Ka'idar shafa mai na injin tsotsewa
1, Kayan aiki da tsarin jiki na rufin tururi
Kayan aikin rufewa na injin tsabtace iska galibi sun ƙunshi ɗakin tsabtace iska da tsarin fitar da iska. A cikin ɗakin tsabtace iska, akwai tushen fitar iska (misali na'urar dumama iska), firam ɗin substrate da substrate, na'urar dumama iska, tsarin fitar da iska, da sauransu.
Ana sanya kayan shafa a cikin tushen ƙafewar ɗakin injin, kuma a ƙarƙashin yanayi mai zafi, tushen ƙafewar yana dumama shi don ƙafewa. Lokacin da matsakaicin kewayon ƙwayoyin tururin ya fi girman layi na ɗakin injin, bayan ƙwayoyin zarra da ƙwayoyin fim ɗin sun tsere daga saman tushen ƙafewar, ba kasafai suke samun cikas ta hanyar karo na wasu ƙwayoyin ko ƙwayoyin zarra ba, kuma suna isa kai tsaye saman substrate ɗin da za a shafa. Saboda ƙarancin zafin substrate, ƙwayoyin tururin fim ɗin suna taruwa a kai kuma suna samar da fim.
Domin inganta mannewar ƙwayoyin ƙafewa da substrate, ana iya kunna substrate ta hanyar dumama ko tsaftace ion yadda ya kamata. Rufin ƙafewa na injin yana bin waɗannan hanyoyin na zahiri daga ƙafewa abu, jigilar shi zuwa wurin da aka ajiye shi a cikin fim.
(1) Ta amfani da hanyoyi daban-daban don canza wasu nau'ikan makamashi zuwa makamashin zafi, ana dumama kayan fim ɗin don ƙafewa ko su zama barbashi masu iskar gas (atom, molecules ko atom clusters) tare da wani adadin kuzari (0.1 zuwa 0.3 eV).
(2) Ƙwayoyin iskar gas suna barin saman fim ɗin kuma ana jigilar su zuwa saman substrate a wani saurin motsi, ba tare da karo ba, a cikin layi madaidaiciya.
(3) Barbashin iskar gas da ke isa saman substrate suna haɗuwa da nucleate, sannan su girma su zama fim mai ƙarfi.
(4)Sake tsara ko haɗa sinadarai na ƙwayoyin halittar da ke samar da fim ɗin.
2, Dumama Tururi
(1) Tururin dumama mai juriya
Tsaftacewar dumama ta juriya ita ce hanya mafi sauƙi kuma mafi yawan amfani da ita wajen dumamawa, galibi tana aiki ga kayan shafa da ke narkewa ƙasa da 1500℃, ƙarfe masu yawan narkewa a cikin waya ko siffar takarda (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, da sauransu) galibi ana yin su ne don su zama siffa mai dacewa ta tushen ƙafewa, ana ɗora su da kayan ƙafewa, ta hanyar zafin wutar lantarki na Joule don narkewa, ƙafewa ko kuma su yi wa kayan farantin ado. Siffar tushen ƙafewa galibi ta ƙunshi karkace mai yawa, siffar U, sine wave, sirara faranti, jirgin ruwa, kwandon mazugi, da sauransu. A lokaci guda, hanyar tana buƙatar kayan tushen ƙafewa su sami babban wurin narkewa, ƙarancin matsin tururi mai cikawa, halayen sinadarai masu karko, ba su da amsawar sinadarai tare da kayan shafa a zafin jiki mai yawa, juriya mai kyau ga zafi, ƙaramin canji a yawan ƙarfi, da sauransu. Yana ɗaukar babban wutar lantarki ta hanyar tushen ƙafewa don sa ya yi zafi da ƙafewa kayan fim ta hanyar dumama kai tsaye, ko sanya kayan fim ɗin a cikin bututun da aka yi da graphite da wasu ƙarfe masu juriya ga zafin jiki mai yawa (kamar A202, B0) da sauran kayan don dumama kai tsaye don ƙafewa.
Rufin tururin dumama mai juriya yana da iyaka: ƙarfe masu juriya suna da ƙarancin matsin lamba na tururi, wanda yake da wahalar yin fim mai siriri; wasu abubuwa suna da sauƙin samar da ƙarfe tare da wayar dumama; ba abu ne mai sauƙi a sami tsari iri ɗaya na fim ɗin ƙarfe ba. Saboda sauƙin tsari, ƙarancin farashi da sauƙin aiki na hanyar tururin dumama mai juriya, amfani da hanyar tururin dumama abu ne da aka saba amfani da shi.
