Ý nghĩa của bơm chân không

Thu chân không còn được gọi là “bơm chân không”, tức là sử dụng các loại bơm chân không khác nhau để loại bỏ không khí bên trong bình chứa, để áp suất bên trong không gian giảm xuống dưới một atm. Hiện nay, để có được chân không và các thiết bị thường dùng bao gồm bơm chân không cơ học cánh quạt quay, bơm Roots, bơm khuếch tán dầu, bơm phân tử composite, bơm hấp phụ sàng phân tử, bơm thăng hoa titan, bơm ion phun và bơm đông lạnh, v.v. Trong các loại bơm này, bốn loại bơm đầu tiên được phân loại là bơm chuyển khí (bơm chân không chuyển), nghĩa là các phân tử khí liên tục được hút vào bơm chân không và thải ra môi trường bên ngoài để thực hiện quá trình hút chân không; bốn loại bơm cuối cùng được phân loại là bơm thu khí (bơm chân không thu), được ngưng tụ phân tử hoặc liên kết hóa học trên thành trong của buồng bơm để thu được chân không cần thiết. Bơm thu khí còn được gọi là bơm chân không không dầu vì chúng không sử dụng dầu làm môi trường làm việc. Không giống như máy bơm chuyển khí, loại bỏ khí vĩnh viễn, một số máy bơm thu khí có thể đảo ngược, cho phép khí thu được hoặc ngưng tụ được xả trở lại hệ thống trong quá trình gia nhiệt.
Bơm chân không chuyển giao được chia thành hai loại chính: bơm thể tích và bơm động lượng. Bơm chuyển giao thể tích thường bao gồm bơm cơ học cánh quạt quay, bơm vòng chất lỏng, bơm pittông và bơm Roots; bơm chân không chuyển giao động lượng thường bao gồm bơm phân tử, bơm phản lực, bơm khuếch tán dầu. Bơm chân không thu hồi thường bao gồm bơm ion hấp phụ và phun nhiệt độ thấp.
Nhìn chung, quá trình phủ là khác nhau, buồng phủ chân không chân không nên đạt đến các mức độ khác nhau, và trong công nghệ chân không, nhiều hơn đến chân không nền (còn được gọi là chân không nội tại) để thể hiện mức độ của nó. Chân không nền đề cập đến chân không của buồng phủ chân không thông qua bơm chân không để đáp ứng nhu cầu của quá trình phủ chân không cao nhất, và kích thước của chân không này, chủ yếu phụ thuộc vào khả năng bơm chân không. Phòng phủ chân không bằng hệ thống chân không của nó chân không có thể đạt đến chân không cao nhất được gọi là chân không giới hạn (hoặc áp suất giới hạn). Bảng 1-2 liệt kê phạm vi áp suất làm việc của một số bơm chân không thông thường và áp suất cực đại có thể đạt được. Các phần tô bóng của bảng biểu thị áp suất có thể đạt được bằng từng bơm chân không khi sử dụng kết hợp với các thiết bị khác.

– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa