សូមស្វាគមន៍មកកាន់ក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
ព័ត៌មាន
-
ការដាក់ចំហាយគីមី
ការលូតលាស់ Epitaxial ដែលជារឿយៗត្រូវបានគេហៅថា epitaxy គឺជាដំណើរការមួយក្នុងចំណោមដំណើរការសំខាន់បំផុតក្នុងការផលិតសម្ភារៈ និងឧបករណ៍ semiconductor។ ការលូតលាស់ epitaxial ដែលហៅថាស្ថិតនៅក្នុងលក្ខខណ្ឌជាក់លាក់នៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយលើការលូតលាស់នៃស្រទាប់នៃដំណើរការខ្សែភាពយន្តផលិតផលតែមួយ ដែល...អានបន្ថែម -
ប្រភេទនៃបច្ចេកវិទ្យា CVD
ជាទូទៅ CVD អាចបែងចែកជាពីរប្រភេទ៖ មួយគឺស្ថិតនៅក្នុងផលិតផលតែមួយនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ការដាក់ចំហាយនៃស្រទាប់អេពីតាក់ស៊ីលតែមួយ ដែលជា CVD តូចចង្អៀត; មួយទៀតគឺការដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងៗនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម រួមទាំងខ្សែភាពយន្តពហុផលិតផល និងខ្សែភាពយន្តអាម៉ូហ្វុស។ យោងតាម...អានបន្ថែម -
វិសាលគមបញ្ជូន និងការឆ្លុះបញ្ចាំង និងពណ៌នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងអុបទិក ជំពូកទី 2
ចាប់ពីចំណុចនេះ យើងហៀបនឹងបញ្ជាក់ឲ្យច្បាស់៖ (1) ឧបករណ៍ខ្សែភាពយន្តស្តើង ការបញ្ជូនពន្លឺ វិសាលគមឆ្លុះបញ្ចាំង និងពណ៌នៃទំនាក់ទំនងដែលត្រូវគ្នារវាង ពោលគឺវិសាលគមនៃពណ៌មួយ។ ផ្ទុយទៅវិញ ទំនាក់ទំនងនេះ "មិនមែនជារឿងប្លែក" ដែលបង្ហាញជាវិសាលគមពហុពណ៌។ ដូច្នេះ ខ្សែភាពយន្ត...អានបន្ថែម -
វិសាលគមបញ្ជូន និងការឆ្លុះបញ្ចាំង និងពណ៌នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងអុបទិក ជំពូកទី 1
វិសាលគមបញ្ជូន និងការឆ្លុះបញ្ចាំង ព្រមទាំងពណ៌នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងអុបទិក គឺជាលក្ខណៈពីរនៃឧបករណ៍ខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានក្នុងពេលតែមួយ។ ១. វិសាលគមបញ្ជូន និងការឆ្លុះបញ្ចាំង គឺជាទំនាក់ទំនងរវាងការឆ្លុះបញ្ចាំង និងការបញ្ជូនឧបករណ៍ខ្សែភាពយន្តស្តើងអុបទិកដែលមានរលកពន្លឺ។ វាត្រូវបានកំណត់ថា...អានបន្ថែម -
ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូត PVD អុបទិកហួតស្តើង AF
ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូត PVD ស្តើង AF ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីលាបថ្នាំកូត PVD លើឧបករណ៍ចល័តដោយប្រើដំណើរការ Physical Vapor Deposition (PVD)។ ដំណើរការនេះពាក់ព័ន្ធនឹងការបង្កើតបរិយាកាសសុញ្ញากาศនៅក្នុងបន្ទប់ថ្នាំកូតដែលសម្ភារៈរឹងត្រូវបានហួត ហើយបន្ទាប់មកដាក់...អានបន្ថែម -
