எபிடாக்ஸியல் வளர்ச்சி, பெரும்பாலும் எபிடாக்ஸி என்றும் குறிப்பிடப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்திப் பொருட்கள் மற்றும் சாதனங்களின் உருவாக்கத்தில் மிக முக்கியமான செயல்முறைகளில் ஒன்றாகும். எபிடாக்ஸியல் வளர்ச்சி எனப்படும் இந்த செயல்முறையானது, சில குறிப்பிட்ட நிபந்தனைகளின் கீழ், ஒற்றைப் படிக அடி மூலக்கூறின் மீது ஒற்றைப் பொருள் படலத்தின் ஒரு அடுக்கை வளர்க்கும் செயல்முறையாகும்...
பொதுவாகச் சொல்வதானால், CVD-ஐ தோராயமாக இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: ஒன்று, அடித்தளத்தின் மீது ஒற்றைப் பொருளை ஆவிப் படிவு செய்து ஒற்றைப் படிக எபிடெக்சியல் அடுக்கை உருவாக்கும் முறை, இது சுருக்கமாக CVD என அழைக்கப்படுகிறது; மற்றொன்று, அடித்தளத்தின் மீது மெல்லிய படலங்களைப் படியவைக்கும் முறை, இதில் பல-பொருள் மற்றும் படிக வடிவமற்ற படலங்கள் அடங்கும். அதன்படி...
இதிலிருந்து நாம் தெளிவுபடுத்தப் போவது: (1) மெல்லிய-படல சாதனங்கள், ஊடுருவல், பிரதிபலிப்பு நிறமாலைகள் மற்றும் தொடர்புடைய உறவின் நிறம், அதாவது, ஒரு நிறத்தின் நிறமாலை; மாறாக, இந்த உறவு "தனித்துவமானது அல்ல", இது ஒரு நிற பல-நிறமாலையாக வெளிப்படுகிறது. எனவே, படலம்'...
ஒளியியல் மென்படலங்களின் ஊடுருவல் மற்றும் பிரதிபலிப்பு நிறமாலைகளும் நிறங்களும், மென்படல சாதனங்களில் ஒரே நேரத்தில் காணப்படும் இரண்டு பண்புகளாகும். 1. ஊடுருவல் மற்றும் பிரதிபலிப்பு நிறமாலை என்பது ஒளியியல் மென்படல சாதனங்களின் பிரதிபலிப்பு மற்றும் ஊடுருவலுக்கும் அலைநீளத்திற்கும் இடையிலான உறவாகும். இது...
AF மெல்லிய படல ஆவியாக்க ஒளியியல் PVD வெற்றிடப் பூச்சு இயந்திரம், இயற்பியல் ஆவிப் படிவு (PVD) செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி மொபைல் சாதனங்களில் மெல்லிய படலப் பூச்சுகளைப் பூசுவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்தச் செயல்முறையில், ஒரு பூச்சு அறைக்குள் வெற்றிடச் சூழல் உருவாக்கப்பட்டு, அதில் திடப் பொருட்கள் ஆவியாக்கப்பட்டுப் படியவைக்கப்படுகின்றன...
அலுமினியம் சில்வர் வெற்றிடப் பூச்சு கண்ணாடி தயாரிக்கும் இயந்திரம், அதன் மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் துல்லியமான பொறியியல் மூலம் கண்ணாடி உற்பத்தித் துறையில் ஒரு புரட்சியை ஏற்படுத்தியுள்ளது. இந்த அதிநவீன இயந்திரம், கண்ணாடியின் மேற்பரப்பில் அலுமினியம் சில்வரின் மெல்லிய பூச்சைப் பூசி, உயர்தரமான கண்ணாடிகளை உருவாக்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது...
ஆப்டிகல் வேக்யூம் மெட்டலைசர் என்பது மேற்பரப்பு பூச்சுத் துறையில் புரட்சியை ஏற்படுத்திய ஒரு அதிநவீன தொழில்நுட்பமாகும். இந்த மேம்பட்ட இயந்திரம், ஆப்டிகல் வேக்யூம் மெட்டலைசேஷன் எனப்படும் ஒரு செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி, பல்வேறு வகையான அடி மூலக்கூறுகளின் மீது ஒரு மெல்லிய உலோகப் படலத்தைப் பூசி, அதிக பிரதிபலிப்புத் திறன் கொண்ட மற்றும் நீடித்து உழைக்கும் ஒரு மேற்பரப்பை உருவாக்குகிறது.
