Feem ntau cov tshuaj lom neeg tuaj yeem ua pa los ntawm kev sib xyaw nrog cov pab pawg tshuaj, piv txwv li Si reacts nrog H los tsim SiH4, thiab Al sib xyaw nrog CH3 los tsim Al (CH3). Hauv cov txheej txheem thermal CVD, cov pa roj saum toj no nqus tau qee qhov zog thermal thaum lawv dhau los ntawm cov khoom siv cua sov thiab tsim dua ...