1. Ион нуры чәчелгән каплау
Материал өслеге урта энергияле ион нуры белән бомбардировать ителә, һәм ионнарның энергиясе материалның кристалл тактасына керми, ә энергияне максат атомнарына күчерә, һәм алар материал өслегеннән таралып китәләр, аннары эш кисәгенә урнаштырып нечкә пленка ясыйлар. Ион нуры җитештергән бөтерелү аркасында, атылган кино катламы атомнарының энергиясе бик югары, һәм максатлы материал югары вакуумда ион нуры белән бомбардировать ителә, кино катламының чисталыгы югары, һәм югары сыйфатлы фильмнар урнаштырыла ала, шул ук вакытта кино катламының оптик һәм механик үзлекләрен яхшырту максатына ирешә ала. Ион нурларын таркатуның максаты - яңа нечкә кино материаллары формалаштыру.
2. Ион нурлары
Ион нурларын эшкәртү шулай ук материалның өслеген уртача энергияле ион нуры белән бомбардировать итү, субстратка эфир эффекты ясау, ярымүткәргеч җайланма, оптоэлектрон җайланмалар һәм график үзәк технология җитештерүнең башка өлкәләре. Ярымүткәргеч интеграль схемалардагы чиплар өчен әзерләү технологиясе диаметры Φ12ин (Φ304,8 мм) булган бер кристалл кремний вафатында миллионлаган транзистор әзерләүне үз эченә ала. Eachәр транзистор төрле катламлы нечкә фильмнарның берничә катыннан, актив катлам, изоляцион катлам, изоляция катламы һәм үткәргеч катламнан тора. Eachәрбер функциональ катламның үз үрнәге бар, шуңа күрә функциональ фильмның һәр катламы капланганнан соң, файдасыз өлешләрне ион нуры белән чыгарырга кирәк, файдалы кино компонентларын саклап калу. Хәзерге вакытта чипның чыбык киңлеге 7 ммга җитте, һәм шундый матур үрнәк әзерләү өчен ион нурларын чистарту кирәк. Ион нурларын чистарту - башында кулланылган дымлы эфир ысулы белән чагыштырганда, югары төгәллек белән коры чистарту ысулы.
Ион нурларын эшкәртү технологиясе, актив булмаган ион нурлары һәм ике төрле актив ион нурлары. Элеккеге аргон ион нурлары белән физик реакциягә карый; соңгысы фтор ион нуры белән бөтерелү, фтор ион нуры трамвай ролен чыгару өчен югары энергиягә өстәп, фтор ион нуры SiO белән дә чыгарылырга мөмкин.2、 Si3N4 、 GaAs 、 W һәм башка нечкә фильмнар химик реакциягә ия, ул физик реакция процессы, шулай ук ион нурларын эшкәртү технологиясенең химик реакция процессы, эфир тизлеге тиз. Коррозив газлар реакциясе4、 C.2F6、 CCl4 、 BCl3, һ.б., SiF өчен ясалган реакторлар4、 SiCl4、 GCl3; 、 Һәм WF6 коррозив газлар чыгарыла. Ион нурларын эшкәртү технологиясе - югары технологияле продуктлар җитештерү өчен төп технология.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 24-2023 октябрь