Prensip kouch evaporasyon vakyòm
1 、 Ekipman ak pwosesis fizik nan kouch vakyòm evaporasyon
Ekipman kouch vakyòm evaporasyon an sitou konpoze de chanm vakyòm ak sistèm evakyasyon.Anndan chanm vakyòm lan, gen sous evaporasyon (sa vle di aparèy chofaj evaporasyon), substra ak ankadreman substra, aparèy chofaj substrate, sistèm tiyo echapman, elatriye.
Se materyèl la kouch mete nan sous la evaporasyon nan chanm nan vakyòm, ak anba kondisyon vakyòm segondè, li chofe pa sous la evaporasyon evapore.Lè ranje mwayèn gratis nan molekil vapè yo pi gwo pase gwosè lineyè chanm vakyòm lan, apre atòm yo ak molekil vapè fim yo te chape soti nan sifas sous evaporasyon an, yo raman antrave pa kolizyon lòt molekil oswa atòm, ak dirèkteman rive nan sifas la nan substra a yo dwe kouvwi.Akòz tanperati ki ba nan substra a, patikil vapè fim yo kondanse sou li epi fòme yon fim.
Yo nan lòd yo amelyore Adhesion nan molekil evaporasyon ak substra, substra a ka aktive pa bon chofaj oswa netwayaj ion.Kouch evaporasyon vakyòm ale nan pwosesis fizik sa yo soti nan evaporasyon materyèl, transpò nan depo nan yon fim.
(1) Sèvi ak plizyè fason pou konvèti lòt fòm enèji nan enèji tèmik, materyèl fim nan chofe pou evapore oswa sublime nan patikil gaz (atòm, molekil oswa grap atomik) ak yon sèten kantite enèji (0.1 a 0.3 eV).
(2) Patikil gaz yo kite sifas fim nan epi yo transpòte nan sifas substra a nan yon sèten vitès mouvman, esansyèlman san kolizyon, nan yon liy dwat.
(3) Patikil gaz yo ki rive nan sifas substra a kole ak nwaye, epi answit grandi nan yon fim solid-faz.
(4) Reòganizasyon oswa lyezon chimik nan atòm ki fòme fim nan.
2 、 chofaj evaporasyon
(1) Rezistans chofaj evaporasyon
Rezistans chofaj evaporasyon se metòd chofaj ki pi senp epi ki pi souvan itilize, jeneralman aplikab a materyèl kouch ak pwen k ap fonn anba a 1500 ℃, metal gwo pwen k ap fonn nan fòm fil oswa fèy (W, Mo, Ti, Ta, nitrure bor, elatriye) yo. anjeneral te fè nan yon fòm apwopriye nan sous evaporasyon, chaje ak materyèl evaporasyon, atravè chalè a Joule nan kouran elektrik pou fonn, evapore oswa sublime materyèl la plating, fòm nan sous evaporasyon sitou gen ladan espiral milti-strand, U ki gen fòm, vag sinis. , plak mens, bato, panyen kòn, elatriye An menm tan an, metòd la mande pou materyèl la sous evaporasyon gen gwo pwen k ap fonn, presyon vapè saturation ki ba, pwopriyete chimik ki estab, pa gen reyaksyon chimik ak materyèl la kouch nan tanperati ki wo, bon rezistans chalè, ti chanjman nan dansite pouvwa, elatriye Li adopte gwo aktyèl nan sous la evaporasyon fè li chofe ak evapore materyèl la fim pa chofaj dirèk, oswa mete materyèl la fim nan kreze a te fè nan grafit ak sèten tanperati ki wo rezistan. oksid metal (tankou A202, B0) ak lòt materyèl pou chofaj endirèk evapore.
Rezistans chofaj evaporasyon kouch gen limit: metal refractory gen presyon vapè ki ba, ki difisil pou fè fim mens;kèk eleman yo fasil pou fòme yon alyaj ak fil chofaj la;li pa fasil jwenn yon konpozisyon inifòm nan fim nan alyaj.Paske nan estrikti a senp, pri ki ba ak operasyon fasil nan metòd evaporasyon chofaj rezistans, li se yon aplikasyon trè komen nan metòd evaporasyon.
(2) evaporasyon chofaj elèktron
Evaporasyon elèktron gwo bout bwa se yon metòd pou evapore materyèl la kouch lè yo bonbade li ak yon gwo bout bwa elèktron dansite enèji nan mete l nan yon kreze kòb kwiv mete refwadi dlo.Sous evaporasyon an konsiste de yon sous emisyon elèktron, yon sous pouvwa akselerasyon elektwon, yon kreze (anjeneral yon kreze kòb kwiv mete), yon bobin chan mayetik, ak yon seri dlo refwadisman, elatriye. Nan aparèy sa a, materyèl la chofe mete nan yon dlo. -refwadi crucible, ak gwo bout bwa elèktron bonbard sèlman yon ti pòsyon nan materyèl la, pandan y ap pi fò nan materyèl ki rete a rete nan yon tanperati ki ba anpil anba efè a refwadisman nan crucible a, ki ka konsidere kòm pòsyon nan bonbade nan crucible a.Se konsa, metòd chofaj elèktron gwo bout bwa pou evaporasyon ta ka evite kontaminasyon ant materyèl la kouch ak materyèl la sous evaporasyon.
Ka estrikti sous la evaporasyon gwo bout bwa elèktron divize an twa kalite: zam dwat (zam Boules), zam bag (elektrik devye) ak e-zam (mayetikman devye).Youn oswa plis crucibles ka mete nan yon etablisman evaporasyon, ki ka evapore ak depoze anpil sibstans diferan ansanm oswa separeman.
Sous evaporasyon reyon elektwon yo gen avantaj sa yo.
①Dansite gwo gwo bout bwa sous evaporasyon bonbadman elèktron a ka jwenn yon dansite enèji ki pi gwo pase sous chofaj rezistans, ki ka evapore materyèl ki wo pwen k ap fonn, tankou W, Mo, Al2O3, elatriye.
②Materyèl kouch la mete nan yon kreze kòb kwiv mete dlo-refwadi, sa ki ka evite evaporasyon materyèl sous evaporasyon an, ak reyaksyon ki genyen ant yo.
③Chalè ka ajoute dirèkteman nan sifas la nan materyèl la kouch, sa ki fè efikasite nan tèmik wo ak pèt nan kondiksyon chalè ak radyasyon chalè ba.
Dezavantaj nan metòd evaporasyon chofaj elèktron gwo bout bwa a se ke elektwon prensipal yo soti nan zam elèktron ak elektwon segondè yo soti nan sifas la nan materyèl la kouch pral ionize atòm yo evapore ak molekil gaz rezidyèl, ki pral afekte bon jan kalite a nan fim nan pafwa.
(3) Segondè frekans endiksyon chofaj evaporasyon
High-frekans endiksyon chofaj evaporasyon se mete crucible a ak materyèl kouch nan sant la nan wo-frekans bobin espiral la, se konsa ke materyèl la kouch jenere gwo eddy aktyèl ak efè hystérésis anba endiksyon an nan wo-frekans jaden elektwomayetik, ki lakòz la. kouch fim pou chofe jiskaske li vaporize ak evapore.Sous evaporasyon an jeneralman konsiste de yon bobin wo-frekans dlo refwadi ak yon kreze grafit oswa seramik (oksid mayezyòm, oksid aliminyòm, oksid bor, elatriye).Ekipman pou pouvwa a segondè frekans itilize yon frekans nan dis mil a plizyè santèn mil Hz, pouvwa a opinyon se plizyè a plizyè santèn kilowat, pi piti volim nan materyèl la manbràn, pi wo frekans nan endiksyon.Se frekans bobin endiksyon anjeneral te fè nan tib kwiv dlo-refwadi.
Dezavantaj nan segondè-frekans endiksyon chofaj evaporasyon metòd se ke li pa fasil amann ajiste pouvwa a opinyon, li gen avantaj sa yo.
①High to evaporasyon
②Tanperati sous evaporasyon an se inifòm ak ki estab, kidonk li pa fasil pou pwodui fenomèn ti gout kouch Splash, epi li kapab tou evite fenomèn pinholes sou fim nan depoze.
③Sous evaporasyon an chaje yon fwa, epi tanperati a relativman fasil ak senp pou kontwole.
Lè poste: Oct-28-2022