3 argon. ماسلاشتۇرۇلغان پىلازما يۇقىرى سۈپەتلىك ئالماس پىلاستىنكىسىنى ئۆستۈرۈشكە ماس كەلمەيدۇ ، چۈنكى پلازمادىن ئىئون بومبا پارتىلاش ئالماسقا ئېغىر زىيان سالىدۇ. كۆپ قۇتۇپلۇق ئالماس پىلاستىنكىسى مىكرو دولقۇنلۇق پلازما CVD غا ئوخشاش چۆكۈش شارائىتىدا ئەركىن ئاسىيا رادىئوسى كەلتۈرۈپ چىقارغان پلازما ئارقىلىق ئۆستۈرۈلگەن.
(4) DC پلازما CVD
DC پلازمىسى ئالماس پەردىسىنىڭ ئۆسۈشى ئۈچۈن تەبىئىي گاز مەنبەسىنى قوزغىتىشنىڭ يەنە بىر ئۇسۇلى (ئادەتتە H2 ۋە ھىدرو كاربون گازىنىڭ ئارىلاشمىسى). DC پلازما ياردەم قىلغان CVD ئالماس پىلاستىنكىنىڭ چوڭ رايونلىرىنى يېتىشتۈرۈش ئىقتىدارىغا ئىگە ، ئۆسۈش كۆلىمىنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى پەقەت ئېلېكترودنىڭ چوڭ-كىچىكلىكى ۋە DC توك بىلەن تەمىنلىنىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا ، ھەرخىل DC ئەگمە ئۇسۇللىرى يۇقىرى سۈپەتلىك ئالماس پىلاستىنكىلارنى ئالماسنىڭ ئاستى قىسمىغا يۇقىرى چۆكۈش نىسبىتىدە ئامانەت قويالايدىغان بولغاچقا ، ئۇلار ئالماس پىلاستىنكىسىنى چۆكۈش ئۈچۈن بازار ئېچىش ئۇسۇلى بىلەن تەمىنلەيدۇ.
5 ئېلېكترون سىكلوترون رېزونانىس پلازمىسى يۇقىرى زىچلىقتىكى پلازما (> 1x1011cm-3) ئىشلەپچىقىرالايدىغان بولغاچقا ، ECR-MPECVD ئالماس پىلاستىنكىنىڭ ئۆسۈشى ۋە چۆكۈشىگە تېخىمۇ ماس كېلىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن ، ECR جەريانىدا ئىشلىتىلگەن تۆۋەن گاز بېسىمى (10-4 دىن 10-2 گىچە Torr) بولغاچقا ، ئالماس پىلاستىنكىلىرىنىڭ چۆكۈش نىسبىتى تۆۋەنلەيدۇ.
–بۇ ماقالە ۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچى گۇاڭدۇڭ جېنخۇا تەرىپىدىن تارقىتىلدى
يوللانغان ۋاقتى: Jun-19-2024