Спуттеринг - энергия кисәкчәләре (гадәттә газларның уңай ионнары) каты (аста максат материалы дип атала), максат материалы өслегендәге атомнар (яки молекулалар) аннан кача торган күренеш.
Бу күренеш Гров тарафыннан 1842-нче елда катод коррозиясен өйрәнү өчен эксперимент вакытында вакуум трубасы стенасына күчерелгәндә ачылган. Нечкә пленкаларның субстрат чүпләнүендәге бу бөтерелү ысулы 1877-нче елда ачылган, бу ысул куллану аркасында нечкә фильмнарның чуалыш тизлеге түбән, әкрен кино тизлеге, югары басым җайланмасында урнаштырылырга тиеш, эффектив газга һәм башка проблемалар сериясенә үтәргә тиеш, шуңа күрә химик реактив кыйммәтле металллар, рефлекторлы металллар, химик реактив кыйммәтле металллар, химик реактив кыйммәтле металллар, химик реактив кыйммәтле металллар, рефлектив металллар, рефлектив металллар, рефлектив металллар, рефлектив металллар. 1970-нче елларга кадәр, магнитрон спуттеринг технологиясе барлыкка килү аркасында, шакмак каплау тиз эшләнде, юлның яңарышына керә башлады. Чөнки магнитронны таркату ысулы электроннардагы ортогональ электромагнит кыры белән чикләнергә мөмкин, электроннар һәм газ молекулалары бәрелешү ихтималын арттыра, катодка кушылган көчәнешне киметеп кенә калмый, максатлы катодта уңай ионнарның таралу тизлеген яхшырта, түбән температураны түбәнәйтә, югары температураны түбән һәм түбән температурада.
1980-нче елларга, дистә ел гына күренсә дә, ул лабораториядән аерылып тора, индустриальләштерелгән массакүләм җитештерү өлкәсендә. Фән һәм технологиянең алга таба үсеше белән, соңгы елларда бөтерелгән каплау өлкәсендә һәм ион нуры көчәйтелгән бөтерелү, магнит кыры модуляциясе һәм яңа диплом режимыннан торган гадәти дипол спуттериясе кушылуы белән көчле ток ион чыганагын куллану. һәм магнитрон чәчкән максат чыганагына арадаш ешлыкны алмаштыручы ток белән тәэмин итү кертеләчәк. Игезәк максатлы бөтерелү дип аталган бу урта ешлыктагы AC магнитрон спутинг технологиясе анодның "юкка чыгу" эффектын бетереп калмыйча, катодның "агулану" проблемасын да чишә, бу магнитрон бөтерелүенең тотрыклылыгын яхшырта һәм катлаулы нечкә фильмнарның индустриаль производствосы өчен ныклы нигез бирә. Бу магнитрон чәчүнең тотрыклылыгын шактый яхшыртты һәм катнаш нечкә пленкаларның индустриальләштерелгән производствосы өчен ныклы нигез бирде. Соңгы елларда вакуум каплау технологиясе өлкәсендә актив булган кино әзерләү кайнар технологиягә әйләнде.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 05-2023 декабрь