PVD, quá trình CVD chủ yếu được thực hiện trong môi trường áp suất cao hơn (chân không thấp hơn),...
3. Ảnh hưởng của nhiệt độ chất nền Nhiệt độ chất nền là một trong những điều kiện quan trọng cho sự phát triển màng. Nó cung cấp thêm năng lượng cho các nguyên tử hoặc phân tử màng, và chủ yếu ảnh hưởng đến cấu trúc màng, hệ số kết tụ, hệ số giãn nở và sự tập hợp...
Việc chế tạo các thiết bị màng mỏng quang học được thực hiện trong buồng chân không, và sự phát triển của lớp màng là một quá trình vi mô. Tuy nhiên, hiện nay, các quá trình vĩ mô có thể được kiểm soát trực tiếp là một số yếu tố vĩ mô có mối quan hệ gián tiếp với chất lượng...
Quá trình nung nóng vật liệu rắn trong môi trường chân không cao để thăng hoa hoặc bay hơi và lắng đọng chúng trên một chất nền cụ thể để thu được một lớp màng mỏng được gọi là phủ bay hơi chân không (hay còn gọi là phủ bay hơi). Lịch sử chế tạo màng mỏng bằng phương pháp bay hơi chân không...
Indium tin oxide (Indium Tin Oxide, viết tắt là ITO) là vật liệu bán dẫn loại n có dải năng lượng rộng, được pha tạp mạnh, có đặc tính truyền ánh sáng nhìn thấy cao và điện trở suất thấp, do đó được sử dụng rộng rãi trong pin mặt trời, màn hình phẳng, cửa sổ điện sắc, vật liệu vô cơ và hữu cơ...
Máy phủ màng chân không ly tâm trong phòng thí nghiệm là công cụ quan trọng trong lĩnh vực lắng đọng màng mỏng và biến đổi bề mặt. Thiết bị tiên tiến này được thiết kế để phủ màng mỏng một cách chính xác và đồng đều từ nhiều loại vật liệu khác nhau lên chất nền. Quá trình này bao gồm việc sử dụng dung dịch lỏng hoặc huyền phù...
Có hai chế độ chính của quá trình lắng đọng hỗ trợ bằng chùm ion, một là lai động; chế độ còn lại là lai tĩnh. Chế độ thứ nhất đề cập đến việc màng trong quá trình phát triển luôn được đi kèm với một năng lượng và dòng điện chùm ion nhất định để bắn phá và tạo màng; chế độ thứ hai là lắng đọng trước trên bề mặt của...