1. آئن بیم سپٹرنگ کوٹنگ
مواد کی سطح پر ایک درمیانی توانائی والے آئن بیم سے بمباری کی جاتی ہے، اور آئنوں کی توانائی مواد کی کرسٹل جالی میں داخل نہیں ہوتی ہے، بلکہ توانائی کو ہدف والے ایٹموں میں منتقل کرتی ہے، جس کی وجہ سے وہ مواد کی سطح سے دور ہو جاتے ہیں، اور پھر ورک پیس پر جمع ہو کر ایک پتلی فلم بنتی ہے۔ آئن بیم کے ذریعہ پیدا ہونے والے پھٹنے کی وجہ سے، اسپٹرڈ فلم پرت کے ایٹموں کی توانائی بہت زیادہ ہوتی ہے، اور ٹارگٹ میٹریل کو آئن بیم کے ساتھ ایک اونچے خلا میں بمباری کی جاتی ہے، فلمی پرت کی پاکیزگی زیادہ ہوتی ہے، اور اعلیٰ معیار کی فلمیں جمع کی جاسکتی ہیں، جبکہ آئن بیم فلم کی پرت کا استحکام بہتر ہوتا ہے، جس سے فلمی پرت کے مقاصد کو حاصل کیا جاسکتا ہے۔ آئن بیم سپٹرنگ کا مقصد نئی پتلی فلمی مواد بنانا ہے۔
2. آئن بیم اینچنگ
آئن بیم اینچنگ بھی مواد کی سطح کی ایک درمیانی توانائی کی آئن بیم بمباری ہے جس سے سبسٹریٹ پر پھٹنا، اینچنگ اثر پیدا ہوتا ہے، یہ ایک سیمی کنڈکٹر ڈیوائس، آپٹو الیکٹرانک ڈیوائسز اور گرافکس کور ٹیکنالوجی کی پیداوار کے دیگر شعبوں میں ہے۔ سیمی کنڈکٹر انٹیگریٹڈ سرکٹس میں چپس کی تیاری کی ٹیکنالوجی میں Φ12in (Φ304.8mm) کے قطر والے سنگل کرسٹل سلکان ویفر پر لاکھوں ٹرانزسٹروں کی تیاری شامل ہے۔ ہر ٹرانجسٹر کو مختلف افعال کے ساتھ پتلی فلموں کی متعدد تہوں سے بنایا گیا ہے، جس میں ایک فعال تہہ، ایک موصل تہہ، ایک الگ تھلگ تہہ، اور ایک ترسیلی تہہ شامل ہے۔ ہر فنکشنل پرت کا اپنا پیٹرن ہوتا ہے، لہذا فنکشنل فلم کی ہر پرت چڑھانے کے بعد، بیکار پرزوں کو آئن بیم کے ساتھ کھینچنے کی ضرورت ہوتی ہے، جس سے فلم کے مفید اجزاء برقرار رہتے ہیں۔ آج کل، چپ کی تار کی چوڑائی 7 ملی میٹر تک پہنچ گئی ہے، اور اس طرح کے عمدہ پیٹرن کو تیار کرنے کے لیے آئن بیم کی اینچنگ ضروری ہے۔ آئن بیم اینچنگ ایک خشک اینچنگ طریقہ ہے جس میں شروع میں استعمال ہونے والے گیلے اینچنگ طریقہ کے مقابلے میں اعلی اینچنگ کی درستگی ہے۔
آئن بیم اینچنگ ٹیکنالوجی غیر فعال آئن بیم اینچنگ کے ساتھ اور ایکٹو آئن بیم اینچنگ دو قسم کے ساتھ۔ آرگن آئن بیم ایچنگ کے ساتھ سابقہ، جسمانی ردعمل سے تعلق رکھتا ہے؛ فلورین آئن بیم کے پھٹنے کے ساتھ مؤخر الذکر، فلورین آئن بیم کے علاوہ ٹرامپ کا کردار پیدا کرنے کے لیے ہائی انرجی، فلورین آئن بیم کو بھی SiO کے ساتھ اینچ کیا جا سکتا ہے۔2"سی3N4、GaAs、W اور دیگر پتلی فلموں میں کیمیائی رد عمل ہوتا ہے، یہ دونوں جسمانی رد عمل کا عمل ہے، بلکہ آئن بیم اینچنگ ٹیکنالوجی کا کیمیائی رد عمل بھی ہے، اینچنگ کی شرح تیز ہے۔ ری ایکشن اینچنگ corrosive گیسیں CF ہیں۔4سی2F6CCl4، BCl3وغیرہ، ایس آئی ایف کے لیے پیدا کردہ ری ایکٹنٹس4SiCl4جی سی ایل3؛، اور ڈبلیو ایف6 corrosive گیسوں کو نکالا جاتا ہے. آئن بیم اینچنگ ٹیکنالوجی ہائی ٹیک مصنوعات تیار کرنے کے لیے کلیدی ٹیکنالوجی ہے۔
-یہ مضمون کی طرف سے جاری کیا گیا ہےویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا
پوسٹ ٹائم: اکتوبر 24-2023