សូមស្វាគមន៍មកកាន់ Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
single_banner

សេចក្តីណែនាំអំពីបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតរំហួតសុញ្ញកាស

ប្រភពអត្ថបទ៖ Zhenhua Vacuum
អាន៖ ១០
ចេញផ្សាយ: 22-10-28

គោលការណ៍នៃថ្នាំកូតរំហួតសុញ្ញកាស

1. បរិក្ខារនិងដំណើរការរាងកាយនៃថ្នាំកូតរំហួតសុញ្ញកាស
គ្រឿងបរិក្ខារថ្នាំកូតរំហួតសុញ្ញកាសត្រូវបានផ្សំឡើងជាចម្បងនៃបន្ទប់បូមធូលី និងប្រព័ន្ធជម្លៀស។នៅខាងក្នុងបន្ទប់បូមធូលីមានប្រភពហួត (ឧ. ហួតកំដៅ) ស្រទាប់ខាងក្រោម និងស៊ុមស្រទាប់ខាងក្រោម កំដៅស្រទាប់ខាងក្រោម ប្រព័ន្ធផ្សង។ល។
សម្ភារៈថ្នាំកូតត្រូវបានដាក់នៅក្នុងប្រភពហួតនៃបន្ទប់បូមធូលីហើយនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌទំនេរខ្ពស់វាត្រូវបានកំដៅដោយប្រភពហួតដើម្បីហួត។នៅពេលដែលចន្លោះទំនេរជាមធ្យមនៃម៉ូលេគុលចំហាយមានទំហំធំជាងទំហំលីនេអ៊ែរនៃបន្ទប់ទំនេរ បន្ទាប់ពីអាតូម និងម៉ូលេគុលនៃចំហាយនៃខ្សែភាពយន្តបានគេចចេញពីផ្ទៃនៃប្រភពហួត កម្រត្រូវបានរារាំងដោយការប៉ះទង្គិចនៃម៉ូលេគុល ឬអាតូមដទៃទៀត។ និងដោយផ្ទាល់ទៅដល់ផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលត្រូវស្រោប។ដោយសារតែសីតុណ្ហភាពទាបនៃស្រទាប់ខាងក្រោម ភាគល្អិតនៃចំហាយនៃខ្សែភាពយន្តនេះ condense នៅលើវា ហើយបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត។
ដើម្បីបង្កើនភាពស្អិតជាប់នៃម៉ូលេគុលរំហួត និងស្រទាប់ខាងក្រោម ស្រទាប់ខាងក្រោមអាចត្រូវបានធ្វើឱ្យសកម្មដោយកំដៅត្រឹមត្រូវ ឬការសម្អាតអ៊ីយ៉ុង។ថ្នាំកូតរំហួតដោយសុញ្ញកាស ឆ្លងកាត់ដំណើរការរូបវន្តដូចខាងក្រោម ពីការហួតសម្ភារៈ ការដឹកជញ្ជូន រហូតដល់ការទម្លាក់ចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្ត។
(1) ដោយប្រើមធ្យោបាយផ្សេងៗដើម្បីបំប្លែងទម្រង់ថាមពលផ្សេងទៀតទៅជាថាមពលកម្ដៅ សម្ភារៈខ្សែភាពយន្តត្រូវបានកំដៅដើម្បីហួត ឬ sublimate ទៅជាភាគល្អិតឧស្ម័ន (អាតូម ម៉ូលេគុល ឬចង្កោមអាតូម) ជាមួយនឹងបរិមាណថាមពលជាក់លាក់ (0.1 ដល់ 0.3 eV) ។
(2) ភាគល្អិតឧស្ម័នចេញពីផ្ទៃនៃខ្សែភាពយន្ត ហើយត្រូវបានបញ្ជូនទៅកាន់ផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងល្បឿនជាក់លាក់មួយនៃចលនា សំខាន់ដោយគ្មានការប៉ះទង្គិចគ្នានៅក្នុងបន្ទាត់ត្រង់មួយ។
(3) ភាគល្អិតឧស្ម័នដែលឈានដល់ផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម coalesce និង nucleate ហើយបន្ទាប់មកលូតលាស់ទៅជាខ្សែភាពយន្តដំណាក់កាលរឹង។
(4) ការរៀបចំឡើងវិញឬការភ្ជាប់គីមីនៃអាតូមដែលបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត។

សេចក្តីណែនាំអំពីបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតរំហួតសុញ្ញកាស

