عام طور پر سی وی ڈی کے رد عمل اعلی درجہ حرارت پر انحصار کرتے ہیں، اس لیے تھرمل طور پر پرجوش کیمیائی بخارات جمع (TCVD) کہا جاتا ہے۔ یہ عام طور پر غیر نامیاتی پیشگی استعمال کرتا ہے اور گرم دیوار اور کولڈ وال ری ایکٹر میں انجام دیا جاتا ہے۔ اس کے گرم طریقوں میں ریڈیو فریکوئنسی (RF) ہیٹنگ، انفراریڈ ریڈی ایشن ہیٹنگ، ریزسٹنس ہیٹنگ وغیرہ شامل ہیں۔
گرم دیوار کیمیائی بخارات کا ذخیرہ
درحقیقت، گرم دیوار کیمیائی بخارات جمع کرنے والا ری ایکٹر ایک تھرموسٹیٹک فرنس ہے، جسے عام طور پر مزاحمتی عناصر سے گرم کیا جاتا ہے، وقفے وقفے سے پیداوار کے لیے۔ چپ ٹول کوٹنگ کے لیے گرم دیوار کیمیکل بخارات جمع کرنے کی پیداواری سہولت کی ڈرائنگ مندرجہ ذیل کے طور پر دکھائی گئی ہے۔ یہ گرم دیوار کیمیائی بخارات کا ذخیرہ TiN، TiC، TiCN اور دیگر پتلی فلموں کو کوٹ کر سکتا ہے۔ ری ایکٹر کو کافی بڑا بنانے کے لیے ڈیزائن کیا جا سکتا ہے اور پھر بڑی تعداد میں اجزاء کو پکڑا جا سکتا ہے، اور حالات کو جمع کرنے کے لیے بہت درست طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔ تصویر 1 سیمی کنڈکٹر ڈیوائس پروڈکشن کے سلکان ڈوپنگ کے لیے ایپیٹیکسیل لیئر ڈیوائس دکھاتی ہے۔ فرنس میں سبسٹریٹ کو عمودی سمت میں رکھا جاتا ہے تاکہ ذرات کے ذریعہ جمع ہونے والی سطح کی آلودگی کو کم کیا جاسکے، اور پیداوار کی لوڈنگ میں بہت زیادہ اضافہ ہو۔ سیمی کنڈکٹر کی پیداوار کے لیے گرم دیوار والے ری ایکٹر عام طور پر کم دباؤ پر چلائے جاتے ہیں۔
پوسٹ ٹائم: نومبر-08-2022