Vakum elde etme, aynı zamanda "vakum pompalama" olarak da bilinir ve bu, kabın içindeki havayı çıkarmak için farklı vakum pompalarının kullanılmasını ifade eder, böylece boşluktaki basınç bir atmosferin altına düşer. Şu anda, vakumu elde etmek için döner kanatlı mekanik vakum pompaları, Roots pompaları, yağ difüzyon pompaları, kompozit moleküler pompalar, moleküler elek adsorpsiyon pompaları, titanyum süblimasyon pompaları, püskürtme iyon pompaları ve kriyojenik pompalar vb. dahil olmak üzere yaygın olarak kullanılan cihazlar kullanılmaktadır. Bu pompalarda, ilk dört pompa gaz transfer pompaları (transfer vakum pompaları) olarak kategorize edilir, bu da gaz moleküllerinin sürekli olarak vakum pompasına emildiği ve tahliyeyi gerçekleştirmek için dış ortama boşaltıldığı anlamına gelir; son dört pompa, gerekli vakumu elde etmek için pompalama odasının iç duvarında moleküler olarak yoğunlaştırılan veya kimyasal olarak bağlanan gaz yakalama pompaları (yakalama vakum pompaları) olarak kategorize edilir. Gaz yakalama pompalarına ayrıca yağsız vakum pompaları da denir çünkü çalışma ortamı olarak yağ kullanmazlar. Gazı kalıcı olarak uzaklaştıran transfer pompalarının aksine, bazı yakalama pompaları geri dönüşümlüdür ve ısıtma işlemi sırasında toplanan veya yoğunlaşan gazın sisteme geri boşaltılmasına olanak tanır.
Transfer vakum pompaları iki ana kategoriye ayrılır: hacimsel ve momentum transferi. Hacimsel transfer pompaları genellikle döner kanatlı mekanik pompalar, sıvı halka pompaları, alternatif pompalar ve Roots pompalarını içerir; momentum transfer vakum pompaları genellikle moleküler pompalar, jet pompaları, yağ difüzyon pompalarını içerir. Yakalama vakum pompaları genellikle düşük sıcaklıklı adsorpsiyon ve püskürtme iyon pompalarını içerir.
Genel olarak, kaplama işlemi farklıdır, vakum kaplama odası vakumu farklı seviyelere ulaşmalı ve vakum teknolojisinde, seviyesini ifade etmek için daha çok arka plan vakumuna (içsel vakum olarak da bilinir) ihtiyaç vardır. Arka plan vakumu, kaplama işleminin ihtiyaçlarını karşılamak için vakum pompası aracılığıyla vakum kaplama odasının vakumunu ifade eder ve bu vakumun büyüklüğü, esas olarak vakum pompalama kapasitesine bağlıdır. Vakum kaplama odası vakum sistemi vakumu ile en yüksek vakuma ulaşabilir, buna limit vakum (veya limit basıncı) denir. Tablo 1-2, bazı yaygın vakum pompalarının çalışma basınç aralığını ve elde edilebilecek nihai basıncı listeler. Tablonun gölgeli kısımları, diğer ekipmanlarla birlikte kullanıldığında her vakum pompası tarafından elde edilebilecek basınçları temsil eder.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 30-Ağu-2024