2. កំដៅហួត

(1) ធន់ទ្រាំនឹងការហួតកំដៅ
ការហួតកំដៅធន់ទ្រាំគឺជាវិធីសាស្ត្រកំដៅដ៏សាមញ្ញបំផុត និងប្រើជាទូទៅបំផុត ជាទូទៅអាចអនុវត្តបានចំពោះសម្ភារៈថ្នាំកូតដែលមានចំណុចរលាយក្រោម 1500 ℃ លោហៈធាតុដែលមានចំណុចរលាយខ្ពស់ក្នុងទម្រង់ជាខ្សែ ឬសន្លឹក (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride ។ល។) ជាធម្មតាត្រូវបានបង្កើតឡើងជារូបរាងសមរម្យនៃប្រភពហួត ដែលផ្ទុកដោយសម្ភារៈរំហួត តាមរយៈកំដៅ Joule នៃចរន្តអគ្គិសនីដើម្បីរលាយ ហួត ឬ sublimate សម្ភារៈចាន រូបរាងនៃប្រភពហួតភាគច្រើនរួមមានវង់ពហុខ្សែ រាងអក្សរ U រលកស៊ីនុស , ចានស្តើង, ទូក, កន្ត្រកកោណ, ល. ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ វិធីសាស្រ្តតម្រូវឱ្យសម្ភារៈប្រភពហួតមានចំណុចរលាយខ្ពស់ សម្ពាធចំហាយតិត្ថិភាពទាប លក្ខណៈសម្បត្តិគីមីមានស្ថេរភាព មិនមានប្រតិកម្មគីមីជាមួយសម្ភារៈថ្នាំកូតនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធន់នឹងកំដៅល្អ ការផ្លាស់ប្តូរតិចតួចនៃដង់ស៊ីតេថាមពល ល។ វាទទួលយកចរន្តខ្ពស់តាមរយៈប្រភពហួតដើម្បីធ្វើឱ្យវាឡើងកំដៅ និងហួតសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តដោយកំដៅដោយផ្ទាល់ ឬដាក់សម្ភារៈខ្សែភាពយន្តទៅក្នុង Crucible ដែលធ្វើពីក្រាហ្វិច និងធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាក់លាក់។ អុកស៊ីដលោហៈ (ដូចជា A202, B0) និងសម្ភារៈផ្សេងទៀតសម្រាប់កំដៅដោយប្រយោលដើម្បីហួត។
ធន់ទ្រាំនឹងកំដៅ ថ្នាំកូតហួតមានដែនកំណត់: លោហៈធាតុ refractory មានសម្ពាធចំហាយទាបដែលពិបាកក្នុងការបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្តើង។ធាតុមួយចំនួនងាយស្រួលក្នុងការបង្កើតយ៉ាន់ស្ព័រជាមួយខ្សែកំដៅ។វាមិនងាយស្រួលទេក្នុងការទទួលបានសមាសភាពឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្តយ៉ាន់ស្ព័រ។ដោយសារតែរចនាសម្ព័ន្ធសាមញ្ញ តម្លៃទាប និងប្រតិបត្តិការងាយស្រួលនៃវិធីសាស្រ្តរំហួតកំដៅធន់ទ្រាំ វាគឺជាកម្មវិធីសាមញ្ញបំផុតនៃវិធីសាស្ត្ររំហួត។

(2) ការហួតកំដៅតាមធ្នឹមអេឡិចត្រុង
ការរំហួតតាមធ្នឹមអេឡិចត្រុងគឺជាវិធីសាស្រ្តនៃការហួតសម្ភារៈថ្នាំកូតដោយទម្លាក់វាជាមួយនឹងធ្នឹមអេឡិចត្រុងដែលមានដង់ស៊ីតេថាមពលខ្ពស់ដោយដាក់វានៅក្នុងឈើឆ្កាងទង់ដែងដែលត្រជាក់ដោយទឹក។ប្រភពរំហួតមានប្រភពបំភាយអេឡិចត្រុង ប្រភពថាមពលបង្កើនល្បឿនអេឡិចត្រុង ឈើឆ្កាង (ជាធម្មតាជាឈើឆ្កាងទង់ដែង) ឧបករណ៏វាលម៉ាញេទិក និងសំណុំទឹកត្រជាក់។ល។ នៅក្នុងឧបករណ៍នេះ សម្ភារៈដែលគេឱ្យឈ្មោះថាត្រូវបានដាក់ក្នុងទឹក -cooled crucible ហើយធ្នឹមអេឡិចត្រុងបំផ្ទុះតែផ្នែកតូចមួយនៃសម្ភារៈប៉ុណ្ណោះ ខណៈពេលដែលសម្ភារៈដែលនៅសេសសល់ភាគច្រើននៅតែមានសីតុណ្ហភាពទាបបំផុតក្រោមឥទ្ធិពលត្រជាក់នៃ crucible ដែលអាចចាត់ទុកថាជាផ្នែកនៃការទម្លាក់គ្រាប់បែករបស់ crucible ។ដូច្នេះវិធីសាស្រ្តនៃកំដៅធ្នឹមអេឡិចត្រុងសម្រាប់ការហួតអាចជៀសវាងការចម្លងរោគរវាងសម្ភារៈថ្នាំកូតនិងសម្ភារៈប្រភពហួត។
រចនាសម្ព័ននៃប្រភពរំហួតនៃធ្នឹមអេឡិចត្រុងអាចបែងចែកជាបីប្រភេទគឺ កាំភ្លើងត្រង់ (កាំភ្លើងប៊ូល) កាំភ្លើងរោទ៍ (ផ្លាតដោយអគ្គិសនី) និងកាំភ្លើងអេឡិចត្រូនិច (ផ្លាតមេដែក)។ឈើច្រត់មួយ ឬច្រើនអាចដាក់ក្នុងកន្លែងរំហួត ដែលអាចហួត និងដាក់សារធាតុផ្សេងៗគ្នាជាច្រើនក្នុងពេលដំណាលគ្នា ឬដោយឡែកពីគ្នា។

