ئىئون لامپا پۈركۈش قەۋىتى ۋە ئىئون نۇر دەستىسى

1. ئىئون لامپا پۈركۈش قەۋىتى

ماتېرىيالنىڭ يۈزى ئوتتۇرا ئېنىرگىيىلىك ئىئون لامپىسى بىلەن بومبا پارتىلىتىلىدۇ ، ئىئوننىڭ ئېنېرگىيىسى ماتېرىيالنىڭ خرۇستال رېشاتكىسىغا كىرمەيدۇ ، ئەمما ئېنېرگىيىنى نىشان ئاتومغا يۆتكەپ ، ماتېرىيالنىڭ يۈزىدىن يىراقلاپ كېتىدۇ ، ئاندىن ئەسەرگە چۆكۈپ نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ. ئىئون لامپىسى ئىشلەپچىقارغان پۈركۈش سەۋەبىدىن ، پۈركۈلگەن پىلاستىنكا قەۋىتى ئاتوملىرىنىڭ ئېنېرگىيىسى ئىنتايىن يۇقىرى ، نىشان ماتېرىياللىرى يۇقىرى ۋاكۇئۇمدا ئىئون لامپىسى بىلەن بومبا پارتىلىتىلىدۇ ، كىنو قەۋىتىنىڭ ساپلىقى يۇقىرى ، ئەلا سۈپەتلىك كىنولارنى قويغىلى بولىدۇ ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، ئىئون نۇر دەستىسى قەۋىتىنىڭ مۇقىملىقى يۇقىرى كۆتۈرۈلۈپ ، كىنو قەۋىتىنىڭ ئوپتىكىلىق ۋە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيىتىنى ياخشىلاش مەقسىتىگە يېتىدۇ. ئىئون نۇر چېچىشنىڭ مەقسىتى يېڭى نېپىز پەردە ماتېرىياللىرىنى شەكىللەندۈرۈش.

2. Ion beam etching

ئىئون نۇر دەستىسى يەنە ماتېرىيالنىڭ يۈزىدىكى ئوتتۇرا ئېنېرگىيىلىك ئىئون نۇر بومبىسى بومبىسى بولۇپ ، يەر ئاستى قىسمىغا پۈركۈش ، قىچىشىش ئۈنۈمى ھاسىل قىلىدۇ ، ئۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىسى ، ئوپتىكىلىق ئېلېكتر ئۈسكۈنىلىرى ۋە گرافىكلىق يادرولۇق تېخنىكا ئىشلەپچىقىرىشنىڭ باشقا ساھەلىرى. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ بىر گەۋدىلەشتۈرۈلگەن توك يولىدىكى ئۆزەكلەرنى تەييارلاش تېخنىكىسى دىئامېتىرى 1212 (Φ304.8mm) بولغان يەككە كرىستال كرېمنىيلىق ۋافېردا مىليونلىغان ترانسېنىستور تەييارلاشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ھەر بىر ترانسېنىستور ئوخشىمىغان قاتلامدىكى نېپىز پەردىلەردىن ياسالغان بولۇپ ، ئاكتىپ قەۋەت ، ئىزولياتور قەۋىتى ، يەككە قەۋەت ۋە ئۆتكۈزگۈچ قەۋىتىدىن تەركىب تاپقان. ھەر بىر ئىقتىدارلىق قەۋەتنىڭ ئۆزىگە خاس ئەندىزىسى بولىدۇ ، شۇڭا ھەر بىر قەۋەت ئىقتىدارلىق پىلاستىنكا چاپلانغاندىن كېيىن ، پايدىسىز زاپچاسلارنى ئىئون لامپىسى بىلەن ئوراپ ، پايدىلىق فىلىم زاپچاسلىرىنى ساقلاپ قېلىش كېرەك. ھازىر ئۆزەكنىڭ سىم كەڭلىكى 7 مىللىمېتىرغا يەتتى ، بۇنداق ئېسىل ئەندىزە تەييارلاش ئۈچۈن ئىئون نۇر دەستىسى لازىم. ئىئون لامپۇچكىسى قۇرۇتۇش ئۇسۇلى بولۇپ ، باشتا ئىشلىتىلگەن ھۆل تەمرەتكە ئۇسۇلىغا سېلىشتۇرغاندا ، يۇقىرى قىرىش ئېنىقلىقى يۇقىرى.

ھەرىكەتچان ئىئون نۇر دەستىسى ۋە ئاكتىپ ئىئون نۇر دەستىسى بىلەن ئىككى خىل بولىدۇ. ئالدىنقىسى ئارگون ئىئون نۇر دەستىسى بىلەن فىزىكىلىق ئىنكاسقا تەۋە. كېيىنكىسى فتور ئىئون نۇر دەستىسى پۈركۈپ ، فتور ئىئون لامپىسى يۇقىرى ئېنېرگىيىدىن باشقا تىرامپنىڭ رولىنى ھاسىل قىلىدۇ ، فتور ئىئون نۇرىمۇ SiO بىلەن ئورالغان بولىدۇ.₂、 Si₃N4 、 GaAs 、 W ۋە باشقا نېپىز كىنولارنىڭ خىمىيىلىك ئىنكاسى بار ، ئۇ ھەم فىزىكىلىق ئىنكاس جەريانى ، شۇنداقلا ئىئون نۇر دەستىسى تېخنىكىسىنىڭ خىمىيىلىك رېئاكسىيە جەريانى ، چىرىش نىسبىتى تېز. رېئاكسىيىلىك چىرىتكۈچى گازلار CF₄、 C.₂F₆L CCl4 、 BCl₃قاتارلىقلار ، SiF ئۈچۈن ھاسىل قىلىنغان رېئاكتور₄、 SiCl₄、 GCl₃; 、 ۋە WF₆ چىرىتكۈچى گازلار چىقىرىلىدۇ. ئىئون يورۇتۇش تېخنىكىسى يۇقىرى تېخنىكىلىق مەھسۇلات ئىشلەپچىقىرىشتىكى ئاچقۇچلۇق تېخنىكا.

–بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا