Wakuum bugarmak örtük tehnologiýasyny ornaşdyrmak

2 ap bugarmak ýyladyşy

(1) heatyladyşyň bugarmagyna garşylyk
Garşylykly ýyladyş bugarmagy iň ýönekeý we iň köp ulanylýan ýyladyş usulydyr, adatça 1500 below-dan pes eriş nokady bolan örtük materiallaryna, sim ýa-da list görnüşindäki ýokary eriş nokatlary (W, Mo, Ti, Ta, bor nitridi we ş.m.). Adatça bugarmak çeşmesiniň amatly görnüşine öwrülen, bugarma materiallary bilen ýüklenen, örtük materialyny eremek, bugarmak ýa-da sublimirlemek üçin elektrik togunyň Joule ýylylygy arkaly bugarmak çeşmesiniň görnüşi esasan köp hatar spiral, U görnüşli, sinus tolkunyny öz içine alýar. , inçe tabak, gaýyk, konus sebedi we ş.m. Şol bir wagtyň özünde, usul bugarmak çeşmesiniň materialynyň ýokary ereýän nokady, pes doýgun bug basyşy, durnukly himiki aýratynlyklary, ýokary temperaturada örtük materialy bilen himiki täsiri bolmazlygy talap edýär, gowy ýylylyga garşylyk, güýç dykyzlygynyň ownuk üýtgemegi we ş.m. Bugarmak çeşmesiniň üsti bilen ýokary ýylylygy kabul edýär we göni ýyladyş arkaly film materialyny bugarmak ýa-da film materialyny grafitden ýasalan we belli bir ýokary temperatura çydamly metal oksidleri (A202, B0) we bugarmak üçin gytaklaýyn ýyladyş üçin beýleki materiallar.
Garşylyk ýyladyş bugarmak örtüginiň çäklendirmeleri bar: refrakter metallaryň pes bug basyşy bar, inçe film döretmek kyn;käbir elementler ýyladyş simleri bilen garyndy döretmek aňsat;garyndy filminiň birmeňzeş kompozisiýasyny almak aňsat däl.Simpleönekeý gurluşy, arzan bahasy we garşylykly ýyladyş bugarmak usulynyň aňsat işlemegi sebäpli bugarmak usulynyň giňden ulanylmagy.

(2) Elektron şöhleleriniň ýyladyş bugarmagy
Elektron şöhleleriniň bugarmagy, örtük materialyny ýokary energiýa dykyzlygyndaky elektron şöhlesi bilen bombalap, suw bilen sowadylan misiň içine goýup bugarmagyň usulydyr.Buglaşma çeşmesi elektron çykaryş çeşmesinden, elektron tizlenme güýji çeşmesinden, çüýrän (adatça mis çüýlenýän), magnit meýdany rulony we sowadyjy suw toplumyndan we ş.m. bu enjamda gyzdyrylan material suwa ýerleşdirilýär. - sowadylan haçly we elektron şöhleleri materialyň diňe ujypsyzja bölegini bombalaýar, galan materiallaryň köpüsi çüýräniň sowadyjy täsiri astynda gaty pes temperaturada galýar, haçanda bombalanan bölegi hasaplanyp bilner.Şeýlelik bilen, bugarmak üçin elektron şöhlesini gyzdyrmak usuly örtük materialy bilen bugarma çeşmesiniň materialynyň hapalanmagynyň öňüni alyp biler.
Elektron şöhlesiniň bugarmak çeşmesiniň gurluşyny üç görnüşe bölmek bolar: göni ýaraglar (Boules ýaraglary), halka ýaraglary (elektrik bilen öçürilen) we elektron ýaraglar (magnit taýdan defekt).Bir ýa-da birnäçe çüýrük bir wagtyň özünde ýa-da aýry-aýrylykda köp dürli maddalary bugaryp we goýup bilýän bugarmak desgasyna ýerleşdirilip bilner.

Elektron şöhleleriniň bugarmak çeşmeleriniň aşakdaky artykmaçlyklary bar.
The Elektron şöhleleriniň bombalanmagy bugarmak çeşmesiniň ýokary şöhle dykyzlygy, W, Mo, Al2O3 we ş.m. ýaly ýokary ereýän nokat materiallaryny bugaryp bilýän garşylyk ýyladyş çeşmesinden has uly energiýa dykyzlygyny alyp biler.
Ating Örtük materialy, bugarma çeşmesiniň bugarmagynyň we olaryň arasyndaky reaksiýanyň öňüni alyp bilýän suw bilen sowadylan misde ýerleşdirilýär.
Atylylyk ýylylyk netijeliligini ýokarlandyrýan we ýylylyk geçirijiliginiň we ýylylyk radiasiýasynyň ýitmegini peseldýän örtük materialynyň ýüzüne göni goşup bolýar.
Elektron şöhlesini ýylatmak bugarmak usulynyň ýetmezçiligi, elektron ýaragyndan esasy elektronlar we örtük materialynyň üstündäki ikinji elektronlar bugarýan atomlary we galyndy gaz molekulalaryny ionlaşdyrar, bu bolsa filmiň hiline käwagt täsir eder.

(3) frequokary ýygylykly induksiýa ýyladyş bugarmagy
Frequokary ýygylykly induksiýa ýyladyş bugarmagy, örtük materialy bilen iň ýokary ýygylykly spiral rulonyň merkezine ýerleşdirmekdir, şonuň üçin örtük materialy ýokary ýygylykly elektromagnit meýdanynyň induksiýasynda güýçli tok we histerezi täsirini döreder. buglanýança we buglanýança gyzdyrmak üçin film gatlagy.Bugarmagyň çeşmesi, adatça, suw bilen sowadylýan ýokary ýygylykly rulondan we grafitden ýa-da keramiki (magniý oksidi, alýumin oksidi, bor oksidi we ş.m.) ybaratdyr.Frequokary ýygylykly elektrik üpjünçiligi on müňden birnäçe ýüz müň Hz ýygylygy ulanýar, giriş güýji birnäçe-birnäçe ýüz kilowat, membrana materialynyň göwrümi näçe kiçi bolsa, induksiýa ýygylygy şonça-da ýokarydyr.Induksiýa rulonynyň ýygylygy adatça suw bilen sowadylan mis turbadan ýasalýar.
Highokary ýygylykly induksiýa ýyladyş bugarmak usulynyň ýetmezçiligi, giriş güýjüni gowy sazlamak aňsat däl, aşakdaky artykmaçlyklary bar.
IgHokary bugarmak derejesi
Ap Bugarma çeşmesiniň temperaturasy birmeňzeş we durnukly, şonuň üçin örtük damjalarynyň çişmegi hadysasyny öndürmek aňsat däl, şeýle hem goýlan filmdäki çukur hadysalaryndan gaça durup biler.
Ap Bugarma çeşmesi bir gezek ýüklenýär we temperatura gözegçilik etmek aňsat we ýönekeý.