Lớp màng trong nguồn bay hơi có thể biến các hạt màng ở dạng nguyên tử (hoặc phân tử) thành không gian pha khí. Dưới nhiệt độ cao của nguồn bay hơi, các nguyên tử hoặc phân tử trên bề mặt màng nhận đủ năng lượng để vượt qua sức căng bề mặt và bay hơi khỏi bề mặt. Các nguyên tử hoặc phân tử bay hơi này tồn tại ở trạng thái khí trong chân không, tức là không gian pha khí. (Có thể là vật liệu kim loại hoặc phi kim loại).
Trong môi trường chân không, quá trình gia nhiệt và bay hơi của vật liệu màng có thể được cải thiện. Môi trường chân không làm giảm ảnh hưởng của áp suất khí quyển lên quá trình bay hơi, giúp quá trình bay hơi dễ dàng hơn. Ở áp suất khí quyển, vật liệu cần chịu áp suất lớn hơn để vượt qua sức cản của khí, trong khi đó, trong môi trường chân không, sức cản này giảm đáng kể, giúp vật liệu dễ bay hơi hơn. Trong quá trình phủ bay hơi, nhiệt độ bay hơi và áp suất hơi của vật liệu nguồn bay hơi là yếu tố quan trọng trong việc lựa chọn vật liệu nguồn bay hơi. Đối với lớp phủ Cd(Se, s), nhiệt độ bay hơi thường nằm trong khoảng 1000 ~ 2000 ℃, vì vậy cần chọn vật liệu nguồn bay hơi có nhiệt độ bay hơi phù hợp. Ví dụ, nhôm có nhiệt độ bay hơi ở áp suất khí quyển là 2400 ℃, nhưng trong điều kiện chân không, nhiệt độ bay hơi của nó sẽ giảm đáng kể. Điều này là do không có các phân tử khí quyển cản trở trong chân không, do đó các nguyên tử hoặc phân tử nhôm có thể dễ dàng bay hơi khỏi bề mặt hơn. Hiện tượng này là một lợi thế quan trọng đối với quá trình phủ bay hơi trong chân không. Trong môi trường chân không, quá trình bay hơi của vật liệu màng trở nên dễ dàng hơn, cho phép tạo ra các màng mỏng ở nhiệt độ thấp hơn. Nhiệt độ thấp hơn này làm giảm quá trình oxy hóa và phân hủy vật liệu, góp phần tạo ra các màng có chất lượng cao hơn.
Trong quá trình phủ chân không, áp suất mà tại đó hơi của vật liệu màng đạt trạng thái cân bằng trong chất rắn hoặc chất lỏng được gọi là áp suất hơi bão hòa ở nhiệt độ đó. Áp suất này phản ánh trạng thái cân bằng động của quá trình bay hơi và ngưng tụ ở một nhiệt độ nhất định. Thông thường, nhiệt độ ở các phần khác của buồng chân không thấp hơn nhiều so với nhiệt độ của nguồn bay hơi, điều này làm cho các nguyên tử hoặc phân tử màng bay hơi dễ dàng ngưng tụ ở các phần khác của buồng. Trong trường hợp này, nếu tốc độ bay hơi lớn hơn tốc độ ngưng tụ, thì ở trạng thái cân bằng động, áp suất hơi sẽ đạt đến áp suất hơi bão hòa. Nghĩa là, trong trường hợp này, số lượng nguyên tử hoặc phân tử bay hơi bằng số lượng ngưng tụ, và trạng thái cân bằng động được thiết lập.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 27/09/2024