Epitaksial o'sish, ko'pincha epitaksi deb ham ataladi, yarimo'tkazgich materiallar va qurilmalarni ishlab chiqarishdagi eng muhim jarayonlardan biridir. Epitaksial o'sish deb ataladigan narsa ma'lum sharoitlarda bitta kristalli substratda bitta mahsulotli plyonka jarayonining qatlami o'sishida bo'ladi...
Umuman olganda, CVDni taxminan ikki turga bo'lish mumkin: biri substratdagi bitta mahsulotda, tor CVD bo'lgan monokristalli epitaksial qatlamning bug' cho'kishi; ikkinchisi esa substratda yupqa plyonkalarning, jumladan, ko'p mahsulotli va amorf plyonkalarning cho'kishi. T ga ko'ra...
Bundan biz quyidagilarni aniqlashtirish arafasidamiz: (1) yupqa plyonkali qurilmalar, o'tkazuvchanlik, aks ettirish spektrlari va rang o'rtasidagi mos keladigan munosabat, ya'ni rang spektri; aksincha, bu munosabat "noyob emas", rang ko'p spektrli sifatida namoyon bo'ladi. Shuning uchun, film...
Optik yupqa plyonkalarning o'tkazuvchanlik va aks ettirish spektrlari va ranglari bir vaqtning o'zida mavjud bo'lgan yupqa plyonkali qurilmalarning ikkita xususiyatidir. 1. O'tkazuvchanlik va aks ettirish spektri - bu to'lqin uzunligiga ega optik yupqa plyonkali qurilmalarning aks ettirish va o'tkazuvchanlik o'rtasidagi bog'liqlik. Bu ...
AF yupqa plyonkali bug'lanish optik PVD vakuumli qoplama mashinasi jismoniy bug'lanishni cho'ktirish (PVD) jarayonidan foydalangan holda mobil qurilmalarga yupqa plyonkali qoplamalarni qo'llash uchun mo'ljallangan. Jarayon qoplama kamerasida vakuum muhitini yaratishni o'z ichiga oladi, bu yerda qattiq materiallar bug'lanadi va keyin cho'ktiriladi...
Alyuminiy kumush vakuumli qoplamali oyna yasash mashinasi o'zining ilg'or texnologiyasi va aniq muhandisligi bilan oyna ishlab chiqarish sanoatida inqilob qildi. Ushbu zamonaviy mashina shisha yuzasiga yupqa alyuminiy kumush qoplamasini surtish va yuqori sifatli...
Optik vakuumli metallizator sirt qoplamasi sanoatida inqilob qilgan eng zamonaviy texnologiyadir. Ushbu ilg'or mashina turli xil substratlarga yupqa metall qatlamini surtish uchun optik vakuumli metallizatsiya deb ataladigan jarayondan foydalanadi va yuqori darajada aks ettiruvchi va bardoshli sirt yaratadi...
Ko'pgina kimyoviy elementlarni kimyoviy guruhlar bilan birlashtirish orqali bug'lantirish mumkin, masalan, Si H bilan reaksiyaga kirishib SiH4 hosil qiladi va Al CH3 bilan birlashib Al(CH3) hosil qiladi. Termik CVD jarayonida yuqoridagi gazlar qizdirilgan substratdan o'tib, qayta hosil qilganda ma'lum miqdorda issiqlik energiyasini yutadi...
Kimyoviy bug'lanish (KBK). Nomidan ko'rinib turibdiki, bu atom va molekulalararo kimyoviy reaksiyalar orqali qattiq plyonkalar hosil qilish uchun gazsimon prekursor reaktivlaridan foydalanadigan usul. PVKdan farqli o'laroq, KBK jarayoni asosan yuqori bosimli (pastki vakuum) muhitda amalga oshiriladi...
3. Substrat haroratining ta'siri Substrat harorati membrana o'sishi uchun muhim shartlardan biridir. U membrana atomlari yoki molekulalariga qo'shimcha energiya qo'shimchasini ta'minlaydi va asosan membrana tuzilishiga, aglutinatsiya koeffitsientiga, kengayish koeffitsientiga va agregatga ta'sir qiladi...
Optik yupqa plyonkali qurilmalarni ishlab chiqarish vakuum kamerasida amalga oshiriladi va plyonka qatlamining o'sishi mikroskopik jarayondir. Biroq, hozirgi vaqtda to'g'ridan-to'g'ri boshqarilishi mumkin bo'lgan makroskopik jarayonlar sifat bilan bilvosita bog'liq bo'lgan ba'zi makroskopik omillardir...
Qattiq materiallarni yuqori vakuumli muhitda qizdirish, sublimatsiya qilish yoki bug'lantirish va yupqa plyonka olish uchun ularni ma'lum bir substratga yotqizish jarayoni vakuumli bug'lanish qoplamasi (bug'lanish qoplamasi deb ataladi) deb nomlanadi. Vakuumli bug'lanish orqali yupqa plyonkalarni tayyorlash tarixi...
Indiy qalay oksidi (Indiy qalay oksidi, ITO deb ataladi) keng polosali bo'shliqqa ega, yuqori darajada lehimlangan n-turdagi yarimo'tkazgich materiallari bo'lib, yuqori ko'rinadigan yorug'lik o'tkazuvchanligi va past qarshilik xususiyatlariga ega va shuning uchun quyosh batareyalarida, yassi panelli displeylarda, elektroxrom oynalarda, noorganik va organik...
Laboratoriya vakuumli spin qoplama mashinalari yupqa plyonkali cho'ktirish va sirtni modifikatsiya qilish sohasida muhim vositalardir. Ushbu ilg'or uskunalar turli xil materiallarning yupqa plyonkalarini substratlarga aniq va teng ravishda qo'llash uchun mo'ljallangan. Jarayon suyuq eritma yoki suspenziyani qo'llashni o'z ichiga oladi...
Ion nurlari yordamida cho'ktirishning ikkita asosiy usuli mavjud, biri dinamik gibrid; ikkinchisi statik gibrid. Birinchisi, o'sish jarayonida plyonka har doim ma'lum bir energiya va ion bombardimoni va plyonka nur oqimi bilan birga kelishini anglatadi; ikkinchisi esa oldindan ion yuzasiga cho'ktiriladi...