ម៉ាស៊ីនផលិតកញ្ចក់ស្រោបអាលុយមីញ៉ូមប្រាក់ក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ម៉ាស៊ីនផលិតកញ្ចក់ស្រោបអាលុយមីញ៉ូមប្រាក់ក្នុងសុញ្ញកាសបានធ្វើបដិវត្តន៍ឧស្សាហកម្មផលិតកញ្ចក់ជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាទំនើប និងវិស្វកម្មភាពជាក់លាក់របស់វា។ ម៉ាស៊ីនទំនើបនេះត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីលាបស្រោបអាលុយមីញ៉ូមប្រាក់ស្តើងទៅលើផ្ទៃកញ្ចក់ ដោយបង្កើតគុណភាពខ្ពស់...អានបន្ថែម -
ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតអុបទិកបូមធូលី
ម៉ាស៊ីនធ្វើលោហៈក្នុងសុញ្ញកាសអុបទិកគឺជាបច្ចេកវិទ្យាទំនើបមួយដែលបានធ្វើបដិវត្តន៍ឧស្សាហកម្មថ្នាំកូតផ្ទៃ។ ម៉ាស៊ីនទំនើបនេះប្រើប្រាស់ដំណើរការមួយហៅថាការធ្វើលោហៈក្នុងសុញ្ញកាសអុបទិកដើម្បីលាបស្រទាប់ដែកស្តើងទៅលើស្រទាប់ជាច្រើនប្រភេទ ដោយបង្កើតផ្ទៃដែលឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់ និងប្រើប្រាស់បានយូរ...អានបន្ថែម -
ជំពូកទី 2 ការដាក់បញ្ចូលចំហាយគីមីដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប្លាស្មា
ធាតុគីមីភាគច្រើនអាចត្រូវបានហួតដោយផ្សំវាជាមួយក្រុមគីមី ឧទាហរណ៍ Si មានប្រតិកម្មជាមួយ H ដើម្បីបង្កើត SiH4 ហើយ Al ផ្សំជាមួយ CH3 ដើម្បីបង្កើត Al(CH3)។ នៅក្នុងដំណើរការ CVD កម្ដៅ ឧស្ម័នខាងលើស្រូបយកថាមពលកម្ដៅមួយចំនួននៅពេលដែលពួកវាឆ្លងកាត់ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានកម្ដៅ ហើយបង្កើតឡើងវិញ...អានបន្ថែម -
ជំពូកទី 1 ការដាក់បញ្ចូលចំហាយគីមីដែលបង្កើនប្រសិទ្ធភាពប្លាស្មា
ការដាក់ចំហាយគីមី (CVD)។ ដូចដែលឈ្មោះបានបញ្ជាក់ វាគឺជាបច្ចេកទេសមួយដែលប្រើប្រាស់សារធាតុប្រតិកម្មបឋមឧស្ម័ន ដើម្បីបង្កើតខ្សែភាពយន្តរឹង តាមរយៈប្រតិកម្មគីមីអាតូម និងអន្តរម៉ូលេគុល។ មិនដូច PVD ទេ ដំណើរការ CVD ភាគច្រើនត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបរិយាកាសសម្ពាធខ្ពស់ (កន្លែងទំនេរទាប) ជាមួយ...អានបន្ថែម -
ធាតុផ្សំនៃដំណើរការ និងយន្តការសកម្មភាពដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃឧបករណ៍ខ្សែភាពយន្តស្តើង (ផ្នែកទី 2)
៣. ឥទ្ធិពលនៃសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោម សីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមគឺជាលក្ខខណ្ឌសំខាន់មួយសម្រាប់ការលូតលាស់ភ្នាស។ វាផ្តល់ថាមពលបន្ថែមដល់អាតូម ឬម៉ូលេគុលភ្នាស ហើយជាចម្បងប៉ះពាល់ដល់រចនាសម្ព័ន្ធភ្នាស មេគុណប្រមូលផ្តុំ មេគុណពង្រីក និងសារធាតុប្រមូលផ្តុំ...អានបន្ថែម -