ប្រភពរំហួតរបស់ធ្នឹមអេឡិចត្រុងមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោម។
① ដង់ស៊ីតេ​ធ្នឹម​ខ្ពស់​នៃ​ប្រភព​រំហួត​នៃ​ធ្នឹម​អេ​ឡិច​ត្រូ​និក​អាច​ទទួលបាន​ដង់ស៊ីតេ​ថាមពល​ខ្លាំង​ជាង​ប្រភព​កំដៅ​ធន់​ទ្រាំ ដែល​អាច​ហួត​វត្ថុ​ដែលមាន​ចំណុច​រលាយ​ខ្ពស់​ដូចជា W, Mo, Al2O3 ជាដើម។
② សម្ភារៈ​ស្រោប​ត្រូវ​បាន​គេ​ដាក់​នៅ​ក្នុង​ទ្រនុង​ស្ពាន់​ដែល​ត្រជាក់​ដោយ​ទឹក ដែល​អាច​បញ្ចៀស​ការ​ហួត​នៃ​សម្ភារៈ​ប្រភព​ហួត និង​ប្រតិកម្ម​រវាង​ពួកវា។
③កំដៅអាចត្រូវបានបន្ថែមដោយផ្ទាល់ទៅផ្ទៃនៃសម្ភារៈថ្នាំកូតដែលធ្វើឱ្យប្រសិទ្ធភាពកំដៅខ្ពស់និងការបាត់បង់ចរន្តកំដៅនិងវិទ្យុសកម្មកំដៅទាប។
គុណវិបត្តិនៃវិធីសាស្រ្តរំហួតកំដៅរបស់ធ្នឹមអេឡិចត្រុងគឺថាអេឡិចត្រុងបឋមពីកាំភ្លើងអេឡិចត្រុងនិងអេឡិចត្រុងបន្ទាប់បន្សំពីផ្ទៃនៃសម្ភារៈថ្នាំកូតនឹងធ្វើឱ្យអ៊ីយ៉ូដនៃអាតូមហួតនិងម៉ូលេគុលឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ដែលនឹងប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តជួនកាល។

(3) ការហួតកំដៅ induction ប្រេកង់ខ្ពស់។
ការរំហួតកំដៅអាំងឌុចស្យុងប្រេកង់ខ្ពស់គឺត្រូវដាក់ឈើច្រត់ជាមួយសម្ភារៈស្រោបនៅចំកណ្តាលនៃរបុំវង់ប្រេកង់ខ្ពស់ ដូច្នេះសម្ភារៈថ្នាំកូតបង្កើតចរន្ត eddy ខ្លាំង និងឥទ្ធិពល hysteresis ក្រោមការបញ្ចូលនៃវាលអេឡិចត្រូប្រេកង់ខ្ពស់ ដែលបណ្តាលឱ្យមាន ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តដើម្បីកំដៅរហូតដល់វាហួតនិងហួត។ប្រភពរំហួតជាទូទៅមានឧបករណ៏ប្រេកង់ខ្ពស់ដែលត្រជាក់ដោយទឹក និងក្រាហ្វិច ឬសេរ៉ាមិច (អុកស៊ីដម៉ាញ៉េស្យូម អុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម បូរុនអុកស៊ីដ។ល។)។ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលប្រេកង់ខ្ពស់ប្រើប្រេកង់ពីមួយម៉ឺនទៅច្រើនរយពាន់ Hz ថាមពលបញ្ចូលគឺច្រើនទៅច្រើនរយគីឡូវ៉ាត់ បរិមាណសម្ភារៈភ្នាសតូចជាង ប្រេកង់អាំងឌុចទ័រកាន់តែខ្ពស់។ប្រេកង់នៃឧបករណ៏អាំងឌុចទ័រ ជាធម្មតាត្រូវបានផលិតចេញពីបំពង់ស្ពាន់ដែលត្រជាក់ដោយទឹក។
គុណវិបត្តិនៃវិធីសាស្រ្តរំហួតកំដៅ induction ប្រេកង់ខ្ពស់គឺថាវាមិនងាយស្រួលក្នុងការកែតម្រូវថាមពលបញ្ចូលនោះទេវាមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោម។
①អត្រាហួតខ្ពស់។
② សីតុណ្ហភាពនៃប្រភពហួតគឺឯកសណ្ឋាន និងស្ថិរភាព ដូច្នេះវាមិនមែនជាការងាយស្រួលក្នុងការបង្កើតបាតុភូតនៃដំណក់ទឹកថ្នាំកូតនោះទេ ហើយវាក៏អាចជៀសវាងបាតុភូតនៃរន្ធនៅលើខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់ផងដែរ។
③ប្រភពរំហួតត្រូវបានផ្ទុកម្តង ហើយសីតុណ្ហភាពគឺងាយស្រួល និងសាមញ្ញក្នុងការគ្រប់គ្រង។


ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២៨ ខែតុលា ឆ្នាំ ២០២២