பெரும்பாலான வேதியியல் தனிமங்களை வேதியியல் குழுக்களுடன் இணைப்பதன் மூலம் ஆவியாக்க முடியும். எடுத்துக்காட்டாக, Si ஆனது H உடன் வினைபுரிந்து SiH4-ஐயும், Al ஆனது CH3 உடன் இணைந்து Al(CH3)-ஐயும் உருவாக்குகிறது. வெப்ப CVD செயல்முறையில், மேற்கூறிய வாயுக்கள் சூடாக்கப்பட்ட அடித்தளத்தின் வழியாகச் செல்லும்போது ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வெப்ப ஆற்றலை உறிஞ்சி, மீண்டும்...
வேதி ஆவிப் படிவு (CVD). பெயர் குறிப்பிடுவது போல, இது அணு மற்றும் மூலக்கூறிடை வேதி வினைகள் மூலம் திடப் படலங்களை உருவாக்க, வாயு நிலையில் உள்ள முன்னோடி வினைபடு பொருள்களைப் பயன்படுத்தும் ஒரு நுட்பமாகும். PVD-யைப் போலல்லாமல், CVD செயல்முறை பெரும்பாலும் உயர் அழுத்த (குறைந்த வெற்றிட) சூழலில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, ...
3. அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையின் தாக்கம்: சவ்வு வளர்ச்சிக்கு அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை ஒரு முக்கியமான நிபந்தனையாகும். இது சவ்வு அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறுகளுக்குக் கூடுதல் ஆற்றலை வழங்குகிறது, மேலும் முக்கியமாக சவ்வின் கட்டமைப்பு, திரள் குணகம், விரிவாக்க குணகம் மற்றும் திரட்சி ஆகியவற்றைப் பாதிக்கிறது...
ஒளியியல் மென்படல சாதனங்களின் உற்பத்தி ஒரு வெற்றிட அறையில் மேற்கொள்ளப்படுகிறது, மேலும் படல அடுக்கின் வளர்ச்சி ஒரு நுண்ணிய செயல்முறையாகும். இருப்பினும், தற்போது, நேரடியாகக் கட்டுப்படுத்தக்கூடிய பேரளவு செயல்முறைகள் என்பவை, தரத்துடன் மறைமுகத் தொடர்பு கொண்ட சில பேரளவு காரணிகளே ஆகும்...
உயர் வெற்றிடச் சூழலில் திடப் பொருட்களைச் சூடுபடுத்தி, அவற்றை பதங்கமாக்கி அல்லது ஆவியாக்கி, ஒரு குறிப்பிட்ட அடித்தளத்தின் மீது படியவைத்து ஒரு மெல்லிய படலத்தைப் பெறும் செயல்முறை, வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு (ஆவியாதல் பூச்சு எனவும் குறிப்பிடப்படுகிறது) என்று அழைக்கப்படுகிறது. வெற்றிட ஆவியாதல் மூலம் மெல்லிய படலங்களைத் தயாரிப்பதன் வரலாறு...
இண்டியம் டின் ஆக்சைடு (ITO எனக் குறிப்பிடப்படுகிறது) என்பது ஒரு அகன்ற பட்டை இடைவெளி கொண்ட, அதிக அளவில் மாசு கலக்கப்பட்ட n-வகை குறைக்கடத்திப் பொருளாகும். இது அதிகக் கண்ணுக்குப் புலப்படும் ஒளி ஊடுருவல் மற்றும் குறைந்த மின்தடைப் பண்புகளைக் கொண்டிருப்பதால், சூரிய மின்கலங்கள், தட்டையான திரைக்காட்சிகள், எலக்ட்ரோகுரோமிக் சாளரங்கள், கனிம மற்றும் கரிமப் பொருட்கள் போன்றவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
ஆய்வக வெற்றிட சுழல் பூச்சுக் கருவிகள், மென்படலப் படிவு மற்றும் மேற்பரப்பு மாற்றியமைத்தல் துறையில் முக்கியமான கருவிகளாகும். இந்த மேம்பட்ட உபகரணம், பல்வேறு வகையான பொருட்களின் மென்படலங்களை அடி மூலக்கூறுகளில் துல்லியமாகவும் சீராகவும் பூசுவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இந்தச் செயல்முறையில் ஒரு திரவக் கரைசல் அல்லது கூழ்மத்தைப் பூசுவது அடங்கும்...
அயனி கற்றை உதவியுடனான படிவு முறையில் இரண்டு முக்கிய முறைகள் உள்ளன, ஒன்று டைனமிக் ஹைப்ரிட்; மற்றொன்று ஸ்டேடிக் ஹைப்ரிட். முந்தைய முறையில், படலத்தின் வளர்ச்சிச் செயல்பாட்டில், ஒரு குறிப்பிட்ட ஆற்றல் மற்றும் அயனித் தாக்குதலின் கற்றை மின்னோட்டம் ஆகியவை எப்போதும் உடன் இருக்கும்; பிந்தைய முறையில், படலம் மேற்பரப்பில் முன்கூட்டியே படியவைக்கப்படுகிறது...