Vakuum olish, shuningdek, "vakuum nasosi" deb nomlanadi, bu idish ichidagi havoni olib tashlash uchun turli vakuum nasoslaridan foydalanishni anglatadi, shunda bo'shliq ichidagi bosim bir atmosferadan pastga tushadi. Hozirgi vaqtda vakuum va tez-tez ishlatiladigan asboblarni olish uchun aylanadigan qanotli mexanik vakuum nasoslari, ildiz nasoslari, yog 'diffuziya nasoslari, kompozit molekulyar nasoslar, molekulyar elak adsorbsion nasoslari, titanium sublimatsiya nasoslari, ionli ion nasoslari va kriyojenik nasoslar va boshqalar. Ushbu nasoslarda dastlabki to'rtta nasos gaz uzatish nasoslari (transfer vakuum nasoslari) deb tasniflanadi, ya'ni gaz molekulalari doimiy ravishda vakuum pompasiga so'riladi va evakuatsiyani amalga oshirish uchun tashqi muhitga chiqariladi; oxirgi to'rtta nasos gazni ushlash nasoslari (tutib olish vakuum nasoslari) deb tasniflanadi, ular molekulyar kondensatsiyalangan yoki kerakli vakuumni olish uchun nasos kamerasining ichki devoriga kimyoviy bog'langan. Gazni ushlab turadigan nasoslar, shuningdek, yog'siz vakuum nasoslari deb ataladi, chunki ular neftni ishlaydigan vosita sifatida ishlatmaydi. Gazni doimiy ravishda olib tashlaydigan o'tkazuvchi nasoslardan farqli o'laroq, ba'zi ushlash nasoslari teskari bo'lib, isitish jarayonida yig'ilgan yoki kondensatsiyalangan gazni tizimga qaytarib yuborishga imkon beradi.
Transfer vakuum nasoslari ikkita asosiy toifaga bo'linadi: volumetrik va impuls uzatish. Volumetrik uzatish nasoslari odatda aylanma qanotli mexanik nasoslarni, suyuq halqali nasoslarni, pistonli nasoslarni va Roots nasoslarini o'z ichiga oladi; momentum uzatish vakuum nasoslari odatda molekulyar nasoslarni, reaktiv nasoslarni, yog 'diffuziya nasoslarini o'z ichiga oladi. Qo'lga olish vakuum nasoslari odatda past haroratli adsorbsion va ionli ion nasoslarini o'z ichiga oladi.
Umuman olganda, qoplama jarayoni boshqacha, vakuumli qoplama kamerasining vakuumi turli darajalarga yetishi kerak va vakuum texnologiyasida uning darajasini ifodalash uchun fon vakuumiga (shuningdek, ichki vakuum sifatida ham tanilgan) ko'proq. Fon vakuum eng yuqori vakuumning qoplama jarayoni ehtiyojlarini qondirish uchun vakuum nasosi orqali vakuumli qoplama kamerasining vakuumini va bu vakuumning o'lchamini, asosan, vakuum nasosining quvvatiga bog'liqligini anglatadi. Vakuumli qoplama xonasi vakuum tizimi orqali vakuum eng yuqori vakuumga etib borishi mumkin bo'lgan chegara vakuum (yoki chegara bosimi) deb ataladi. 1-2-jadvalda ba'zi umumiy vakuum nasoslarining ish bosimi diapazoni va olinishi mumkin bo'lgan yakuniy bosim ko'rsatilgan. Jadvalning soyali qismlari boshqa uskunalar bilan birgalikda foydalanilganda har bir vakuum pompasi tomonidan olinishi mumkin bo'lgan bosimlarni ifodalaydi.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Yuborilgan vaqt: 2024 yil 30-avgust