(2) Tururin dumama wutar lantarki
Tsarkakewar hasken wutar lantarki hanya ce ta fitar da kayan shafa ta hanyar jefa shi da harsashin lantarki mai yawan kuzari ta hanyar sanya shi a cikin bututun jan ƙarfe mai sanyaya ruwa. Tushen ƙafewar ya ƙunshi tushen fitar da hasken lantarki, tushen wutar lantarki mai saurin haɓaka wutar lantarki, bututun jan ƙarfe (yawanci bututun jan ƙarfe), bututun filin maganadisu, da saitin ruwan sanyaya ruwa, da sauransu. A cikin wannan na'urar, ana sanya kayan da aka dumama a cikin bututun da aka sanyaya ruwa, kuma bututun wutar lantarki yana jefa ƙaramin yanki na kayan, yayin da yawancin kayan da suka rage ke kasancewa a ƙaramin zafin jiki a ƙarƙashin tasirin sanyaya gilashin, wanda za a iya ɗaukarsa a matsayin ɓangaren da aka jefa a cikin bututun. Don haka, hanyar dumama hasken wutar lantarki don ƙafewar zai iya guje wa gurɓatawa tsakanin kayan shafa da kayan tushen ƙafewar.
Tsarin tushen fitar da iskar lantarki za a iya raba shi zuwa nau'i uku: bindigogi madaidaiciya (gunan Boules), bindigogin zobe (gunan lantarki) da bindigogin lantarki (gunan lantarki). Ana iya sanya guda ɗaya ko fiye a cikin wurin fitar da iska, wanda zai iya ƙafewa ya kuma ajiye abubuwa daban-daban a lokaci guda ko daban.
Tushen fitar da iskar lantarki (electron beam) yana da fa'idodi masu zuwa.
① Yawan hasken da ke fitowa daga tushen fashewar bututun lantarki zai iya samun ƙarfin kuzari fiye da tushen dumama mai juriya, wanda zai iya ƙafe kayan da ke narkewa sosai, kamar W, Mo, Al2O3, da sauransu.
②Ana sanya kayan shafa a cikin wani bututun jan ƙarfe mai sanyaya ruwa, wanda zai iya guje wa ƙafewar kayan tushen ƙafewar, da kuma amsawar da ke tsakaninsu.
③Za a iya ƙara zafi kai tsaye a saman kayan shafa, wanda hakan ke sa ingancin zafi ya yi yawa kuma asarar watsa zafi da hasken zafi ya yi ƙasa.
Rashin kyawun hanyar fitar da iskar lantarki daga cikin wutar lantarki shine cewa manyan electrons daga bindigar electron da kuma electrons na biyu daga saman kayan shafa zasu samar da ionizing atoms masu tururi da kuma ragowar iskar gas, wanda hakan zai shafi ingancin fim ɗin a wasu lokutan.
(3) Tururin dumama mai yawan mitar induction
Tsami mai dumama mai yawan mita shine a sanya tukunyar da aka yi da kayan shafa a tsakiyar bututun mai yawan mita, ta yadda kayan shafa za su samar da ƙarfi na eddy current da hysteresis a ƙarƙashin shigar da filin lantarki mai yawan mita, wanda ke sa Layer ɗin fim ɗin ya yi zafi har sai ya yi tururi ya kuma ƙafe. Tushen ƙamshi gabaɗaya ya ƙunshi na'urar sanyaya ruwa mai yawan mita da aka yi da ruwa da kuma graphite ko yumbu (magnesium oxide, aluminum oxide, boron oxide, da sauransu). Wutar lantarki mai yawan mita tana amfani da mita dubu goma zuwa ɗari da dubu ɗari da dama, ƙarfin shigarwa yana da yawa zuwa ɗari da yawa kilowatts, ƙaramin girman kayan membrane, mafi girman mitar induction. Yawancin lokaci ana yin mitar induction daga bututun jan ƙarfe mai sanyaya ruwa.
Rashin kyawun hanyar dumama mai yawan mitar induction shine cewa ba abu ne mai sauƙi a daidaita ƙarfin shigarwa ba, yana da fa'idodi masu zuwa.
① Yawan ƙafewa mai yawa
②Zafin tushen ƙafewar yana da daidaito kuma yana da karko, don haka ba abu ne mai sauƙi ba a samar da yanayin ɗigon ruwa mai rufi, kuma yana iya guje wa yanayin ramukan fil a kan fim ɗin da aka ajiye.
③Ana loda tushen ƙafewar sau ɗaya, kuma zafin jiki yana da sauƙin sarrafawa kuma mai sauƙin sarrafawa.
Lokacin Saƙo: Oktoba-28-2022