Отримання вакууму також відоме як «вакуумне відкачування», що означає використання різних вакуумних насосів для видалення повітря всередині контейнера, завдяки чому тиск усередині простору падає нижче однієї атмосфери. Наразі для отримання вакууму широко використовуються такі пристрої, як роторно-лопатеві механічні вакуумні насоси, насоси Рутса, масляні дифузійні насоси, композитні молекулярні насоси, молекулярно-ситові адсорбційні насоси, титанові сублімаційні насоси, розпилювальні іонні насоси та кріогенні насоси тощо. У цих насосах перші чотири насоси класифікуються як газоперекачувальні насоси (трансферні вакуумні насоси), що означає, що молекули газу безперервно всмоктуються у вакуумний насос і скидаються у зовнішнє середовище для здійснення відкачки; останні чотири насоси класифікуються як газоуловлювальні насоси (уловлювальні вакуумні насоси), які молекулярно конденсуються або хімічно зв'язуються на внутрішній стінці насосної камери для отримання необхідного вакууму. Газоуловлювальні насоси також називаються безмасляними вакуумними насосами, оскільки вони не використовують олію як робоче тіло. На відміну від транспортних насосів, які постійно видаляють газ, деякі уловлювальні насоси є оборотними, що дозволяє зібраному або конденсованому газу скидатися назад у систему під час процесу нагрівання.
Вакуумні насоси для перекачування поділяються на дві основні категорії: об'ємні та насоси для перекачування імпульсу. Об'ємні насоси для перекачування зазвичай включають роторно-лопаткові механічні насоси, рідиннокільцеві насоси, поршневі насоси та насоси Рутса; вакуумні насоси для перекачування імпульсу зазвичай включають молекулярні насоси, струменеві насоси, масляні дифузійні насоси. Вакуумні насоси для захоплення зазвичай включають низькотемпературні адсорбційні та розпилювальні іонні насоси.
Загалом, процес нанесення покриттів відрізняється, рівень вакууму у вакуумній камері для нанесення покриттів повинен досягати різних рівнів, а у вакуумній технології це скоріше фоновий вакуум (також відомий як внутрішній вакуум). Фоновий вакуум – це вакуум, який створюється вакуумною камерою для нанесення покриттів за допомогою вакуумного насоса, щоб задовольнити потреби процесу нанесення покриттів при найвищому вакуумі, а розмір цього вакууму головним чином залежить від потужності вакуумного насоса. Найвищий вакуум у вакуумній камері для нанесення покриттів завдяки своїй вакуумній системі називається граничним вакуумом (або граничним тиском). У таблиці 1-2 наведено діапазон робочого тиску деяких поширених вакуумних насосів та граничний тиск, який можна отримати. Затінені частини таблиці представляють тиск, який може бути отриманий кожним вакуумним насосом у поєднанні з іншим обладнанням.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 30 серпня 2024 р.