កត្តាដំណើរការ និងយន្តការដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃឧបករណ៍ខ្សែភាពយន្តស្តើង (ផ្នែកទី 1)
ការផលិតឧបករណ៍ខ្សែភាពយន្តស្តើងអុបទិកត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបន្ទប់សុញ្ញកាស ហើយការលូតលាស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តគឺជាដំណើរការមីក្រូទស្សន៍។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ បច្ចុប្បន្ននេះ ដំណើរការម៉ាក្រូស្កុបដែលអាចគ្រប់គ្រងដោយផ្ទាល់បានគឺជាកត្តាម៉ាក្រូស្កុបមួយចំនួនដែលមានទំនាក់ទំនងដោយប្រយោលជាមួយនឹងគុណភាព...អានបន្ថែម -
ប្រវត្តិនៃការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យាហួត
ដំណើរការនៃការកំដៅសម្ភារៈរឹងនៅក្នុងបរិយាកាសសុញ្ញកាសខ្ពស់ ដើម្បីធ្វើឱ្យសារធាតុស្រាល ឬហួត ហើយដាក់វានៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមជាក់លាក់មួយ ដើម្បីទទួលបានខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយ ត្រូវបានគេស្គាល់ថាជាថ្នាំកូតហួតក្នុងសុញ្ញកាស (ហៅថាថ្នាំកូតហួត)។ ប្រវត្តិនៃការរៀបចំខ្សែភាពយន្តស្តើងដោយចំហាយទឹក...អានបន្ថែម -
សេចក្តីផ្តើមអំពីថ្នាំកូត ITO
អុកស៊ីដសំណប៉ាហាំងអ៊ីនឌីញ៉ូម (អុកស៊ីដសំណប៉ាហាំងអ៊ីនឌីញ៉ូម ដែលគេស្គាល់ថា ITO) គឺជាសម្ភារៈអេឡិចត្រូនិកប្រភេទ n ដែលមានគម្លាតធំទូលាយ មានសារធាតុដូបច្រើន ជាមួយនឹងលក្ខណៈបញ្ជូនពន្លឺខ្ពស់ និងលក្ខណៈរេស៊ីស្តង់ទាប ដូច្នេះហើយទើបគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ អេក្រង់រាបស្មើ បង្អួចអេឡិចត្រូក្រូម អសរីរាង្គ និងសរីរាង្គ...អានបន្ថែម -
ម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបង្វិលបូមធូលីមន្ទីរពិសោធន៍
ឧបករណ៍ស្រោបស្រទាប់ស្តើងក្នុងមន្ទីរពិសោធន៍ គឺជាឧបករណ៍សំខាន់ៗក្នុងវិស័យដាក់ស្រទាប់ស្តើង និងកែប្រែផ្ទៃ។ ឧបករណ៍ទំនើបនេះត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីស្រោបស្រទាប់ស្តើងនៃវត្ថុធាតុជាច្រើនប្រភេទទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ និងស្មើៗគ្នា។ ដំណើរការនេះពាក់ព័ន្ធនឹងការស្រោបដំណោះស្រាយរាវ ឬជ័រ...អានបន្ថែម -
របៀបដាក់បញ្ចូលជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង និងការជ្រើសរើសថាមពលរបស់វា
មានរបៀបដាក់ស្រទាប់អ៊ីយ៉ុងជំនួយពីរយ៉ាង មួយគឺប្រភេទឌីណាមិកចម្រុះ; មួយទៀតគឺប្រភេទឋិតិវន្តចម្រុះ។ ទីមួយសំដៅទៅលើខ្សែភាពយន្តនៅក្នុងដំណើរការលូតលាស់តែងតែត្រូវបានអមដោយថាមពល និងចរន្តធ្នឹមជាក់លាក់នៃការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង និងខ្សែភាពយន្ត; ក្រោយមកទៀតត្រូវបានដាក់ជាមុននៅលើផ្ទៃនៃ...អានបន្ថែម
