Guud ahaan, CVD waxaa loo qaybin karaa laba nooc: mid waa sheyga keliya ee ku jira kaydinta uumiga substrate-ka ee lakabka epitaxial-ka ee hal-kristaalka ah, kaas oo si cidhiidhi ah u ah CVD; kan kalena waa dhigista filimada khafiifka ah ee ku yaal substrate-ka, oo ay ku jiraan filimaan badan oo wax soo saar leh iyo kuwo aan qaab lahayn. Sida laga soo xigtay t...
Tan waxaan ka caddeyneynaa: (1) aaladaha filimada khafiifka ah, gudbinta, muuqaalka milicsiga iyo midabka xiriirka u dhigma ee u dhexeeya, taas oo ah, muuqaalka midabka; lidkeeda, xiriirkani "ma aha mid gaar ah", oo u muuqda midabyo badan. Sidaa darteed, filimka '...
Inta badan curiyayaasha kiimikada waxaa lagu uumi saari karaa iyadoo lagu daro kooxo kiimiko ah, tusaale ahaan Si wuxuu la falgalaa H si uu u sameeyo SiH4, Al-na wuxuu la falgalaa CH3 si uu u sameeyo Al(CH3). Habka CVD ee kuleylka, gaasaska kor ku xusan waxay nuugaan xaddi gaar ah oo tamar kuleyl ah marka ay dhex maraan substrate-ka kulul oo ay sameeyaan dib-u-habayn...
Kala-soocidda Uumiga Kiimikada (CVD). Sida magacu tilmaamayo, waa farsamo adeegsata falgalayaasha gaaska ee hormoodka ah si loo soo saaro filimaan adag iyadoo la adeegsanayo falgallada kiimikada ee atomiga iyo kuwa isku-xidhka ah. Si ka duwan PVD, habka CVD waxaa inta badan lagu sameeyaa jawi cadaadis sare (vacuum hoose), oo...
Soo saarista aaladaha filimada khafiifka ah ee indhaha waxaa lagu sameeyaa qol faaruq ah, koritaanka lakabka filimkuna waa hab yar yar. Si kastaba ha ahaatee, hadda, hababka macroscopic-ga ee si toos ah loo xakamayn karo waa arrimo macroscopic ah oo xiriir dadban la leh tayada...
Habka lagu kululeeyo walxaha adag jawi faakiyuum sare leh si loo nuugo ama loo uumi-baxo oo loogu shubo substrate gaar ah si loo helo filim khafiif ah waxaa loo yaqaan dahaarka uumi-baxa faakiyuumka (oo loo yaqaan dahaarka uumi-baxa). Taariikhda diyaarinta filimada khafiifka ah ee uumi-baxa faakiyuumka...