Quá trình lắng đọng hơi chân không

Quy trình lắng đọng hơi chân không thường bao gồm các bước như làm sạch bề mặt chất nền, chuẩn bị trước khi phủ, lắng đọng hơi, thu gom các mảnh vỡ, xử lý sau mạ, kiểm tra và sản phẩm hoàn thiện.
(1) Làm sạch bề mặt chất nền. Thành buồng chân không, khung chất nền và các bề mặt khác như dầu, rỉ sét, vật liệu mạ còn sót lại dễ bay hơi trong chân không, ảnh hưởng trực tiếp đến độ tinh khiết của lớp màng và lực liên kết, phải được làm sạch trước khi mạ.
(2) Chuẩn bị trước khi phủ. Phủ trong môi trường chân không trống đến độ chân không thích hợp, xử lý sơ bộ chất nền và vật liệu phủ. Làm nóng chất nền nhằm mục đích loại bỏ độ ẩm và tăng cường lực liên kết của lớp màng nền. Làm nóng chất nền trong môi trường chân không cao có thể khử khí hấp phụ trên bề mặt chất nền, sau đó hút khí ra khỏi buồng chân không bằng bơm chân không, điều này có lợi cho việc cải thiện độ chân không của buồng phủ, độ tinh khiết của lớp màng và lực liên kết của lớp màng nền. Sau khi đạt đến một độ chân không nhất định, sử dụng nguồn bay hơi đầu tiên với công suất điện thấp hơn để làm nóng sơ bộ hoặc làm tan chảy sơ bộ màng. Để ngăn ngừa sự bay hơi vào chất nền, che nguồn bay hơi và vật liệu nguồn bằng một tấm chắn, sau đó đưa điện năng có công suất cao hơn vào, làm nóng nhanh vật liệu phủ đến nhiệt độ bay hơi, bay hơi và sau đó tháo tấm chắn.
(3) Bay hơi. Bên cạnh giai đoạn bay hơi để chọn nhiệt độ chất nền thích hợp, nhiệt độ bay hơi của vật liệu mạ bên ngoài áp suất không khí lắng đọng cũng là một thông số rất quan trọng. Áp suất khí lắng đọng, tức là chân không của buồng phủ, quyết định phạm vi tự do trung bình của các phân tử khí chuyển động trong không gian bay hơi và một khoảng cách bay hơi nhất định dưới hơi và các nguyên tử khí dư cũng như số lượng va chạm giữa các nguyên tử hơi.
(4) Tháo dỡ. Sau khi độ dày lớp màng đáp ứng yêu cầu, hãy che nguồn bay hơi bằng tấm chắn và ngừng gia nhiệt, nhưng không được dẫn khí ngay lập tức, cần tiếp tục làm nguội trong điều kiện chân không trong một khoảng thời gian để làm nguội, ngăn ngừa lớp mạ, vật liệu mạ dư và điện trở, nguồn bay hơi, v.v. bị oxy hóa, sau đó ngừng bơm, rồi thổi khí, mở buồng chân không để lấy chất nền ra.

–Bài viết này được phát hành bởisản xuất máy phủ chân khôngr Quảng Đông Trấn Hoa