Ang pagkuha ng vacuum ay kilala rin bilang "vacuum pumping", na tumutukoy sa paggamit ng iba't ibang mga vacuum pump upang alisin ang hangin sa loob ng lalagyan, upang ang presyon sa loob ng espasyo ay bumaba sa ibaba ng isang kapaligiran. Sa kasalukuyan, para makuha ang vacuum at karaniwang ginagamit na mga device kabilang ang rotary vane mechanical vacuum pump, Roots pump, oil diffusion pump, composite molecular pump, molecular sieve adsorption pump, titanium sublimation pump, sputtering ion pump at cryogenic pump at iba pa. Sa mga bombang ito, ang unang apat na bomba ay ikinategorya bilang mga gas transfer pump (mga transfer vacuum pump), na nangangahulugan na ang mga molekula ng gas ay patuloy na sinisipsip sa vacuum pump at idinidiskarga sa panlabas na kapaligiran upang mapagtanto ang paglisan; ang huling apat na pump ay ikinategorya bilang gas capture pump (capture vacuum pumps), na molecularly condensed o chemically bonded sa panloob na dingding ng pumping chamber para makuha ang kinakailangang vacuum. Ang mga gas-capture pump ay tinatawag ding oil-free vacuum pump dahil hindi sila gumagamit ng langis bilang isang gumaganang medium. Hindi tulad ng mga transfer pump, na permanenteng nag-aalis ng gas, ang ilang mga capture pump ay nababaligtad, na nagpapahintulot sa nakolekta o condensed na gas na mailabas pabalik sa system sa panahon ng proseso ng pag-init.
Ang mga transfer vacuum pump ay nahahati sa dalawang pangunahing kategorya: volumetric at momentum transfer. Karaniwang kinabibilangan ng mga volumetric transfer pump ang rotary vane mechanical pump, liquid ring pump, reciprocating pump at Roots pump; Ang mga vacuum pump ng paglipat ng momentum ay kadalasang kinabibilangan ng mga molecular pump, jet pump, oil diffusion pump. Karaniwang may kasamang low-temperature adsorption at sputtering ion pump ang mga capture vacuum pump.
Sa pangkalahatan, ang proseso ng patong ay naiiba, ang vacuum coating chamber vacuum ay dapat umabot sa iba't ibang antas, at sa teknolohiya ng vacuum, higit pa sa background vacuum (kilala rin bilang intrinsic vacuum) upang ipahayag ang antas nito. Ang background vacuum ay tumutukoy sa vacuum ng vacuum coating chamber sa pamamagitan ng vacuum pump upang matugunan ang mga pangangailangan ng proseso ng coating ng pinakamataas na vacuum, at ang laki ng vacuum na ito, higit sa lahat ay nakasalalay sa kapasidad ng vacuum pumping. Ang vacuum coating room sa pamamagitan ng vacuum system nito ay maaaring maabot ng vacuum ang pinakamataas na vacuum ay tinatawag na limit vacuum (o limit pressure). Inililista ng talahanayan 1-2 ang hanay ng gumaganang presyon ng ilang karaniwang mga vacuum pump at ang pinakamataas na presyon na maaaring makuha. Ang mga may kulay na bahagi ng talahanayan ay kumakatawan sa mga pressure na maaaring makuha ng bawat vacuum pump kapag ginamit kasama ng iba pang kagamitan.
–Ang artikulong ito ay inilabas ngtagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng post: Aug-30-2024