ئادەتتە CVD رېئاكسىيەسى يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا تايىنىدۇ ، شۇڭا ئىسسىقلىق ھاياجانلانغان خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (TCVD) دەپ ئاتىلىدۇ. ئۇ ئادەتتە ئانئورگانىك ئالدىنئالا ئىشلىتىدۇ ھەمدە ئىسسىق تام ۋە سوغۇق تام رېئاكتورلىرىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ. ئۇنىڭ قىزىتىش ئۇسۇللىرى رادىئو چاستوتىسى (RF) قىزىتىش ، ئىنفىرا قىزىل نۇر بىلەن ئىسسىتىش ، قارشىلىق بىلەن ئىسسىتىش قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ.
قىزىق تام خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى
ئەمەلىيەتتە ، ئىسسىق تامدىكى خىمىيىلىك ھور چۆكۈش رېئاكتورى ئارىلاپ ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن ئىسسىقلىق ساقلاش ئوچىقى بولۇپ ، ئادەتتە قارشىلىق ئېلېمېنتى بىلەن قىزىتىلىدۇ. ئۆزەك قوراللىرىنى سىرلاش ئۈچۈن ئىسسىق تامدىكى خىمىيىلىك ھور چۆكۈش ئىشلەپچىقىرىش ئەسلىھەلىرىنىڭ سىزىلىشى تۆۋەندىكىدەك كۆرسىتىلدى. بۇ ئىسسىق تامدىكى خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى TiN ، TiC ، TiCN ۋە باشقا نېپىز پەردىلەرنى چاپلىيالايدۇ. رېئاكتورنى يېتەرلىك دەرىجىدە لايىھىلەپ ئاندىن نۇرغۇن زاپچاسلارنى ساقلىغىلى بولىدۇ ، ھەمدە چۆكۈش ئۈچۈن شارائىتنى كونترول قىلغىلى بولىدۇ. 1-رەسىمدە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى ئىشلەپچىقىرىشنىڭ كرېمنىيلىق دوپپا ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان بىر قەۋەت ئۈسكۈنىسى كۆرسىتىلدى. ئوچاقتىكى تارماق بالا تىك يۆنىلىشكە قويۇلۇپ ، چۆكمە يۈزىنىڭ زەررىچىلەر بىلەن بۇلغىنىشىنى ئازايتىدۇ ھەمدە ئىشلەپچىقىرىش يۈكىنى زور دەرىجىدە ئاشۇرىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى قىزىق تام رېئاكتورلىرى ئادەتتە تۆۋەن بېسىمدا مەشغۇلات قىلىدۇ.
يوللانغان ۋاقتى: 11-نويابىردىن 08-نويابىرغىچە