. argon.Капассив кушылган плазма югары сыйфатлы бриллиант фильмнар үстерү өчен яраксыз, чөнки плазмадан ион бомбардиры алмазга зур зыян китерергә мөмкин. Поликристалл бриллиант фильмнар CVD микродулкынлы плазмага охшаган шартларда RF индуктив плазмасы ярдәмендә үстерелгән. Гомоген эпитаксиаль бриллиант фильмнары шулай ук RF-плазмалы көчәйтелгән CVD ярдәмендә алынган.
(4) Плазмалы CVD
DC плазмасы - газ чыганагын активлаштыруның тагын бер ысулы (гадәттә H2, һәм углеводород газы) бриллиант пленка үсеше өчен. DC плазма ярдәмендә CVD бриллиант пленкаларның зур мәйданнарын үстерә ала, һәм үсеш мәйданының зурлыгы электродлар һәм DC электр белән тәэмин итү күләме белән чикләнә. Моннан тыш, төрле DC аркалы ысуллар югары сыйфатлы бриллиант фильмнарны бриллиант булмаган субстратларга югары чүплек ставкаларында урнаштыра алганга, алар бриллиант пленкаларын урнаштыру өчен базарлы ысул белән тәэмин итәләр.
. Электрон циклотрон резонанс плазмасы югары тыгызлыктагы плазманы (> 1х1011см-3) ясый алганлыктан, ECR-MPECVD бриллиант пленкаларның үсүе һәм урнашуы өчен кулайрак. Ләкин, түбән газ басымы аркасында (10-4-10-2 Торр), ECR процессында кулланылган, бриллиант пленкалар лабораториясе лабораториясе өчен яраклы.
IsБу мәкалә вакуум каплау машинасы җитештерүче Гуандун Чжэнхуа тарафыннан чыгарыла
Пост вакыты: 19-2024 июнь